Fukuta 에어리크에서 주 차압센서

Fukuta 에어리크에서 주 차압센서

1. 전자부품
   1. Fukuta 에어리크 검사기
   2. 압력센서
      1. Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서
      2. Fukuta 에어리크에서 주 차압센서 - 이 페이지
2. 2016/04/13 압축공기 차압센서(검출기) 분해
   1. 외관
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        커넥터 TMW R03-PB6F

   2. 앰프 보드
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        OP200 op-amp, 2043D pre-amp

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   3. 센서부
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        샘플과 마스터를 넣는 빈공간과 연결되는, 공기구멍 2개

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        공기구멍 철망 필터

   4. 밸브 분해
      1. 밸브 분리
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           O-링용 홈 가공

      2. 자석으로 움직이는 밸브 분해
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           구멍이 작으면 작은 힘으로도 구멍을 막을 수 있다.

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   5. 차압센서 분해
      1. 외관
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      2. 양쪽을 벌리면
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           오링 사이에 얇은 금속 멤브레인이 있다.

      3. E코어 코일이 들어있다.
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   6. 동작원리
      1. 그림
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           SW2에 연결된 부품은 조그만 공기탱크이다.

      2. 설명
         1. 이 센서의 특징
            1. 검사하고자 하는 제품의 체적이 매우 작은 경우를 위해 만들어졌다.
            2. 검사 시료가 들어가는 챔버, 밸브 및 센서의 빈공간이 상대적으로 크면, 압력 차이가 작아져 검출이 안된다.
            3. 그러므로, 최대한 검사 챔버 가까이 밸브 및 센서를 설치해야 한다.
            4. 완전대칭인 차압센서를 사용해야 압력차이만 검출하고, 잡음(특히 온도계수)은 제거된다.
         2. test, master
            1. test: 내부에 빈공간이 있고 기밀이 되어야 하는 제품을 말한다.
            2. master: test 샘플과 체적이 똑같은, 기밀이 완벽한 제품(즉, 내부 공간이 없는, 그냥 쇠덩어리)을 말한다.
         3. 소리크 small leak
            1. SW2를 닫는다.
            2. SW1을 열면 압축공기가 test, master 공간에 각각 들어가고, 곧이어 압력이 일정해진다.
            3. SW1을 바로 닫는다.
            4. 양쪽(test, master) 상대적인 압력값을 측정하는 차압센서에서 압력은 0을 보인다.
            5. 만약 미세한 구멍이 뚫린 빈공간이 있는 test라면, 시간이 지나면서 압력은 줄어든다. (PV=일정, V가 커지므로 P는 낮아진다.)
            6. 압력차이가 없으면 누설 구멍도 없다.
            7. 이 시간에 따라 줄어드는 압력을 측정해서 리크속도(leak rate)를 구한다.
         4. 대리크 large leak
            1. 만약 구멍이 크면, 앞 small leak에서 시간에 따른 차압이 검출되지 않는다.
            2. test에 구멍이 존재하면 체적이 크다. Ptest=Pmaster이지만 Vtest>Vmaster가 된다.
            3. 앞 small leak를 측정한 후, SW2를 연다.
            4. 빈 공기탱크로 동일한 압력을 갖는 Ptest와 Pmaster가 들어간다.
            5. large leak가 존재하면, Vtest가 Vmaster보다 크기 때문에 Ptest가 Pmaster보다 크게 측정된다.
            6. large leak는 리크속도 개념이 없이 순식간에 측정되므로, 시간에 따라 측정할 필요가 없다.
      3. 차압센서 동작 원리
         1. 사진, 그래프
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              센서선 연결방식 (공통, 왼쪽, 오른쪽)

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              자석을 대면

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              자석을 대고 측정

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              왼쪽센서에만 자석을 대면

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              오른쪽 센서에만 자석을 대면

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              각각 코일에 가해지는 신호 2kHz 8Vp-p

         2. 설명 - 더 자세히 조사할 것.
            1. 유도성 근접센서(inductive proximity sensor)인듯
            2. 금속을 검출한다. ferrous metal(철,강철 등)은 검출 거리가 길다.
            3. non ferrous metal(알루미늄,구리 경우)는 검출 거리가 60%로 줄어든다.
            4. inductive loop를 형성시킨다. 도로 자동차 검출과 같다.
            5. 금속이 자계필드에 들어오면 진폭을 떨어뜨린다. "Eddy Current Killed Oscillator”or ECKO principle이라고 한다.
            6. 얇은 금속 membrane이 압력에 따라 휘면, 양쪽 코일에서 휘는 정도에 비례하는 신호"만"을 검출할 수 있다.