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+ | <li> [[이동 좌표 생성]] | ||
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+ | <li> [[실리콘 다이오드 웨이퍼]] | ||
+ | <li> [[LED 프루빙]] | ||
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+ | <li> [[정전용량 프루빙]] | ||
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+ | <li> 프루빙 서비스 | ||
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<li>투고기술 보유, EG2001X 프루버 | <li>투고기술 보유, EG2001X 프루버 | ||
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+ | <li>A: EG 2001/2010/3001/4085 Prober Information - 6p | ||
+ | <li>대략 어떤 그림들 - 13p | ||
+ | <li>GPIB 명령어 - 14p | ||
+ | <li>EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어 | ||
+ | <li>2001X Basic Maintenance Training - 244p | ||
+ | <li>보유 3권 | ||
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+ | <li>2020/06/04 촬영 | ||
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+ | <li>Mechanical Interface Reference Drawing | ||
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+ | <li>Reference Drawing, Vol.1 | ||
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+ | image:eg_manual03_001.jpg | ||
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+ | <li>3점 원의 방정식 [[circle-ibw.txt]] | ||
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+ | <li>반지름 특성 분석 엑셀 파일 | ||
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+ | <li> [[DA-60D]] 진공펌프를 사용하고 있다. | ||
+ | <li>진공펌프에서 외경 10mm 튜브, 본체는 외경 5/16"(=7.94mm 약8mmm) 사용중 | ||
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+ | <li>공기압축펌프 | ||
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+ | image:140507_140730.jpg | 2014/05/02 투고기술에 설치. | ||
+ | image:140616_162020.jpg | 2014/06/16 | ||
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+ | <li>Platen Base Assembly 도면 - 11p | ||
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+ | <li>ring carrier - 주황색 판을 말한다. | ||
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+ | <li>3군데 기둥으로 [[평행 평면]]을 맞추는 방법. | ||
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+ | image:eg2001_ringcarrier01_003.jpg | 왼손이 잡고 있는 원통을 돌려서 높이를 조절한다. | ||
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+ | <li>Forcer - 이 회사가 linear motor를 일컫는 말이다. | ||
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+ | <li>2차원평면에서 이동한다. 영구자석과 전자석으로 이루어져 있다. | ||
+ | <li>알루미늄 덩어리속에 금속코어와 감싸고 있는 코일로 만들어 NS극이 존재한다. | ||
+ | <li>platen은 20mil 간격으로 와플 패턴이 에칭되어 그려져 있다. forcer 또한 20mil 간격이지만 이빨 형태로 잘라진 형태이다. | ||
+ | <li>palten과 forcer 사이는 air bearing 을 유지해서 마찰이 없으면서 1um 이동간격을 같는다. | ||
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+ | <li>Chuck - hot 척이다. | ||
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+ | <li>6인치(=150mm) 척 표면 | ||
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+ | <li>진공구멍이 어떤 측정값에 영향을 준다. | ||
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+ | <li> [[정전용량 프루빙]] | ||
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+ | <li>콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000 | ||
+ | <li>접지와 연결 | ||
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+ | image:eg2001_chuck01_001.jpg | M4, 척 표면 위로 올라오지 않게 나사 머리 직경을 줄임. | ||
+ | image:eg2001_chuck01_002.jpg | ||
+ | image:eg2001_chuck01_003.jpg | ||
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+ | <li>높이 | ||
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+ | <li>척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다. | ||
+ | <li>척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck03_001.jpg | X,Y 단위계를 인치 또는 미터로 선택할 수 있는데, Z축 높이는 항상 인치단위인 mil(25.4um)로 나타난다. | ||
+ | image:eg2001_chuck03_002.jpg | Z축 모터에 있는 [[기어]]비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>높이 정확도 측정 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck03_003.jpg | Z up 과 down 차이를 35mil(=889um)을 지정하면 | ||
+ | image:eg2001_chuck03_004.jpg | 원점 | ||
+ | image:eg2001_chuck03_005.jpg | 886um | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차 | ||
+ | </ol> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>수평 측정 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>개요 | ||
