DA-60D

진공펌프 DA-60D

링크
1. 전자부품
  1. 진공
    1. 진공펌프
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      2. DAL-10S 진공펌프
2. 참고
  1. 진공용기
ULVAC DA-60D - 투고기술에서는 프루버에서 진공척(웨이퍼 고정용)을 위해 사용한다.
1. - 36p, 14/01/21 100V 얻음
  1. ultimate pressure(최저 압력)은 3.32kPa 이다.
  2. pump speed(펌프 용량) 72L/min @60Hz 이다.
2. 1호기 - S/N 98612
  1. 2014/01/12 100V용
  2. 2014/01/26 분해, 청소, 수리
    1. 분해 시작
      - 뚜껑을 벗기면 입구 구멍 및 출구 밸브가 보인다.
      - 벗긴 뚜껑
    2. 관이 NO에 연결되어 있다. OFF면 다이아프램이 있는 공간은 외부 공기와 통하고 ON이면 닫겠다는 뜻인데… 왜? 다이아프램에 진공에 계속 걸려 있으면 휘어 있는 상태이므로 스트레스를 받기 때문인가?
      - 솔레노이드 valve와 연결되는 orifice 내경 Ø1.0관
    3. 다이아프램
      - 찢어진 두 개의 다이아프램 외경 Ø144, 내경 Ø58, 두께 3mm 가량
    4. 청소
      - 고무 가루가 너무 많아, 비눗물 청소함
      - 구조
  3. 2014/02/03 다이아프램 절단시 외경과 내경 중심을 잘 맞추지 않고 절단 후, 조립하면, 운전시 커넥팅로드 진동이 심하다.
    - 다시 정교하게 잘라서 조립하니 소음이 확실히 줄어들었음.
  4. 2014/05/07 진공펌프 진동소음을 막기 위해서 허공에 띄우다.
    1. 고무를 사용하는 진동방지마운트는 큰 효과가 없다.
    2. 구입품
      1. 인장 스프링 50mm @3,000원 x 4ea 구입하여
      2. 턴버클 3/16인치 @2,100원 x 4ea 구입하여
    3. 사진
  5. 2020/01/25 2호기에서 뜯어낸 Diaphragm 을 여기에 장착함.
  6. 2023/10/22 경과시간에 따른, Yokogawa MT210F 767337 절대압력계로 압력 측정데이터
    1. 길이 약10m, 외경 10mm 튜브가 연결된 상태에서(즉, 체적이 작다.)
      - 90초 지나 진공펌프 전원을 껐다. 약 1분이면 진공이 모두 파괴된다.
      - 5초 지나면 최대진공 6.1kPa에 도달한다.
    2. 이 펌프 규격서 ultimate pressure(최저 압력)은 3.32kPa이다. 현재 6.1kPa을 보인다.
3. 2호기 - S/N 98629
  1. 20/01/22 분해하여 Diaphragm만 보관하고 나머지는 모두 버림
  2. 동작 원리 동영상
  3. ULVAC DA-60D, 72L/min, 3.32kPa, 7~40'C, single phase, 200W, 4pole capacitor run
    - outlet(공기가 배출되므로 소음기를 꼽는다.), inlet
  4. 토글스위치와 TCO스위치 가 상단에 배치되어 있다.
  5. 체크밸브
    - outlet check valve
    - 밸브에 이물질이 끼면 안되므로, 스펀지
    - inlet check valve
    - 솔레노이드로 가는 구멍
  6. rubber diaphragm
    - 금속 마개에 방향성이 있다. 움푹파인 구멍이 좌우 배치이어야 한다. (위 뚜껑에 나사 머리가 있기 때문에)
    - 왕복운동으로 찢어지므로 소모품이다.
  7. 측면
    - 4개씩 양쪽에서 사용한 8개 캡 너트 cap nuts
    - AC팬 NMB 4710PS-10T-B30 100VAC
    - 솔레노이드 및 모터C
  8. 좌우에 있는 eccenter sleeve(편심슬리브) 및 connecting rod
    - 커넥팅 로드 안쪽에 스크루 2개가 있다. (총 3개 고정 스크루를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.)
  9. 가열해야 뺄 수 있음. - 한 쪽은 빼지 못함.
    - 커넥팅 로드 안쪽에 스크루 2개가 있다. (총 3개 고정 스크루를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.)
    - 가스 토치로 가열한 후
  10. 단상 유도, AC모터
    - 회전체 밸런싱 조정 방법