"압력센서"의 두 판 사이의 차이

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압력센서
 
압력센서
 
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<li>togotech wiki
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<li> [[전자부품]]
 
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<li> [[압력]]
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<li>센서
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<li> [[압력센서]] - 이 페이지
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<li> [[압력계]]
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<li> [[기압계]]
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<li> [[핸드폰에서 발견한 대기압 센서]]
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<li> [[에어 리크]]
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<li> [[Fukuta 에어리크 검사기]]
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<li> [[공압]]
 
<li> [[TPMS]]
 
<li> [[TPMS]]
<li>
+
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<li>
+
<li> [[힘센서]]
<li>
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<li>높이
<li>
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<li> [[레벨센서]]
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<li> [[파고계]]
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<li> [[수평계]]
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<li>inductive proximity sensor
 
<li>inductive proximity sensor
 
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<li>
+
<li> [[에어리크]]
<li>세탁기용 수위센서
+
<li> [[세탁기용 수위센서]]
 +
</ol>
 +
<li>트랜스듀서 - 신호처리 IC가 없다. 그래서 순수한 저항값만 측정할 수 있다.
 
<ol>
 
<ol>
<li>샘플
+
<li>COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
 
<ol>
 
<ol>
<li>외관 보니, 코일 -> L값이 변화됨. 즉, 콘트롤보드에서 수위를 측정함. 20kHz 발진회로이므로 8비트 마이콤 16비트 카운터 65k이면 주파수 측정이 가능함.
+
<li>규격서 - 3p
 +
<li> [[무사시 Sigma-MX8000SM2]]
 +
<ol>
 +
<li>외관
 
<gallery>
 
<gallery>
image:water_level01_001.jpg
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image:mx8000sm2_008.jpg
image:water_level01_002.jpg
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image:mx8000sm2_015.jpg
image:water_level01_003.jpg
 
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image:water_level01_005.jpg
 
image:water_level01_006.jpg
 
image:water_level01_007.jpg
 
 
</gallery>
 
</gallery>
<li>5/22
+
<li>패키지를 분해
<ol>
+
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<li>사진
+
image:mx8000sm2_015_001.jpg
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image:mx8000sm2_015_002.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>알루미나 기판
 +
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image:mx8000sm2_015_003.jpg | 센서를 조립한 후, 브리지 저항값을 맞추기 위해 [[레이저 트리밍]]을 했을 것이다.
 +
image:mx8000sm2_015_004.jpg | 센서 뒷면 구멍은 공기가 통해야 한다.
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</gallery>
 +
<li> [[헤더,캡]] [[용접]]부위를 잘라서 내부 관찰
 +
<gallery>
 +
image:mx8000sm2_015_005.jpg | 말랑말랑한 실리콘 수지가 찢어졌다.
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image:mx8000sm2_015_006.jpg
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image:mx8000sm2_015_007.jpg
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image:mx8000sm2_015_008.jpg | 본딩된 와이어가 떨어지지 않도록 도전성 접착제를 핀 위에 바른 듯
 +
</gallery>
 +
<li>매우 말랑말랑한 실리콘 수지가 도포된 상태에서 위에서 관찰하면
 +
<gallery>
 +
image:mx8000sm2_015_009.jpg
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image:mx8000sm2_015_010.jpg
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image:mx8000sm2_015_011.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>센서 다이 접착 방법. 덜 말랑말랑한 실리콘 접착제로 다이본딩하였다.
 +
<gallery>
 +
image:mx8000sm2_015_012.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>패턴
 +
<gallery>
 +
image:mx8000sm2_015_013.jpg
 +
image:mx8000sm2_015_014.jpg | COPAL Electronics P007 6.0
 +
image:mx8000sm2_015_015.jpg | 정렬키 align key
 +
image:mx8000sm2_015_016.jpg | [[TEG]]
 +
image:mx8000sm2_015_017.jpg | 저항선 4개 중 가운데 2개를 찍은 사진
 +
</gallery>
 +
<li>다이본딩
 
<gallery>
 
<gallery>
image:water_level01_008.jpg
+
image:mx8000sm2_015_018.jpg
image:water_level01_009.jpg
+
image:mx8000sm2_015_019.jpg | 다이접착제는 쉽게 떨어진다.
 