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+ | image:eg2001_chuck02_004.png | 링 케리어 평행도는 프루브 카드를 사용하지 않는다면 맞출 필요가 없다. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>2020/06/06 [[레이저변위]] 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만... | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>측정 사진 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck02_001.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>진공구멍이 있는 척 상태로 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck02_002.jpg | ||
+ | image:eg2001_chuck02_002_001.png | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck02_003.jpg | ||
+ | image:eg2001_chuck02_003_001.png | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck03_006.jpg | 척 1시방향 가장자리 높이 = 865um | ||
+ | image:eg2001_chuck03_007.jpg | 척 7시방향 가장자리 높이 = 891um | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>2020/06/07 [[평행 평면]]을 만들기 위한 방법 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>수평조절용 볼트 3군데 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>그림 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck03_009.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>설명 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>풀면, 척 전체를 위로 올리는 (강력한 스프링)이 없기 때문에 올릴 수는 없다. | ||
+ | <li>접촉부위 사이에 있는, 고무 [[오링]]으로 누르면서 수평을 잡는다. | ||
+ | <li>그러므로 너무 조이면 [[오링]]이 탄성을 잃어버려 수평 조절이 안된다. [[오링]]을 교환해야 한다. | ||
+ | <li>수평을 결정하는 또 다른 곳이 맨 위 척을 고정하는 4개의 볼트이다. | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>4개 볼트는 수평 조정용으로 사용하지 않고, 고정용이다. | ||
+ | <li>적당한 토크로 4개 볼트를 모두 고정시키고 난 후, 아래 3개로 수평조절을 한다. | ||
+ | </ol> | ||
+ | </ol> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>교정 전후 | ||
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− | image: | + | image:eg2001_chuck02_003_001.png | 수평잡기 전 |
+ | image:eg2001_chuck03_008.png | 수평잡은 후 | ||
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+ | </ol> | ||
+ | <li>2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤에 다시 측정하니, | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>출근해서 측정하니 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck03_010.png | 이틀 사이에 높낮이 차이가 발생되었다. | ||
+ | image:eg2001_chuck03_011.png | 시간에 따라 척이 높아지고 있다. (센서에서 멀수록 +이므로) | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>두 번째 측정하니, 평탄해졌다. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck03_013.png | 리니어모터는 사용함에 따라 뜨거워지나? - 그렇다 리니어모터의 가장 큰 단점이다. 또, 압축공기로 forcer를 부양시키므로 압축공기 온도에 의존하는가? | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck03_012.png | 높이 전압이 0.005% 이내로 연속 5회 들어오는 시간 | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>hot chuck 분해 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>2020/06/07 첫 분해 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_chuck04_001.jpg | ||
+ | image:eg2001_chuck04_002.jpg | 3개에서 한 곳에 세라믹 단열링이 없다. | ||
+ | image:eg2001_chuck04_003.jpg | 온도센서가 부착된 곳 | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>링(ring) | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>"프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_ring01_001.jpg | ||
+ | image:eg2001_ring01_002.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>2014/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001_ring02_001.jpg | ||
+ | image:140912_172756.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>2015/03/03, 링을 고정시키기 위해, mm 나사구멍을 몇 개 뚫는 가공비 21하이테크에서 80,000원 지불함. | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>모니터 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>20/04/20 [[CRT]] 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:eg2001x_003.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>바퀴 관련 | ||
+ | <ol> | ||
<li>14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함 | <li>14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함 | ||
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image:eg2001x_002.jpg | image:eg2001x_002.jpg | ||
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− | <li> | + | <li>20/05/26 바퀴 방향을 돌림 |
+ | <ol> | ||
+ | <li>캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음. | ||
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− | image: | + | image:eg2001x_004.jpg |
+ | image:eg2001x_005.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함. | ||
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+ | image:furniture_mover01_004.jpg | ||
+ | image:eg2001x_006.jpg | 바퀴 방향 조정 후. 자동차용 가위 잭은 높이가 높아 들어가지 못함. 빈 공간 높이 10cm | ||
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+ | </ol> | ||
+ | </ol> | ||
</ol> | </ol> | ||
<li>프루빙 장면 | <li>프루빙 장면 | ||
