400MHz RF SAW 필터
400MHz RF SAW 필터
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- 기본
- 웨이퍼: 36YX LT(White LT로 추정, 현재의 Pyrofree LT에 비해 약 1만배 비저항이 높을 것으로 추정)
- 다이크기: 2.0x1.5mm
- L: 285um, λ=9.714um 1/2λ=4.857, t=0.2um, N=51, DF=0.5라면 전극폭=2.4um
- 관련 자료 출처
- S422PA
- 기본 패턴 형태
- SAW 패턴이 더러우면
- 절연저항(IR;Insulation resistance)
- 참고: 이론값은 IDT 저항에서 설명한다.
- (High Resistance Meter) 고저항측정기로 측정한다.
- 측정 엑셀파일
- 인가전압에 따른 전류 및 저항 그래프
- 의견, 도메인 스위칭을 하려면 LT인 경우 20kV/mm(=20MV/m) 이상 전압이 필요하다.
- 다이폴이 도는 전계는 4V/2.4um = 170kV/m
- 절연파괴 전계는 250V/2.4um = 100MV/m
- 절연파괴 후 사진
- 먼저 측정한 포트-1이 절연파괴가 되어, 이물질 파편들이 뿌려져 port-2 측정에 영향을 주었을 수 있다.
- 샘플 #2 - 재현
- 그래프
- 먼저 실험한 포트에 의해 나중에 실험하는 포트가 영향을 크게 받지 않는다.
- 그래프
- 샘플 #3 - 측정시간을 32배 더 길게 소요(계측기에서 평균을 32회 실시)
- 그래프
- 측정시간이 1분 이내이든, 25분 소요되든 큰 차이가 없다.
- 그래프
- 샘플 #4 - 역전압
- 그래프
- 패키지와 신호선 포트간 전압이 반대이니, 다른 특성을 보인다.
- 그래프
- 샘플 #5 - 순전압,역전압 (전압 방향에 따른 재현성 시험)
- 그래프
- 인가 전압 방향에 따라 확실히 다른 경향을 보인다.
- 그래프
- 인가전압에 따른 전류 및 저항 그래프
- 100V를 12시간 이상 인가하면, 측정 엑셀파일
- 주파수특성 - 인가전후로 차이점이 없다.(없는 것 같다.)
- 시험 후 패턴
- 내전압(DC permissive voltage)
- 조사한다.
- 최대전력
- 정전용량
- 참고: 이론값은 IDT C에서 설명한다.
- 정전용량과 중심주파수 상관관계 분석
- 온도계수
- 참조: Xtal 온도특성
- 네트워크분석기와 Espec SU-222을 사용한다.
- 정전기 파괴
- 참고: 이론은 SAW필터에서 초전성에서 설명한다.
- 실험 방법
- 매칭하는 법