</gallery>
 
</gallery>
<li>동영상,
+
<li>다이
</ol>
 
<li>5/27
 
<ol>
 
<li>사진
 
 
<gallery>
 
<gallery>
image:water_level01_010.jpg
+
image:mx8000sm2_015_020.jpg | [[초음파 세척기]]에서 깨진다.
image:water_level01_011.jpg
+
image:mx8000sm2_015_021.jpg | 뒷면 관찰
image:water_level01_012.jpg
 
image:water_level01_013.jpg
 
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 +
<li>Si-MEMS 센서
 +
<ol>
 +
<li>제조회사별 인터넷 공개 자료
 +
<ol>
 
</ol>
 
</ol>
<li>Si-MEMS 센서
+
<li>보유한 제품에 대한 회사별 규격서
 
<ol>
 
<ol>
<li>회사별
+
<li>Bosch
 
<ol>
 
<ol>
<li>KEC
+
<li> - 57p 대기압센서 상대정확도 +-8Pa(0.66m), 절대정확도 +-50Pa
 +
<li> - 56p, 습도센서+대기압센서, I2C/SPI, 3.3V, 상대정확도 +-12Pa, 절대정확도 +-100Pa
 +
<li> - 28p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 300~1100hPa(-500~+9000m 고도)
 +
<li> - 27p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 상대정확도 +-20Pa, 절대정확도 +-100Pa
 +
</ol>
 +
<li>CFSensor
 
<ol>
 
<ol>
<li>10/11/08- 18p
+
<li> - 8p, 신호처리 회로 없이 단지 4개의 저항체만 있다.
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>Honeywell
 
<li>Honeywell
 
<ol>
 
<ol>
<li>- 7p
+
<li> - 7p
<li>- 20p 디지털, 튜브 끼울 수 있도록 포트가 있다.
+
<li> - 20p 디지털, 튜브 끼울 수 있도록 포트가 있다.
 
<gallery>
 
<gallery>
 
image:pressure07_001.jpg
 
image:pressure07_001.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
 +
</ol>
 +
<li>KEC
 +
<ol>
 +
<li>10/11/08 - 18p
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>NXP
 
<li>NXP
 
<ol>
 
<ol>
<li>- 12p 아날로그 출력
+
<li>압력센서
<li>- 26p 400mm 물높이
+
<ol>
 +
<li> - 12p, 0~10kPa(=100cm 물높이) 아날로그 출력
 +
<li> - 26p, 0~3.92kPa(=40cm 물높이)
 +
<li> - 13p, -2~+2kPa
 +
<li> - 20p, 0~100kPa(진공용), 아날로그 출력
 +
</ol>
 +
<li>기압센서
 +
<ol>
 +
<li> - 8p, 50~115kPa, SPI
 +
<li> - 24p, 50~115kPa, I2C
 +
<li>고도계;Altimeter - 44p, 30cm 고도 분해능, I2C
 +
</ol>
 +
</ol>
 +
<li> ,
 +
<ol>A015i2210 보유(-15psi=1.03기압), - 진공용이므로...
 +
</ol>
 +
<li>Sensirion
 +
<ol>
 +
<li> - 9p, differential, -20~500Pa (2inch H2O), 0.25~4.0V output
 +
<li> - 11p, differential, -500~500Pa (2inch H2O), I2C digital
 
</ol>
 
</ol>
<li>Bosch
+
<li>  
 
<ol>
 
<ol>
<li>- 57p 대기압센서 상대정확도 +-8Pa(0.66m), 절대정확도 +-50Pa
+
<li>PSG010S - differential, 40kPa
 
