SAW 웨이퍼
SAW 웨이퍼
- 전자부품
- 재료 상수
- LiNbO3, LiTaO3 웨이퍼
- 절단각도
- X-cut, Y-cut, Z-cut이란? (Z축으로 다이폴이 형성된다. 그러므로 가장 큰 압전효과는 Z축 위아래로 전극을 형성하는 것이다.)
- X-cut, Y-cut, Z-cut이란? (Z축으로 다이폴이 형성된다. 그러므로 가장 큰 압전효과는 Z축 위아래로 전극을 형성하는 것이다.)
- 단결정 각도
- 잉곳에서
42YX LT
36YX LT journal/crystals 2020, 자료에서
- 커팅 각도, http://www.buysemi.co.kr/에서
- 그림
LT
LN
- 128 rot-Y cut 과 52 rot-Y cut는 완전히 다르다.
- 결정구조가 cubic 이라면 같은데, rhombohedral lattice systems 에서는 전혀 다르다.
- 그림
- 웨이퍼에서
42YX LT 및 128YX LN 웨이퍼에서
- 다이에서
36YX 라면
- 잉곳에서
- 절단각도
- pyroelectrivity 조사
36도, 42도(Rx), 46도(Tx) 등이 사용된다.
- 폴링 poling, 분극 역전 polarization reversal
- 기술자료
- 논문, 쏘필터 웨이퍼는 congruent 조성이다.
- - Minerva Gonzalez 프랑스
-
- 도메인 스위칭을 하려면 일반 LT에서는 20kV/mm 이상 전압이 필요하다.
- 합동조성은 화학양론조성에 비해 1/5 전압으로 domain switching된다.
- 상온에서 Z방향 폴링은 액체전극(liquid electrodes)으로 saturated KNO3 solution in water를 사용했다.
- 샘플 위 아래로 실리콘 고무 O-ring을 두고 내부에 포화전해액(LiCl 또는 KCl)을 넣는다.
- domain reversal 이 일어나는 전압에서 전류피크 변화가 일어난다.
- 첫 domain reversal 이 일어나는 것을 forward poling Ef, 다음으로 반대로 걸어서 일어나는 domain reversal을 reverse poling이라고 한다면, Er로 표시하였다.
- 두 값 차이는 내부 전계(internal fields) 존재를 말한다. 이를 Eint = (Ef-Er)/2로 한다.
- 도메인 변경 영역은 polarized light microscope 로 보인다.
- 기술자료
- 유전율
-
- 엑셀파일
- 웨이퍼 두께방향으로의 비유전율은 ~46이다.
-
- 내전압 조사
- 절연저항 조사
- 자료
- 접합 웨이퍼
- Lithium Tantalate on Insulator(LTOI)
- Piezoelectric-on-Insulator(POI) wafer: soitec
- Smart Cut 기술, 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Smart_cut
- 깨짐
-
- LT/LN 단결정의 fracture toughness 는 (다른 단결정에 비해) 비교적 낮다. ~1MPam^1/2
- 그러므로 웨이퍼 가공(컷팅,그라인딩,폴리싱)때 주의해야 할 뿐더러,
- 조립공정에서 다이가 접촉하는 부분에서 발생되는 sub-surface crack이 쉽게 발생된다.
- 특히 쏘필터 조립시, pick and place 공정에서 뽀족한 바늘에 의해 단결정 재료의 좁은 영역에 힘이 집중될 때를 고려해야 한다.
- 이런 접촉을 Hertzian contact 이라고 한다. (1881년 Hertz 연구에 의해 시작됨)
- 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Contact_mechanics
- 3가지 방향을 고려한다. cleavage planes, twinning planes or slip planes
- biaxial strength는 LN ~700MPa, LT ~1800MPa이다. LT가 훨씬 강하다.
- LT LN의 단결정 구조
- trigonal crystal, 3 m point group, R3c space group(no.161)에 속한다.
- hexagonal axes(a=b≠c and α=β=90°,γ=120°)
- C축으로 가장 강력한 결합력을 갖는다. (가장 높은 Young's modulus. 가장 낮은 열팽창율. 그래서 빠른 파동속도, 큰 전기기계결합계수,낮은 tcf)
- LT/LN 단결정의 fracture toughness 는 (다른 단결정에 비해) 비교적 낮다. ~1MPam^1/2
-
- 웨이퍼 절단 각도 표현
- 42도Y-X LT란?
- 단결정 X축을 회전축으로, Y축을 반시계방향으로 42도 회전시킨다.
- 회전된 결정 Y축에 수직으로 자른다.
- 그려면, 웨이퍼를 직교좌표 XY평면에 놓아보면(즉, -Z축으로 보면)
- 웨이퍼 플랫존은 Y축과 평행하게 있고,
- 웨이퍼 결정의 +Z축은 전체 시스템의 +Z축(솟아있는)이 내 눈에서 멀어지는 쪽으로 48도 기울어져 있다.
- 단결정 모델
일진다이아몬드에서 2003년도(추정)에 만든 모형
- 42도Y-X LT란?
