Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서

전자부품
1. Fukuta 에어리크 검사기
2. 압력센서
  1. Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서 - 이 페이지
  2. Fukuta 에어리크에서 주 차압센서
차압센서2
1. 신호 전처리 보드
2. Merit Sensor, 이 회사 고유의 Sentium 기술을 사용한다. OEM 판매한다.
  1. 데이터시트 - 2p
3. 제품1에서
  1. 이렇게 생긴 공압부품, 황동 가공품 속에서 사용된다.
    - 양쪽으로 구멍이 뚫려있는 대칭형 가공품 속에 있다.
  2. 센서 외형
    - 4개 전선이 연결된다.
  3. 가스토치로 가열해, 단단한 에폭시 접착제로 4군데 밀봉된 부분을 뜯어내면
    - 센서에서 공기가 통하는 뒤쪽 구멍이 보인다.
    - 센서면 표면이 보이는 앞쪽을 다시 뜯으면
4. 제품2에서
  1. 뜯으면
  2. 레이저 천공된 알루미나 기판에 센서다이가 다이본딩, Bump Over Stitch Au 볼 와이어본딩되어 있다.
  3. 계속해서 알루미나 기판을 뜯으면
  4. 다이 접착 방법
    - 실리콘 센서 다이와 구멍이 있는 유리 다이(하프 커팅후 절단되었다.)를 서로 붙였다.
  5. 다이 구조
    - SENTIUM 3000
    - MEMS 가공된 실리콘 센서 멤브레인이 깨진 후 사진. 트위저로 뒤면 유리 구멍을 잡고 가스토치로 가열하니 유리가 녹아 찌그러졌다.