</ol>
 
</ol>
<li>,
+
<li>TE Connectivity MS5803-14BA
<ol>A015i2210 보유(-15psi=1.03기압),- 진공용이므로...
+
<ol>
 +
<li> - 19p, 14 bar(다이빙용), SPI/I2C, 24-bit ADC
 +
</ol>
 +
</ol>
 +
<li>기압측정용
 +
<ol>
 +
<li>대기압용
 +
<ol>
 +
<li>Bosch BMP085
 +
<gallery>
 +
image:pressure11_001.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>Bosch BMP180
 +
<ol>
 +
<li>제품1
 +
<gallery>
 +
image:pressure18_001.jpg
 +
image:pressure18_002.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>제품2, 3.3V용이므로 5V를 사용할 수 있도록 level shifter를 사용한 보드
 +
<gallery>
 +
image:pressure18_003.jpg
 +
image:pressure18_004.jpg
 +
</gallery>
 +
</ol>
 +
<li>Bosch BME280
 +
<gallery>
 +
image:pressure12_001.jpg
 +
image:pressure12_002.jpg | 압력/온도 센서
 +
image:pressure12_003.jpg | 압력/온도+습도 센서
 +
</gallery>
 +
<li>Freescale, MPL115A1
 +
<gallery>
 +
image:pressure17_001.jpg | SEN-09721 SparkFun Barometric Pressure Sensor Breakout
 +
image:pressure17_002.jpg | M1PR, Freescale MPL115A1 Barometer, SPI digital, 50~115kPa
 +
</gallery>
 +
<li>Freescale, MPL115A2
 +
<gallery>
 +
image:pressure19_001.jpg | adafruit 992, I2C
 +
image:pressure19_002.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>Freescale, MPL3115A2, 고도계
 +
<gallery>
 +
image:pressure16_001.jpg | SEN-11084 SparkFun Barometric Pressure Sensor Breakout
 +
image:pressure16_002.jpg | M3PR, Freescale MPL3115A2 Altimeter, I2C digital, 24-bit ADC, 분해능 높이 30cm
 +
</gallery>
 +
</ol>
 +
<li>수중 다이버용
 +
<ol>
 +
<li>SparkFun SEN-12909 브레이크아웃 보드(에 있는 TE Connectivity MS5803-14BA)
 +
<gallery>
 +
image:pressure10_001.jpg | 구입가 67,200원
 +
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
<li>핸드폰용
 
 
<li>튜브 연결용
 
<li>튜브 연결용
 
<ol>
 
<ol>
<li>Sensormate, S'mate, 33A 시리즈 샘플
+
<li>CFSensor
 
<gallery>
 
<gallery>
image:pressure03_001.jpg
+
image:pressure20_001.jpg | 중국 CFSensor 회사제품을 씨링크테크(C-Linktech)가 공급(?)하는, XGZP-series, XGZP-010GS 0~10kPa
image:pressure03_002.jpg
+
image:pressure20_002.png
 
</gallery>
 
</gallery>
<li>샘플 - 제조회사 알 수 없음
+
<li>KEC - 2011 찍은 사진(?)을 2017/04 받음
 
<gallery>
 
<gallery>
image:pressure04_001.jpg
+
image:pressure02_001.jpg
 +
image:pressure02_002.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
 
<li>NXP
 
<li>NXP
 
<ol>
 
<ol>
<li>MPXV5004DP(40cm)
+
<li>MPX5100AP (Absolute;센서 다이 한쪽이 진공이다.)
 +
<gallery>
 +
image:pressure08_001.jpg | 3개 보유
 +
</gallery>
 +
<li>MPX5100GP (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
 +
<gallery>
 +
image:pressure08_002.jpg | 3개 보유
 +
</gallery>
 +
<li>MPVX5100GC7U (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
 +
<gallery>
 +
image:pressure08_004.jpg | 2개 보유
 +
</gallery>
 +
<li>MPX5100DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.)
 +
<gallery>
 +
image:pressure08_003.jpg | 5개 보유
 +
</gallery>
 +
<li>MPXV5004DP(0~3.92kPa(=40cm 물높이)용)  
 +
<ol>
 +
<li>제품-1
 
