LED 프루빙

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      2. 프루버
2. 200x200um 블루, 플립칩 LED
   1. 20/05/20 첫 측정
      1. 낱개로 분리된 반쪽 웨이퍼 상태이어서
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           프루버 척에 올려 놓고

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           진공을 잡으면

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           진공 구멍 때문에 높이 차이가 발생된다.

      2. 밑에 4인치 웨이퍼를 깔고 측정함. 0.2x0.2mm 칩크기이므로 약 18만개 칩/100mm 웨이퍼
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      3. 1mA 인가. LED이므로 전압 방향을 맞추어야 한다.
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      4. 200x200um 칩 크기, 블루 플립칩, 빛이 반대편에서 나온다.
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      5. 10x10=100개, @1mA 세번 측정,
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           위치별 Vf

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           저항으로 환산했을 때. 오픈 측정은 없다.

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           측정시스템 신뢰 분석 - 화살표 한개만 측정에 문제

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           정상군 중에서 2개만 Vf에 이상

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           온도계수 -2mV/'C 라면, 두번째 측정에서 주변온도 0.5도씨 상승. 세번째는 두번째 측정후 바로 측정했음

      6. 두 군데에서 10x10=100개씩 측정, V-I 커브
         1. 해석
            1. 두 군데 90, 96개에서 양품이 50%, 불량품이 50% 이다. 이 회사 웨이퍼 수율은 50% 이다.
            2. V-I 그래프가 직선이면 반도체가 아닌 순수 저항기이다.
            3. 대부분 불량은 전압이 상승할 때 갑자기 켜진다.
         2. 그래프
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              전류 로그

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              전류 선형

3. 블루, 와이어본딩
   1. 대만, Genesis Photonics, B2424CCD0, InGaN/GaN, 2009년 제조
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        P=IV이므로, I=0.111/3.42=32.5mA에서 측정했다는 뜻

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        배열피치는 약 1.0x1.0mm, 칩크기는 0.61x0.61mm

   2. Vf @10mA 측정
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   3. 96개 Vf 커브 측정
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4. 블루, 와이어본딩
   1. Intelligent Test Solution Winner (ITS WIN), M0804-GB-A20H, 2016.10.09 (칩 크기 0.84x0.42mm)
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   2. 프루빙 사진
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   3. 50mA에서 Vf
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   4. 176개 Vf 커브 측정
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   5. 위치 추적 프로그램으로 30mA에서 Vf
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        2-wire 측정방식이어서 측정에 편차가 큼

   6. 2.5um 피치로 X축 20번 Y축 20번 총 400번 측정.
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        P 전극(표면에 있다.)

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        N 전극(밑에 깔려 있다.) 표면은 P전극이다. 그러므로 N전극이 표면에 묻으면 short이다. LED PSS가 보인다.

   7. 2.5um 피치로 중심에서 정사각형으로 시계방향으로 퍼져나가면서 X축 41번 Y축 41번 총 1681번 측정.
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        로그 Vf

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        선형 Vf