M-gage

m-gage

전자부품
1. 계측기-측정기
  1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
    1. m-gage - 이 페이지
2. 참고
  1. 금속검출
Tencor M-gage 300 (텐코 엠게이지 300)
1. 기술
  1. sheet resistance measurement probe 중에서, Eddy Current Method 로 측정한다.
2. 15/02/24 사진촬영
  - 웨이퍼에서 여러군데 측정하려고 웨이퍼를 들어올린 후 회전 후 다시 내려놓고 측정
  - 1-5-9 측정 지점 수로 추측
  - 실제 측정. 카트리지와 무관하게 측정
  - Y2K 라벨
3. 외관
4. 윗면 아랫면 분리
5. 웨이퍼 이송 벨트에서 베어링 - Torrington Company, radial and thrust needle roller bearing을 전문으로 만듬.
6. 윗면
  1. 모터 제어부
    - 빛 통과 조합으로 파워 OP앰프출력으로 DC 모터를 돌리는 듯
    - LM759, Power Operational Amplifiers, 325 mA
  2. 웨이퍼 X 모터
    1. 어셈블리
    2. 9지점 엔코더
      - 슬롯을 보면, 3인치 수평 5군데 측정, 수직 4군데 측정, 총 9포인트
      - Z축 올리고 90도 돌리기 위해 하나 더
    3. 모터 escap 22N28, DC motor, 3.8W, -213E 9V 7000rpm 0.62A max / K24 0.17Nm
      1. 참조단어: (escap dc motor back-emf Tachometer Output Signal)
      3. 모터 및 감속기(Reduction gearboxes escap®using spur gears - 토크가 낮고 작은 마찰을 갖는다.) 반면에 Planetary gearbox는 큰 토크가 필요할 때 사용한다.
      4. 감속기를 통해 역으로 돌리면, 모터에서 출력되는 전압
        
        +전압은 시계방향, -는 반시계방향, 전압크기는 회전속도, 손으로 돌려서 오르락 내리락
        
        리플 전압, 1회전에 9파형(모터 구조가 9-segment), 서서히 증가 전압은 회전속도 증가
    4. 웨이퍼 Z (웨이퍼 X 모터와 동일하다.)
    5. 센서부
      1. 전체
      2. 센서 헤드
        
        외관
        
        전면 마개 벗기고
        
        내부 코일
        
        권선 관찰
        
        굵은선 10회전
        
        가는선 10회전
        
        리쯔 코일
      3. OP amp
      4. J-FET
      5. 트랜스포머 ?
  3. 밑 몸체
    1. 전체
    2. 전면 버튼 및 표시부
      1. 전체
      2. 전면 버튼부
        
        C&K Digitast Micro-miniature SPDT keyswitches
      3. 표시부
    3. 외부 인터페이스 부
      - LM309HP+, National Semiconductor, 5 Voltage regulator
    4. 아날로그 - 디지털 처리부
      - CA3140 : BiMOS Operational Amplifier
      - LH0094CD, Multifunction Converter
      - 릴레이
      - LM336H-2.5 2.5V voltage reference
      - 절연저항을 높이기 위해서, 고의로 허공에서 연결
    5. 전원부
      1. 전체
      2. AC전원용 노이즈필터 단품
      3. AC트랜스를 위한 100/115/220V 전원선택 방법
      4. 100Vac에서 +-15V 리니어 레귤레이터
        
        100V 전용 레귤레이터가 있어 220V 변경이 어렵다.
      5. AC트랜스
        
        LASELCO PACIFIC
        
        E, I 모양, 바깥은 별도의 모양 - 풀칠 때문에 분해 거의 불가
      6. 릴레이 Genicom Corporation -> CII Technologies 1997년 --> Tyco Electronics Corp. 2012년 --> TE Connectivity로 이름 변경
        
        1A L로드 2A R로드, 115VAC 28VDC, 700오옴 코일
        
        GENICOM Corp, 3SAV5004H1 / 3SAV1001A1
      7. 크리스탈 유닛, Xtal금속
        
        Statek, SX-1H-100kHz(9452), TO-5
      8. 리니어 레귤레이터
        
        SCC LAS1508, TO-3, 1.5A Positive Voltage Regulator // SCC LAS1808, TO-3, 1.5A Negative Voltage Regulator
      9. 덧붙인 Tr
      10. 직진이동 다회전 가변R potentiometer
        
        그리스
        
        실링방법
  4. 디지털 데이터 변환기
    1. 전체
    2. 슬라이드 스위치 - 쉽게 녹는다. 아마 PC 재질인듯
    3. 코드 스위치에서, thumbwheel switch, EECO, STRIPSWITCH, 2700 SERIES
    4. Xtal금속 (CTS, MP061, 6.144MHz, 20pF, Fundamental) 고정 방법 - 양면 테이프로. 48kHz x 128 = 6.144MHz DAT에서 고품질 오디오 샘플링 주파수의 표준주파수. 또는 UART baud rates를 38400까지 사용하기 위해 정수 나눗셈용
    5. LM340TS, 7805, 1.5A +5V 리니어 레귤레이터