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<li> [[세탁기용 수위센서]] | <li> [[세탁기용 수위센서]] | ||
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+ | <li>트랜스듀서 - 신호처리 IC가 없다. 그래서 순수한 저항값만 측정할 수 있다. | ||
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+ | <li>COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance) | ||
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+ | <li>규격서 - 3p | ||
+ | <li> [[무사시 Sigma-MX8000SM2]] | ||
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+ | <li>외관 | ||
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+ | image:mx8000sm2_015.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>패키지를 분해 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:mx8000sm2_015_001.jpg | ||
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+ | </gallery> | ||
+ | <li>알루미나 기판 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:mx8000sm2_015_003.jpg | 센서를 조립한 후, 브리지 저항값을 맞추기 위해 [[레이저 트리밍]]을 했을 것이다. | ||
+ | image:mx8000sm2_015_004.jpg | 센서 뒷면 구멍은 공기가 통해야 한다. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li> [[헤더,캡]] [[용접]]부위를 잘라서 내부 관찰 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:mx8000sm2_015_005.jpg | 말랑말랑한 실리콘 수지가 찢어졌다. | ||
+ | image:mx8000sm2_015_006.jpg | ||
+ | image:mx8000sm2_015_007.jpg | ||
+ | image:mx8000sm2_015_008.jpg | 본딩된 와이어가 떨어지지 않도록 도전성 접착제를 핀 위에 바른 듯 | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>매우 말랑말랑한 실리콘 수지가 도포된 상태에서 위에서 관찰하면 | ||
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+ | image:mx8000sm2_015_009.jpg | ||
+ | image:mx8000sm2_015_010.jpg | ||
+ | image:mx8000sm2_015_011.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>센서 다이 접착 방법. 덜 말랑말랑한 실리콘 접착제로 다이본딩하였다. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:mx8000sm2_015_012.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>패턴 | ||
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+ | image:mx8000sm2_015_013.jpg | ||
+ | image:mx8000sm2_015_014.jpg | COPAL Electronics P007 6.0 | ||
+ | image:mx8000sm2_015_015.jpg | 정렬키 align key | ||
+ | image:mx8000sm2_015_016.jpg | [[TEG]] | ||
+ | image:mx8000sm2_015_017.jpg | 저항선 4개 중 가운데 2개를 찍은 사진 | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>다이본딩 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:mx8000sm2_015_018.jpg | ||
+ | image:mx8000sm2_015_019.jpg | 다이접착제는 쉽게 떨어진다. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>다이 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:mx8000sm2_015_020.jpg | [[초음파 세척기]]에서 깨진다. | ||
+ | image:mx8000sm2_015_021.jpg | 뒷면 관찰 | ||
+ | </gallery> | ||
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</ol> | </ol> | ||
<li>Si-MEMS 센서 | <li>Si-MEMS 센서 | ||
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− | <li>회사별 | + | <li>제조회사별 인터넷 공개 자료 |
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+ | <li>보유한 제품에 대한 회사별 규격서 | ||
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<li>Bosch | <li>Bosch | ||
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<li> - 9p, differential, -20~500Pa (2inch H2O), 0.25~4.0V output | <li> - 9p, differential, -20~500Pa (2inch H2O), 0.25~4.0V output | ||
<li> - 11p, differential, -500~500Pa (2inch H2O), I2C digital | <li> - 11p, differential, -500~500Pa (2inch H2O), I2C digital | ||
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+ | <li> | ||
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+ | <li>PSG010S - differential, 40kPa | ||
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<li>TE Connectivity MS5803-14BA | <li>TE Connectivity MS5803-14BA | ||
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image:pressure20_002.png | image:pressure20_002.png | ||
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− | <li> | + | <li>KEC - 2011 찍은 사진(?)을 2017/04 받음 |
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<li>NXP | <li>NXP | ||
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<li>Sensirion | <li>Sensirion | ||
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+ | <li>Sensormate, S'mate, 33A 시리즈 샘플 | ||
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+ | image:pressure03_001.jpg | ||
+ | image:pressure03_002.jpg | +1기압용, -1기압용 | ||
+ | image:pressure03_003.jpg | 33A-150G-2210 1기압용 gauge | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>Simst PSG010S - 5V 구동 0~40kPa digital pressure sensor | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>구입품 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:pressure21_001.jpg | 5개 구입 | ||
+ | image:pressure21_002.jpg | HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li> - 8p | ||
+ | <li> - 1p | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>압력센서 마킹 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:pressure21_003.jpg | Simst PSG010S | ||
+ | image:pressure21_004.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>다이본딩 및 와이어본딩 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:pressure21_005.jpg | ||
+ | image:pressure21_006.jpg | 덜 말랑말랑한 접착제 | ||
+ | image:pressure21_007.jpg | 접착 강도가 약해 다이를 뜯을 수 있다. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>MEMS 다이 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:pressure21_008.jpg | ||
+ | image:pressure21_009.jpg | MMC | ||
+ | image:pressure21_010.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>샘플 - 제조회사 알 수 없음 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:pressure04_001.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>세트에서 분리하여 분해 | ||
+ | <ol> | ||
<li> 더 다양한 사진은 [[압력계]]에서 | <li> 더 다양한 사진은 [[압력계]]에서 | ||
<ol> | <ol> | ||
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<li>밝혀지지 않았음. | <li>밝혀지지 않았음. | ||
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− | <li>Yokogawa 2655 | + | <li>Yokogawa [[2655]] 기압계 |
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2022년 8월 10일 (수) 19:35 기준 최신판
압력센서
- 전자부품
- inductive proximity sensor
- 트랜스듀서 - 신호처리 IC가 없다. 그래서 순수한 저항값만 측정할 수 있다.
- COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
- 규격서 - 3p
- 무사시 Sigma-MX8000SM2
- COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
- Si-MEMS 센서
- 제조회사별 인터넷 공개 자료
- 보유한 제품에 대한 회사별 규격서
- Bosch
- - 57p 대기압센서 상대정확도 +-8Pa(0.66m), 절대정확도 +-50Pa
- - 56p, 습도센서+대기압센서, I2C/SPI, 3.3V, 상대정확도 +-12Pa, 절대정확도 +-100Pa
- - 28p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 300~1100hPa(-500~+9000m 고도)
- - 27p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 상대정확도 +-20Pa, 절대정확도 +-100Pa
- CFSensor
- - 8p, 신호처리 회로 없이 단지 4개의 저항체만 있다.
- Honeywell
- - 7p
- - 20p 디지털, 튜브 끼울 수 있도록 포트가 있다.
- KEC
- 10/11/08 - 18p
- NXP
- 압력센서
- - 12p, 0~10kPa(=100cm 물높이) 아날로그 출력
- - 26p, 0~3.92kPa(=40cm 물높이)
- - 13p, -2~+2kPa
- - 20p, 0~100kPa(진공용), 아날로그 출력
- 기압센서
- - 8p, 50~115kPa, SPI
- - 24p, 50~115kPa, I2C
- 고도계;Altimeter - 44p, 30cm 고도 분해능, I2C
- 압력센서
- ,
- A015i2210 보유(-15psi=1.03기압), - 진공용이므로...
- Sensirion
- - 9p, differential, -20~500Pa (2inch H2O), 0.25~4.0V output
- - 11p, differential, -500~500Pa (2inch H2O), I2C digital
-
- PSG010S - differential, 40kPa
- TE Connectivity MS5803-14BA
- - 19p, 14 bar(다이빙용), SPI/I2C, 24-bit ADC
- Bosch
- 기압측정용
- 대기압용
- Bosch BMP085
- Bosch BMP180
- 제품1
- 제품2, 3.3V용이므로 5V를 사용할 수 있도록 level shifter를 사용한 보드
- 제품1
- Bosch BME280
- Freescale, MPL115A1
- Freescale, MPL115A2
- Freescale, MPL3115A2, 고도계
- Bosch BMP085
- 수중 다이버용
- SparkFun SEN-12909 브레이크아웃 보드(에 있는 TE Connectivity MS5803-14BA)
- SparkFun SEN-12909 브레이크아웃 보드(에 있는 TE Connectivity MS5803-14BA)
- 대기압용
- 튜브 연결용
- CFSensor
- KEC - 2011 찍은 사진(?)을 2017/04 받음
- NXP
- MPX5100AP (Absolute;센서 다이 한쪽이 진공이다.)
- MPX5100GP (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
- MPVX5100GC7U (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
- MPX5100DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.)
- MPXV5004DP(0~3.92kPa(=40cm 물높이)용)
- 제품-1
- 제품-2
- MCU개발도구에서
- tool box 소프트웨어로
- 제품-1
- MP3V5010DP(0~10kPa(=100cm 물높이)),
- MPXV7002DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.) -2~+2kPa용
- MPX5100AP (Absolute;센서 다이 한쪽이 진공이다.)
- Sensirion
- SDP1000-L, -20~+500Pa(~5cm water) ~0.1% F.S. 정확도
- SDP610-500Pa, -500~+500Pa(~5cm water) I2C 출력
- SDP1000-L, -20~+500Pa(~5cm water) ~0.1% F.S. 정확도
- Sensormate, S'mate, 33A 시리즈 샘플
- Simst PSG010S - 5V 구동 0~40kPa digital pressure sensor
- 구입품
- HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection
- - 8p
- - 1p
- 압력센서 마킹
- 다이본딩 및 와이어본딩
- MEMS 다이
- 구입품
- 샘플 - 제조회사 알 수 없음
- CFSensor
- 세트에서 분리하여 분해
- 더 다양한 사진은 압력계에서
- SMC, 진공계 ZSE30A-01-N에서, Fujikura FGM-6로 추정
- SMC, 진공계 ZSE30A-01-N에서, Fujikura FGM-6로 추정
- Hitachi DMS-7A 압력계에서
- 더 다양한 사진은 압력계에서
- 제조회사별 인터넷 공개 자료
- 밝혀지지 않았음.
- Yokogawa 2655 기압계