수은등
수은등 mercury lamp
- 전자부품
- 기술자료
- mercury short-arc lamp 조사 - 6p
- 유리는 고급 광학 성질을 갖는 quartz glass로 만든다.
- 석영관 내부에는 불활성기체(noble/rare gas 즉 아르곤, 제논 등)와 수은(mercury)을 알맞는 비율로 넣는다.
- 동작을 하면, 수은이 증발하여 내부가 75기압까지 올라간다. 고압 수은 램프라고 한다.
- 전극사이에서 전자가 불활성가스와 충돌할 때 수은은 에너지를 얻는다. 이를 excited state(흥분상태)라고 한다.
- 전극사이에서 방전되고 있는 가스 온도는 약 10,000도씨까지 올라간다. 수은 원자가 고에너지 상태가 되어야 하기 때문이다.
- 텅스텐(tungsten) 전극은 반대편 끝에 있는 10um 얇은 몰리브덴 포일(molybdenum foil) 전극과 마주한다. 열팽창에 의한 스트레스를 줄이기 위해서 몰리브덴 포일을 사용한다. 텅스텐은 열팽창이 크고 석영은 작기 때문이다.
- 이런 전극들은 230도를 초과하지 않도록 설계되어야 한다. (식혀야 한다.)
- 오존(O3, Ozone) 문제
- 50, 100W급 램프는 정상적인 운전중에서 오존 발생하지 않는다.
- 그러나 시동시 초기 몇 분동안(램프 압력이 낮을 때) 작은 양의 오존이 발생된다.
- 초기 가동 때 스파크 갭에서 짧은 순간 생성되는 것으로 추측
- 석영관 온도가 낮으면 짧은 파장의 UV 투과도가 높아지기 때문에.
- 또한 산소가 질소와 합쳐져 질소산화물(NOx)도 생성된다.
- 그러나 석영은 250nm 이상 파장만 통과시키므로 오존이 크게 발생되지 않는다. 특별한 램프(250nm 이하 파장이 나오는)에서만 오존이 발생되므로 (주변 공기를)배출하여야 한다.
- 초기 시동 특성
- 식은 상태부터, 파워 서플라이 등의 여러 상태에 따라 5~15분 소요된다.
- 모든 수은이 증발되면 열평형(thermal equilibrium) 상태에 도달한다.
- 확인하는 방법은, 전류는 최대값보다 10%까지 증가한다. 그리고 전압은 거의 일정해진다. 만약 최대값보다 3%이상 증가하면 열평형상태에 도달하지 않았다. 또 너무 램프를 식히면 이런 현상이 나타난다.
- 서비스 수명
- 50W/AC, 100W/2, 103W/2 램프의 평균 서비스 수명은 100, 200, 300시간이다.
- 밝기의 50%가 되면 수명시간이다. 만약 30%가 되면 서비스 수명의 한계이다.
- 실제 수명은 얼마큼 자주 껏다 켰느냐에 결정적으로 의존한다. 위 평균 서비스 수명은 한 번 켰을 때 2시간 사용하는 것이 기준이다. 많이 스위칭할수록 수명이 준다. 계속 켜 사용하면 평균 수명이 길어진다.
- 사용 후 15분 이내에 끄면 수명이 빨리 단축된다.
- 설비에 장착
- 섬광, UV 피폭, 사용중 고압 때문에 안전하고 공기배출이 되는 하우징이 필요하다.
- 50W, 100W 램프는 별도의 강제 냉각이 필요하지 않다. 그러나 230도 이하로 낮추어야 한다.
- 강제 냉각 때에는 공기 흐름이 직접 방전관에 닿지 않도록 한다.
- 석영관에 기계적 스트레스가 가해지지 않게 한 쪽만 고정시켜 팽창 수축에 자유롭게 해야 한다.
- 램프가 검게되는 현상
- 동작중 텅스텐 전극이 부식되면서 석영관 내부 벽에 증착(deposited)된다.
- HBO 램프는 꽤 검게되면 교환해야 한다. 그렇지 않으면 관이 산산조각 가능성(possibility of shattering)이 매우 커진다.
- 이유는 검게 되면 빛을 많이 흡수하여 석영 온도가 올라가기 때문이다.
- 설치중 램프에 지문이 묻으면 해당 부위 유리가 화학 반응이 일어나 devitrify(딱딱해지고 불투명해지는 현상)되어 깨질 수 있는 확률이 높아진다.
- 사용 전압
- 50W/AC 램프 경우, 두 가지 전압을 사용할 수 있다. 이를 L1, L2라고 부른다.
