2년, 103일, 18시간, 32분 - Togotech

"압력센서"의 두 판 사이의 차이

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<li>트랜스듀서 - 신호처리 IC가 없다. 그래서 순수한 저항값만 측정할 수 있다.
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<li>COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
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<li>규격서 - 3p
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<li>패키지를 분해
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<li>알루미나 기판
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image:mx8000sm2_015_003.jpg | 센서를 조립한 후, 브리지 저항값을 맞추기 위해 [[레이저 트리밍]]을 했을 것이다.
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image:mx8000sm2_015_004.jpg | 센서 뒷면 구멍은 공기가 통해야 한다.
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<li> [[헤더,캡]] [[용접]]부위를 잘라서 내부 관찰
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image:mx8000sm2_015_005.jpg | 말랑말랑한 실리콘 수지가 찢어졌다.
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image:mx8000sm2_015_008.jpg | 본딩된 와이어가 떨어지지 않도록 도전성 접착제를 핀 위에 바른 듯
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<li>매우 말랑말랑한 실리콘 수지가 도포된 상태에서 위에서 관찰하면
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<li>센서 다이 접착 방법. 덜 말랑말랑한 실리콘 접착제로 다이본딩하였다.
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<li>패턴
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image:mx8000sm2_015_014.jpg | COPAL Electronics P007 6.0
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image:mx8000sm2_015_015.jpg | 정렬키 align key
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image:mx8000sm2_015_016.jpg | [[TEG]]
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image:mx8000sm2_015_017.jpg | 저항선 4개 중 가운데 2개를 찍은 사진
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<li>다이본딩
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image:mx8000sm2_015_018.jpg
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image:mx8000sm2_015_019.jpg | 다이접착제는 쉽게 떨어진다.
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<li>다이
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image:mx8000sm2_015_020.jpg | [[초음파 세척기]]에서 깨진다.
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image:mx8000sm2_015_021.jpg | 뒷면 관찰
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<li>Si-MEMS 센서
 
<li>Si-MEMS 센서
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<li>밝혀지지 않았음.
 
<li>밝혀지지 않았음.
 
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<li>Yokogawa 2655 Digital Manometer, 대기압 100kPa이므로 0~200kPa 측정용. (진공에서 +1기압까지)
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<li>Yokogawa [[2655]] 기압계
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image:2655_01_015.jpg | 온도를 일정하게 할 필요가 있다.
 
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2022년 8월 10일 (수) 19:35 기준 최신판

압력센서

  1. 전자부품
    1. 압력
    2. 센서
      1. 압력센서 - 이 페이지
        1. 압력계
          1. 기압계
        2. 핸드폰에서 발견한 대기압 센서
        3. 에어 리크
          1. Fukuta 에어리크 검사기
        4. 공압
        5. TPMS
      2. 힘센서
      3. 높이
        1. 레벨센서
        2. 파고계
        3. 수평계
  2. inductive proximity sensor
    1. 에어리크
    2. 세탁기용 수위센서
  3. 트랜스듀서 - 신호처리 IC가 없다. 그래서 순수한 저항값만 측정할 수 있다.
    1. COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
      1. 규격서 - 3p
      2. 무사시 Sigma-MX8000SM2
        1. 외관
          • mx8000sm2 008.jpg
          • mx8000sm2 015.jpg
        2. 패키지를 분해
          • mx8000sm2 015 001.jpg
          • mx8000sm2 015 002.jpg
        3. 알루미나 기판

          • 센서를 조립한 후, 브리지 저항값을 맞추기 위해 레이저 트리밍을 했을 것이다.

          • 센서 뒷면 구멍은 공기가 통해야 한다.

        4. 헤더,캡 용접부위를 잘라서 내부 관찰

          • 말랑말랑한 실리콘 수지가 찢어졌다.

          • mx8000sm2 015 006.jpg
          • mx8000sm2 015 007.jpg

          • 본딩된 와이어가 떨어지지 않도록 도전성 접착제를 핀 위에 바른 듯

        5. 매우 말랑말랑한 실리콘 수지가 도포된 상태에서 위에서 관찰하면
          • mx8000sm2 015 009.jpg
          • mx8000sm2 015 010.jpg
          • mx8000sm2 015 011.jpg
        6. 센서 다이 접착 방법. 덜 말랑말랑한 실리콘 접착제로 다이본딩하였다.
          • mx8000sm2 015 012.jpg
        7. 패턴
          • mx8000sm2 015 013.jpg

          • COPAL Electronics P007 6.0

          • 정렬키 align key

          • TEG

          • 저항선 4개 중 가운데 2개를 찍은 사진

        8. 다이본딩
          • mx8000sm2 015 018.jpg

          • 다이접착제는 쉽게 떨어진다.