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image:140625_161014.jpg | image:140625_161014.jpg | ||
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− | <li> | + | <li>20/04/19 문제없이 돌아감 |
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− | <li> | + | <li>간이 프루버 |
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− | <li> | + | <li>2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함 |
− | + | <li>사진 | |
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image:prober2_001.jpg | 16/02/05 | image:prober2_001.jpg | 16/02/05 | ||
image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정 | image:prober2_002.jpg | 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정 | ||
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image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음. | image:prober2_003.jpg | 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음. | ||
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2024년 4월 26일 (금) 15:38 기준 최신판
프루버
- 링크
- 투고기술 보유, EG2001X 프루버
- 메뉴얼
- A: EG 2001/2010/3001/4085 Prober Information - 6p
- 대략 어떤 그림들 - 13p
- GPIB 명령어 - 14p
- EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
- 2001X Basic Maintenance Training - 244p
- 보유 3권
- 2020/06/04 촬영
- Mechanical Interface Reference Drawing
- Reference Drawing, Vol.1
- Reference Drawing, Vol.2
- 2020/06/04 촬영
- 수식
- 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
- 분석 엑셀
- 반지름 특성 분석 엑셀 파일
- 주변 유틸리티
- 100V 트랜스포머
- 220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
- 진공펌프
- DA-60D 진공펌프를 사용하고 있다.
- 진공펌프에서 외경 10mm 튜브, 본체는 외경 5/16"(=7.94mm 약8mmm) 사용중
- 공기압축펌프
- 냉동식 수분 제거기
- 필터(main filter + mist separator)
- 100V 트랜스포머
- 프루버 본체 등
- 투고사무실에서
- Platen Base Assembly 도면 - 11p
- ring carrier - 주황색 판을 말한다.
- 3군데 기둥으로 평행 평면을 맞추는 방법.
- 3군데 기둥으로 평행 평면을 맞추는 방법.
- Forcer - 이 회사가 linear motor를 일컫는 말이다.
- 설명
- 2차원평면에서 이동한다. 영구자석과 전자석으로 이루어져 있다.
- 알루미늄 덩어리속에 금속코어와 감싸고 있는 코일로 만들어 NS극이 존재한다.
- platen은 20mil 간격으로 와플 패턴이 에칭되어 그려져 있다. forcer 또한 20mil 간격이지만 이빨 형태로 잘라진 형태이다.
- palten과 forcer 사이는 air bearing 을 유지해서 마찰이 없으면서 1um 이동간격을 같는다.
- 사진
- 설명
- Chuck - hot 척이다.
- 6인치(=150mm) 척 표면
- 형태
- 진공구멍이 어떤 측정값에 영향을 준다.
- 형태
- 콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
- 접지와 연결
- 높이
- 척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
- 척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
- 높이 정확도 측정
- 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
- 2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
- 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
- 수평 측정
- 개요
- 2020/06/06 레이저변위 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
- 측정 사진
- 진공구멍이 있는 척 상태로
- 150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
- 측정 사진
- 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
- 2020/06/07 평행 평면을 만들기 위한 방법
- 2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤에 다시 측정하니,
- 출근해서 측정하니
- 두 번째 측정하니, 평탄해졌다.
- 어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
- 출근해서 측정하니
- 개요
- hot chuck 분해
- 2020/06/07 첫 분해
- 2020/06/07 첫 분해
- 6인치(=150mm) 척 표면
- 링(ring)
- "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
- 2014/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
- 2015/03/03, 링을 고정시키기 위해, mm 나사구멍을 몇 개 뚫는 가공비 21하이테크에서 80,000원 지불함.
- "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
- 모니터
- 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
- 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
- 바퀴 관련
- 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
- 20/05/26 바퀴 방향을 돌림
- 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
- 가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
- 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
- 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
- 투고사무실에서
- 프루빙 장면
- 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
- 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
- 20/04/19 문제없이 돌아감
- 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
- 메뉴얼
- 압전 연구실 2017/04/20
- Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
- 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
- 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
- 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
- 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
- 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
- 간이 프루버
- 2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함
- 사진