Tencor m-gage 300 표면저항 측정기

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Tencor m-gage 300 표면저항 측정기

  1. 전자부품
    1. 계측기-측정기
      1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
        1. Tencor m-gage 300 표면저항 측정기 - 이 페이지
    2. 참고
      1. 금속검출
  2. Tencor m-gage 300 표면저항 측정기 (텐코 엠게이지 300)
    1. 기술
      1. sheet resistance measurement probe 중에서, Eddy Current Method 로 측정한다.
    2. 15/02/24 사진촬영
    3. 외관
    4. 윗면 아랫면 분리
    5. 웨이퍼 이송 벨트에서 베어링 - Torrington Company, radial and thrust needle roller bearing을 전문으로 만듬.
    6. 윗면
      1. 모터 제어부
      2. 웨이퍼 X 모터
        1. 어셈블리
        2. 9지점 엔코더
        3. 모터 escap 22N28, DC motor, 3.8W, -213E 9V 7000rpm 0.62A max / K24 0.17Nm
          1. 참조단어: (escap dc motor back-emf Tachometer Output Signal)
          2. 모터 및 감속기(Reduction gearboxes escap®using spur gears - 토크가 낮고 작은 마찰을 갖는다.) 반면에 Planetary gearbox는 큰 토크가 필요할 때 사용한다.
          3. 감속기를 통해 역으로 돌리면, 모터에서 출력되는 전압
        4. 웨이퍼 Z (웨이퍼 X 모터와 동일하다.)
        5. 센서부
          1. 전체
          2. 센서 헤드
            1. 외관
            2. 전면 마개 벗기고
            3. 내부 코일
            4. 권선 관찰
          3. OP amp
          4. J-FET
          5. 트랜스포머 ?
      3. 밑 몸체
        1. 전체
        2. 전면 버튼 및 표시부
          1. 전체
          2. 전면 버튼부
          3. 표시부
        3. 외부 인터페이스 부
        4. 아날로그 - 디지털 처리부
        5. 전원부
          1. 전체
          2. AC전원용 노이즈필터 단품
          3. AC트랜스를 위한 100/115/220V 전원선택 방법
          4. 100Vac에서 +-15V 리니어 레귤레이터
          5. AC트랜스
          6. 릴레이 Genicom Corporation -> CII Technologies 1997년 --> Tyco Electronics Corp. 2012년 --> TE Connectivity로 이름 변경
          7. 크리스탈 유닛, 금속 패키지 수정 공진기
          8. 리니어 레귤레이터
          9. 덧붙인 Tr
          10. 직진이동 다회전 가변 저항기 potentiometer
      4. 디지털 데이터 변환기
        1. 전체
        2. 슬라이드 스위치 - 쉽게 녹는다. 아마 PC 재질인듯
        3. 코드 스위치에서, thumbwheel switch, EECO, STRIPSWITCH, 2700 SERIES
        4. 금속 패키지 수정 공진기 (CTS, MP061, 6.144MHz, 20pF, Fundamental) 고정 방법 - 양면 테이프로. 48kHz x 128 = 6.144MHz DAT에서 고품질 오디오 샘플링 주파수의 표준주파수. 또는 UART baud rates를 38400까지 사용하기 위해 정수 나눗셈용
        5. LM340TS, 7805, 1.5A +5V 리니어 레귤레이터