- L1은 높은 전압, 낮은 전류(39~45V/1.3A), L2는 낮은 전압, 높은 전류(34~39V/1.45A)에서 사용된다.
- 100W/2 및 103W/2는 오직 한 가지 전압을 사용한다.
- 램프 산산조각(Shattering) 원인 4가지
- 평균 서비스 시간보다 오래 사용할 경우. 그러므로 사용시간을 기록하여 적절한 시점에서 교환한다.
- 파워 서플라이 고장. 특히 점화 시타터(ignition starter)의 고장나는 경우 시작 전압은 정상 가동 전압보다 무척 높기 때문이다.
- 점화 스타터에 있는 sparking gap이 마모될 수 있기 때문에, 스타터 관련 부품은 정기적으로 체크한다.
- 재 점화 방법은 ????
- 부적절한 설치에 의해 석영관에 기계적 스트레스가 가해지면.
- 석영관 표면이 지문, 화학물에 오염되어 Devitrification이 되면.
- 깨지면
- 수은이 있다.
- 보통 램프는 상온에서는 양압이 아니다. 그러나 몇몇 램프는 상온에서 8기압 상태이다. 그러므로, 취급시 앞면 얼굴 보호구 착용한다.
- 동작 때인 최대 75기압 상태에서 깨지면 800도씨 파편과 수은 증기가 배출된다.
- 동작 때 깨지면 도망친다.
- 최소 30분동안 공기를 배출한 이후, 처리한다.
- 350W급 이상 램프를 사용한다면, 이럴 때를 대비하여 수은 증기를 흡수하는 필터가 달린 공기 배출장치를 설치한다.
- 온도가 상온이면(수은이 액체로 존재하면) 특수한 수은흡착물질 또는 수은용 진공청소기를 사용하여 제거한다.
- Short-arc란
- 방전 영역 길이가 수 mm로 짧다.
- 그러므로, 점 광학용으로 쉽게 사용된다.
- 유리는 고급 광학 성질을 갖는 quartz glass로 만든다.
- 주의 사항 사진
- mercury short-arc lamp 조사 - 6p
- 램프 회사 카탈로그
- http://www.fusionuv.com/
- Ushio, Graphic-Arts-Catalog - 72p
- OSRAM, HBO Mercury short-arc lamps - 29p
- 점광원, 노광기용
- 축소투영 노광기(스테퍼용)
- ASML
- OSRAM, HBO 3501W/PIL, 3.5kW, 1500H
- 09/07/06 15:30분이후부터는 1500시간 초과하여 사용중... 1850시간에서 수명끝.
- USHIO, SUV-3500 SIL (ASML에 사용하는지 확인되지 않았음)17/07/09사진
- CANON
- OSRAM, HBO 1500W/CIEL , 1.5kW, 2250H
- USHIO, SUV-1501 CILh/S (Canon에 사용되는지 확인되지 않았음)17/07/09사진
- NIKON
- USHIO, SUV-2011NIHLA, 2.0kW, 1500H
- 1500시간 초과해서 사용함.
- 2009년도 기준 구입가 약 220만원(부가세 별도)
- USHIO, SUV-2011 NIHLA, 17/07/09사진
- ASML
- 1x 노광기용
- USH-1000DW(Super high-pressure UV lamps) 어떤 노광기인 모름
- 17/03/21일 촬영
- 17/07/09 촬영
- 17/03/21일 촬영
- HBO 1000 W/D - Lamps for Suss Equipment(MA150, MA200, MA4, MA6, MA8), 1000h용, DC 1000W 37.3V 26.5A
- USH-1000DW(Super high-pressure UV lamps) 어떤 노광기인 모름
- 아래 3개는 동네에서 얻은 것 - 용도는 알 수 없음
- 형광 현미경용(Fluorescence microscopy), UV 경화용(UV curing)
- USHIO, USH-250D (17/07/09사진 어떤 장비에 사용하는지 모름)
- USHIO, USH-508S (17/07/09사진 어떤 장비에 사용하는지 모름)
- Leica INM200 현미경용 수은등 전원장치
- HBO 100W, Osram, Mercury short-arc lamps, HBO 50~200W - 5p
- 램프 하우징
- 램프를 고정하는 방법
- 램프
- 램프 하우징
- HBO 100W, Osram, Mercury short-arc lamps, HBO 50~200W - 5p
- USHIO, USH-250D (17/07/09사진 어떤 장비에 사용하는지 모름)
- 축소투영 노광기(스테퍼용)
- UV 접착제를 경화하기 위한, 선형 광원 방출
- 세명 벡트론, UV 경화기용 300W(17/07/09사진)
- 세명 벡트론, UV 경화기용 300W(17/07/09사진)