에지 센서

전자부품
1. 기구
  1. 프루버
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2. 참조
  1. 마이크로 스위치
프루버에서, 웨이퍼 에지를 검출하기 위한 센서를 말한다.
기술
1. Keithley 회사 Probe Card Tutorial 에서
프루브카드에 설치함.
1. 캔틸레버 - DC 측정용
  1. 높이 검출용 센서, wafer edge sensor, 프루브 터치다운(touchdown)을 검출해서 Z-높이를 결정할 때 사용한다.