<gallery>
 
<gallery>
 
image:pressure05_001.jpg
 
image:pressure05_001.jpg
 
image:pressure05_002.jpg
 
image:pressure05_002.jpg
 
image:pressure05_003.jpg
 
image:pressure05_003.jpg
image:pressure05_004.jpg|실린더가 원뿔이어서 무게로 측정하면 안된다.
+
image:pressure05_004.jpg | 실린더가 원뿔이어서 무게로 측정하면 안된다.
image:pressure05_005.jpg|그래서 자를 부착해서 눈으로 읽음
+
image:pressure05_005.jpg | 그래서 자를 부착해서 눈으로 읽음
 
</gallery>
 
</gallery>
<li>(물 1m),
+
<li>제품-2
 +
<gallery>
 +
image:pressure05_006.jpg
 +
image:pressure05_007.jpg | 리드를 수직으로 펴 소켓에 꼽을 수 있도록하면 교환하면서 실험할 수 있음.
 +
</gallery>
 +
<li> [[MCU개발도구]]에서
 +
<gallery>
 +
image:kitpressure1evb_005.jpg
 +
image:kitpressure1evb_006.jpg
 +
image:kitpressure1evb_007.jpg
 +
image:kitpressure1evb_008.jpg | MPXV5004DP가 꼽혀있다.
 +
</gallery>
 +
<li>tool box 소프트웨어로
 +
<gallery>
 +
image:nxp_toolbox01_001.png
 +
image:nxp_toolbox01_002.png
 +
</gallery>
 +
</ol>
 +
<li>MP3V5010DP(0~10kPa(=100cm 물높이)),  
 
<gallery>
 
<gallery>
 
image:pressure06_001.jpg
 
image:pressure06_001.jpg
 
image:pressure06_002.jpg
 
image:pressure06_002.jpg
 
image:pressure06_003.jpg
 
image:pressure06_003.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>MPXV7002DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.) -2~+2kPa용
 +
<gallery>
 +
image:pressure13_001.jpg | MPXV7002DP
 +
image:pressure13_002.jpg | CJMCU-36, APM2.5 Breakout Board
 +
</gallery>
 +
</ol>
 +
<li>Sensirion
 +
<ol>
 +
<li>SDP1000-L, -20~+500Pa(~5cm water) ~0.1% F.S. 정확도
 +
<gallery>
 +
image:pressure09_001.jpg | 1개 보유, 77,000원
 +
</gallery>
 +
<li>SDP610-500Pa, -500~+500Pa(~5cm water) I2C 출력
 +
<gallery>
 +
image:pressure15_001.jpg | 1개 보유
 +
</gallery>
 +
</ol>
 +
<li>Sensormate, S'mate, 33A 시리즈 샘플
 +
<gallery>
 +
image:pressure03_001.jpg
 +
image:pressure03_002.jpg | +1기압용, -1기압용
 +
image:pressure03_003.jpg | 33A-150G-2210 1기압용 gauge
 +
</gallery>
 +
<li>Simst PSG010S - 5V 구동 0~40kPa digital pressure sensor
 +
<ol>
 +
<li>구입품
 +
<gallery>
 +
image:pressure21_001.jpg | 5개 구입
 +
image:pressure21_002.jpg | HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection
 +
</gallery>
 +
<li>HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection
 +
<ol>
 +
<li> - 8p
 +
<li> - 1p
 +
</ol>
 +
<li>압력센서 마킹
 +
<gallery>
 +
image:pressure21_003.jpg | Simst PSG010S
 +
image:pressure21_004.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>다이본딩 및 와이어본딩
 +
<gallery>
 +
image:pressure21_005.jpg
 +
image:pressure21_006.jpg | 덜 말랑말랑한 접착제
 +
image:pressure21_007.jpg | 접착 강도가 약해 다이를 뜯을 수 있다.
 +
</gallery>
 +
<li>MEMS 다이
 +
<gallery>
 +
image:pressure21_008.jpg
 +
image:pressure21_009.jpg | MMC
 +
image:pressure21_010.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
<li>KEC - 2011 찍은 사진(?)을 2017/04 받음
+
<li>샘플 - 제조회사 알 수 없음
 
<gallery>
 
<gallery>
image:pressure02_001.jpg
+
image:pressure04_001.jpg
image:pressure02_002.jpg
 
