EG 2001X 프루버

EG 2001X 프루버

1. 전자부품
   1. 기구
      1. 프루버
         1. EG 2001X 프루버 - 이 페이지
      2. 프루버 동작
         1. 프루버 프로그래밍
         2. 이동 좌표 생성
2. 투고기술 보유, EG 2001X 프루버
   1. 메뉴얼
      1. A: EG 2001/2010/3001/4085 Prober Information - 6p
      2. 대략 어떤 그림들 - 13p
      3. GPIB 명령어 - 14p
      4. EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
      5. 2001X Basic Maintenance Training - 244p
      6. 보유 3권
         1. 2020/06/04 촬영
            • 
         2. Mechanical Interface Reference Drawing
            • 
            • 
         3. Reference Drawing, Vol.1
            • 
            • 
         4. Reference Drawing, Vol.2
            • 
            • 
   2. 수식
      1. 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
   3. 분석 엑셀
      1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
   4. 주변 유틸리티
      1. 100V 트랜스포머
         1. 220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
      2. 진공펌프
         1. DA-60D 진공펌프를 사용하고 있다.
         2. 진공펌프에서 외경 10mm 튜브, 본체는 외경 5/16"(=7.94mm 약8mmm) 사용중
      3. 공기압축펌프
         1. 냉동식 수분 제거기
         2. 필터(main filter + mist separator)
   5. 프루버 본체 등
      1. 투고사무실에서
         • 

           2014/05/02 투고기술에 설치.

         • 

           2014/06/16

      2. Platen Base Assembly 도면 - 11p
         • 
         • 
         • 
      3. ring carrier - 주황색 판을 말한다.
         1. 3군데 기둥으로 평행 평면을 맞추는 방법.
            • 
            • 
            • 

              왼손이 잡고 있는 원통을 돌려서 높이를 조절한다.

      4. Forcer - 이 회사가 linear motor를 일컫는 말이다.
         1. 설명
            1. 2차원평면에서 이동한다. 영구자석과 전자석으로 이루어져 있다.
            2. 알루미늄 덩어리속에 금속코어와 감싸고 있는 코일로 만들어 NS극이 존재한다.
            3. platen은 20mil 간격으로 와플 패턴이 에칭되어 그려져 있다. forcer 또한 20mil 간격이지만 이빨 형태로 잘라진 형태이다.
            4. palten과 forcer 사이는 air bearing 을 유지해서 마찰이 없으면서 1um 이동간격을 같는다.
         2. 사진
            • 
      5. Chuck - hot 척이다.
         1. 6인치(=150mm) 척 표면
            1. 형태
               • 
            2. 진공구멍이 어떤 측정값에 영향을 준다.
               1. 정전용량 프루빙
         2. 콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
         3. 접지와 연결
            • 

              M4, 척 표면 위로 올라오지 않게 나사 머리 직경을 줄임.

            • 
            • 
         4. 높이
            1. 척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
            2. 척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
               • 

                 X,Y 단위계를 인치 또는 미터로 선택할 수 있는데, Z축 높이는 항상 인치단위인 mil(25.4um)로 나타난다.

               • 

                 Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.

            3. 높이 정확도 측정
               1. 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
                  • 

                    Z up 과 down 차이를 35mil(=889um)을 지정하면

                  • 

                    원점

                  • 

                    886um

               2. 2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
            4. 현재 척이 너무 높다. 낮춰야 한다.
               1. 왜냐면, semi rigid coaxial cable로 만든 probe 핀의 외부도체가 바늘 높이와 비슷하여 웨이퍼와 닿아 문제를 일으킬 수 있다.
         5. 수평 측정
            1. 개요
               • 

                 링 케리어 평행도는 프루브 카드를 사용하지 않는다면 맞출 필요가 없다.

            2. 2020/06/06 레이저변위 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
               1. 측정 사진
                  • 
               2. 진공구멍이 있는 척 상태로
                  • 
                  • 
               3. 150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
                  • 
                  • 
            3. 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
               • 

                 척 1시방향 가장자리 높이 = 865um

               • 

                 척 7시방향 가장자리 높이 = 891um

            4. 2020/06/07 평행 평면을 만들기 위한 방법
               1. 수평조절용 볼트 3군데
                  1. 그림
                     • 
                  2. 설명
                     1. 풀면, 척 전체를 위로 올리는 (강력한 스프링)이 없기 때문에 올릴 수는 없다.
                     2. 접촉부위 사이에 있는, 고무 오링으로 누르면서 수평을 잡는다.
                     3. 그러므로 너무 조이면 오링이 탄성을 잃어버려 수평 조절이 안된다. 오링을 교환해야 한다.
                     4. 수평을 결정하는 또 다른 곳이 맨 위 척을 고정하는 4개의 볼트이다.
                        1. 4개 볼트는 수평 조정용으로 사용하지 않고, 고정용이다.
                        2. 적당한 토크로 4개 볼트를 모두 고정시키고 난 후, 아래 3개로 수평조절을 한다.
               2. 교정 전후
                  • 

                    수평잡기 전

                  • 

                    수평잡은 후

            5. 2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤에 다시 측정하니,
               1. 출근해서 측정하니
                  • 

                    이틀 사이에 높낮이 차이가 발생되었다.

                  • 

                    시간에 따라 척이 높아지고 있다. (센서에서 멀수록 +이므로)

               2. 두 번째 측정하니, 평탄해졌다.
                  • 

                    리니어모터는 사용함에 따라 뜨거워지나? - 그렇다 리니어모터의 가장 큰 단점이다. 또, 압축공기로 forcer를 부양시키므로 압축공기 온도에 의존하는가?

               3. 어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
                  • 

                    높이 전압이 0.005% 이내로 연속 5회 들어오는 시간

         6. hot chuck 분해
            1. 2020/06/07 첫 분해
               • 
               • 

                 3개에서 한 곳에 세라믹 단열링이 없다.

               • 

                 온도센서가 부착된 곳

      6. 링(ring)
         1. "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
            • 
            • 
         2. 2014/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
            • 
            • 
         3. 2015/03/03, 링을 고정시키기 위해, mm 나사구멍을 몇 개 뚫는 가공비 21하이테크에서 80,000원 지불함.
      7. 모니터
         1. 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
            • 
      8. 바퀴 관련
         1. 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
            • 
            • 
         2. 20/05/26 바퀴 방향을 돌림
            1. 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
               • 
               • 
            2. 가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
               • 
               • 

                 바퀴 방향 조정 후. 자동차용 가위 잭은 높이가 높아 들어가지 못함. 빈 공간 높이 10cm