DA-60D
진공펌프 DA-60D
- 링크
- ULVAC DA-60D - 투고기술에서는 프루버에서 진공척(웨이퍼 고정용)을 위해 사용한다.
- - 36p, 14/01/21 100V 얻음
- ultimate pressure(최저 압력)은 3.32kPa 이다.
- pump speed(펌프 용량) 72L/min @60Hz 이다.
- 1호기 - S/N 98612
- 2014/01/12 100V용
- 2014/01/26 분해, 청소, 수리
- 분해 시작
뚜껑을 벗기면 입구 구멍 및 출구 밸브가 보인다.
벗긴 뚜껑
- 관이 NO에 연결되어 있다. OFF면 다이아프램이 있는 공간은 외부 공기와 통하고 ON이면 닫겠다는 뜻인데… 왜? 다이아프램에 진공에 계속 걸려 있으면 휘어 있는 상태이므로 스트레스를 받기 때문인가?
솔레노이드 valve와 연결되는 orifice 내경 Ø1.0관
- 다이아프램
찢어진 두 개의 다이아프램 외경 Ø144, 내경 Ø58, 두께 3mm 가량
- 청소
고무 가루가 너무 많아, 비눗물 청소함
구조
- 분해 시작
- 2014/02/03 다이아프램 절단시 외경과 내경 중심을 잘 맞추지 않고 절단 후, 조립하면, 운전시 커넥팅로드 진동이 심하다.
다시 정교하게 잘라서 조립하니 소음이 확실히 줄어들었음.
- 2014/05/07 진공펌프 진동소음을 막기 위해서 허공에 띄우다.
- 2020/01/25 2호기에서 뜯어낸 Diaphragm 을 여기에 장착함.
- 기존 폴리우레탄 판은 찢어지지 않고 그대로 임. 멀쩡하므로 보관함.
- 2023/10/22 경과시간에 따른, Yokogawa MT210F 767337 절대압력계로 압력 측정데이터
- 길이 약10m, 외경 10mm 튜브가 연결된 상태에서(즉, 체적이 작다.)
90초 지나 진공펌프 전원을 껐다. 약 1분이면 진공이 모두 파괴된다.
5초 지나면 최대진공 6.1kPa에 도달한다.
- 이 펌프 규격서 ultimate pressure(최저 압력)은 3.32kPa이다. 현재 6.1kPa을 보인다.
- 길이 약10m, 외경 10mm 튜브가 연결된 상태에서(즉, 체적이 작다.)
- 2014/01/12 100V용
- 2호기 - S/N 98629
- 20/01/22 분해하여 Diaphragm만 보관하고 나머지는 모두 버림
- 동작 원리 동영상
- ULVAC DA-60D, 72L/min, 3.32kPa, 7~40'C, single phase, 200W, 4pole capacitor run
outlet(공기가 배출되므로 소음기를 꼽는다.), inlet
- 토글스위치와 TCO스위치 가 상단에 배치되어 있다.
- 체크밸브
outlet check valve
밸브에 이물질이 끼면 안되므로, 스펀지
inlet check valve
솔레노이드로 가는 구멍
- rubber diaphragm
금속 마개에 방향성이 있다. 움푹파인 구멍이 좌우 배치이어야 한다. (위 뚜껑에 나사 머리가 있기 때문에)
왕복운동으로 찢어지므로 소모품이다.
- 측면
4개씩 양쪽에서 사용한 8개 캡 너트 cap nuts
AC팬 NMB 4710PS-10T-B30 100VAC
- 좌우에 있는 eccenter sleeve(편심슬리브) 및 connecting rod
커넥팅 로드 안쪽에 스크루 2개가 있다. (총 3개 고정 스크루를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.)
- 가열해야 뺄 수 있음. - 한 쪽은 빼지 못함.
커넥팅 로드 안쪽에 스크루 2개가 있다. (총 3개 고정 스크루를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.)
가스 토치로 가열한 후
- 단상 유도, AC모터
회전체 밸런싱 조정 방법
- - 36p, 14/01/21 100V 얻음