 
</gallery>
 
</gallery>
 +
</ol>
 +
<li>세트에서 분리하여 분해
 +
<ol>
 +
<li> 더 다양한 사진은 [[압력계]]에서
 +
<ol>
 
<li>SMC, 진공계 ZSE30A-01-N에서, Fujikura FGM-6로 추정
 
<li>SMC, 진공계 ZSE30A-01-N에서, Fujikura FGM-6로 추정
 
<gallery>
 
<gallery>
image:pressure1_011.jpg
 
image:pressure1_012.jpg
 
image:pressure1_013.jpg
 
 
image:pressure1_014.jpg
 
image:pressure1_014.jpg
 
image:pressure1_015.jpg
 
image:pressure1_015.jpg
image:pressure1_016.jpg
+
image:pressure1_016.jpg | 두꺼운 유리에 구멍을 뚫어, 한쪽은 센서, 한쪽은 튜브를 연결한다.
 
image:pressure1_017.jpg
 
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image:pressure1_018.jpg
 
image:pressure1_018.jpg
 
image:pressure1_019.jpg
 
image:pressure1_019.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
 +
</ol>
 
<li>Hitachi DMS-7A 압력계에서
 
<li>Hitachi DMS-7A 압력계에서
 
<gallery>
 
<gallery>
136번째 줄: 357번째 줄:
 
<li>밝혀지지 않았음.
 
<li>밝혀지지 않았음.
 
<ol>
 
<ol>
<li>Yokogawa 2655 Digital Manometer, 대기압 100kPa이므로 0~200kPa 측정용. (진공에서 +1기압까지)
+
<li>Yokogawa [[2655]] 기압계
<gallery>
 
image:2655_01_027.jpg
 
image:2655_01_013.jpg
 
image:2655_01_014.jpg
 
image:2655_01_015.jpg|온도를 일정하게 할 필요가 있다.
 
image:2655_01_016.jpg
 
image:2655_01_017.jpg
 
image:2655_01_018.jpg
 
image:2655_01_019.jpg|흰색 가루 덩어리 존재
 
</gallery>
 
</ol>
 
<li>수위센서
 
<ol>
 
<li>상식
 
<ol>
 
</ol>
 
<li>압력식 수위센서
 
<ol>
 
<li>기술자료
 
<ol>
 
<li>- 24p
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>
 
<li>센서들 17/04/12일
 
<ol>
 
<li>#9
 
<ol>
 
<li>기술문서
 
<ol>
 
<li>
 
<li>17/08/24
 
<li>17/08/24
 
</ol>
 
<li>사진
 
<ol>
 
<li><gallery>
 
image:eTape01_001.jpg
 
image:eTape01_002.jpg
 
</gallery>
 
<li><gallery>
 
image:eTape01_003.jpg
 
image:eTape01_004.jpg
 
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<li>불에 태우니 안탄다. 불소수지 계열인듯.
 
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2022년 8월 10일 (수) 19:35 기준 최신판

압력센서

  1. 전자부품
    1. 압력
    2. 센서
      1. 압력센서 - 이 페이지
        1. 압력계
          1. 기압계
        2. 핸드폰에서 발견한 대기압 센서
        3. 에어 리크
          1. Fukuta 에어리크 검사기
        4. 공압
        5. TPMS
      2. 힘센서
      3. 높이
        1. 레벨센서
        2. 파고계
        3. 수평계
  2. inductive proximity sensor
    1. 에어리크
    2. 세탁기용 수위센서
  3. 트랜스듀서 - 신호처리 IC가 없다. 그래서 순수한 저항값만 측정할 수 있다.
    1. COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
      1. 규격서 - 3p
      2. 무사시 Sigma-MX8000SM2
        1. 외관
        2. 패키지를 분해
        3. 알루미나 기판
        4. 헤더,캡 용접부위를 잘라서 내부 관찰
        5. 매우 말랑말랑한 실리콘 수지가 도포된 상태에서 위에서 관찰하면
        6. 센서 다이 접착 방법. 덜 말랑말랑한 실리콘 접착제로 다이본딩하였다.
        7. 패턴
        8. 다이본딩
        9. 다이
  4. Si-MEMS 센서
    1. 제조회사별 인터넷 공개 자료
    2. 보유한 제품에 대한 회사별 규격서
      1. Bosch
        1. - 57p 대기압센서 상대정확도 +-8Pa(0.66m), 절대정확도 +-50Pa
        2. - 56p, 습도센서+대기압센서, I2C/SPI, 3.3V, 상대정확도 +-12Pa, 절대정확도 +-100Pa
        3. - 28p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 300~1100hPa(-500~+9000m 고도)
        4. - 27p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 상대정확도 +-20Pa, 절대정확도 +-100Pa
      2. CFSensor
        1. - 8p, 신호처리 회로 없이 단지 4개의 저항체만 있다.
      3. Honeywell
        1. - 7p
        2. - 20p 디지털, 튜브 끼울 수 있도록 포트가 있다.
      4. KEC
        1. 10/11/08 - 18p
      5. NXP
        1. 압력센서
          1. - 12p, 0~10kPa(=100cm 물높이) 아날로그 출력
          2. - 26p, 0~3.92kPa(=40cm 물높이)
          3. - 13p, -2~+2kPa
          4. - 20p, 0~100kPa(진공용), 아날로그 출력
        2. 기압센서
          1. - 8p, 50~115kPa, SPI
          2. - 24p, 50~115kPa, I2C
          3. 고도계;Altimeter - 44p, 30cm 고도 분해능, I2C
      6. ,
          A015i2210 보유(-15psi=1.03기압), - 진공용이므로...
      7. Sensirion
        1. - 9p, differential, -20~500Pa (2inch H2O), 0.25~4.0V output
        2. - 11p, differential, -500~500Pa (2inch H2O), I2C digital
        1. PSG010S - differential, 40kPa
      8. TE Connectivity MS5803-14BA
        1. - 19p, 14 bar(다이빙용), SPI/I2C, 24-bit ADC
    3. 기압측정용
      1. 대기압용
        1. Bosch BMP085
        2. Bosch BMP180
          1. 제품1
          2. 제품2, 3.3V용이므로 5V를 사용할 수 있도록 level shifter를 사용한 보드
        3. Bosch BME280
        4. Freescale, MPL115A1
        5. Freescale, MPL115A2
        6. Freescale, MPL3115A2, 고도계
      2. 수중 다이버용
        1. SparkFun SEN-12909 브레이크아웃 보드(에 있는 TE Connectivity MS5803-14BA)
    4. 튜브 연결용
      1. CFSensor
      2. KEC - 2011 찍은 사진(?)을 2017/04 받음
      3. NXP
        1. MPX5100AP (Absolute;센서 다이 한쪽이 진공이다.)
        2. MPX5100GP (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
        3. MPVX5100GC7U (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
        4. MPX5100DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.)
        5. MPXV5004DP(0~3.92kPa(=40cm 물높이)용)
          1. 제품-1
          2. 제품-2
          3. MCU개발도구에서
          4. tool box 소프트웨어로
        6. MP3V5010DP(0~10kPa(=100cm 물높이)),
        7. MPXV7002DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.) -2~+2kPa용
      4. Sensirion
        1. SDP1000-L, -20~+500Pa(~5cm water) ~0.1% F.S. 정확도
        2. SDP610-500Pa, -500~+500Pa(~5cm water) I2C 출력
      5. Sensormate, S'mate, 33A 시리즈 샘플
      6. Simst PSG010S - 5V 구동 0~40kPa digital pressure sensor
        1. 구입품
        2. HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection
          1. - 8p
          2. - 1p
        3. 압력센서 마킹
        4. 다이본딩 및 와이어본딩
        5. MEMS 다이
      7. 샘플 - 제조회사 알 수 없음
    5. 세트에서 분리하여 분해
      1. 더 다양한 사진은 압력계에서
        1. SMC, 진공계 ZSE30A-01-N에서, Fujikura FGM-6로 추정
      2. Hitachi DMS-7A 압력계에서
  5. 밝혀지지 않았음.
    1. Yokogawa 2655 기압계