        9. 다이
  4. Si-MEMS 센서
    1. 제조회사별 인터넷 공개 자료
    2. 보유한 제품에 대한 회사별 규격서
      1. Bosch
        1. - 57p 대기압센서 상대정확도 +-8Pa(0.66m), 절대정확도 +-50Pa
        2. - 56p, 습도센서+대기압센서, I2C/SPI, 3.3V, 상대정확도 +-12Pa, 절대정확도 +-100Pa
        3. - 28p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 300~1100hPa(-500~+9000m 고도)
        4. - 27p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 상대정확도 +-20Pa, 절대정확도 +-100Pa
      2. CFSensor
        1. - 8p, 신호처리 회로 없이 단지 4개의 저항체만 있다.
      3. Honeywell
        1. - 7p
        2. - 20p 디지털, 튜브 끼울 수 있도록 포트가 있다.
          • pressure07 001.jpg
      4. KEC
        1. 10/11/08 - 18p
      5. NXP
        1. 압력센서
          1. - 12p, 0~10kPa(=100cm 물높이) 아날로그 출력
          2. - 26p, 0~3.92kPa(=40cm 물높이)
          3. - 13p, -2~+2kPa
          4. - 20p, 0~100kPa(진공용), 아날로그 출력
        2. 기압센서
          1. - 8p, 50~115kPa, SPI
          2. - 24p, 50~115kPa, I2C
          3. 고도계;Altimeter - 44p, 30cm 고도 분해능, I2C
      6. ,
          A015i2210 보유(-15psi=1.03기압), - 진공용이므로...
      7. Sensirion
        1. - 9p, differential, -20~500Pa (2inch H2O), 0.25~4.0V output
        2. - 11p, differential, -500~500Pa (2inch H2O), I2C digital
        1. PSG010S - differential, 40kPa
      9. TE Connectivity MS5803-14BA
        1. - 19p, 14 bar(다이빙용), SPI/I2C, 24-bit ADC
    3. 기압측정용
      1. 대기압용
        1. Bosch BMP085
          • pressure11 001.jpg
        2. Bosch BMP180
          1. 제품1
            • pressure18 001.jpg
            • pressure18 002.jpg
          2. 제품2, 3.3V용이므로 5V를 사용할 수 있도록 level shifter를 사용한 보드
            • pressure18 003.jpg
            • pressure18 004.jpg
        3. Bosch BME280
          • pressure12 001.jpg

          • 압력/온도 센서

          • 압력/온도+습도 센서

        4. Freescale, MPL115A1

          • SEN-09721 SparkFun Barometric Pressure Sensor Breakout

          • M1PR, Freescale MPL115A1 Barometer, SPI digital, 50~115kPa

        5. Freescale, MPL115A2

          • adafruit 992, I2C

          • pressure19 002.jpg
        6. Freescale, MPL3115A2, 고도계

          • SEN-11084 SparkFun Barometric Pressure Sensor Breakout

          • M3PR, Freescale MPL3115A2 Altimeter, I2C digital, 24-bit ADC, 분해능 높이 30cm

      2. 수중 다이버용
        1. SparkFun SEN-12909 브레이크아웃 보드(에 있는 TE Connectivity MS5803-14BA)

          • 구입가 67,200원

    4. 튜브 연결용
      1. CFSensor

        • 중국 CFSensor 회사제품을 씨링크테크(C-Linktech)가 공급(?)하는, XGZP-series, XGZP-010GS 0~10kPa

        • pressure20 002.png
      2. KEC - 2011 찍은 사진(?)을 2017/04 받음
        • pressure02 001.jpg
        • pressure02 002.jpg
      3. NXP
        1. MPX5100AP (Absolute;센서 다이 한쪽이 진공이다.)

          • 3개 보유

        2. MPX5100GP (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)

          • 3개 보유

        3. MPVX5100GC7U (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)

          • 2개 보유

        4. MPX5100DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.)

          • 5개 보유

        5. MPXV5004DP(0~3.92kPa(=40cm 물높이)용)
          1. 제품-1
            • pressure05 001.jpg
            • pressure05 002.jpg
            • pressure05 003.jpg

            • 실린더가 원뿔이어서 무게로 측정하면 안된다.

            • 그래서 자를 부착해서 눈으로 읽음

          2. 제품-2
            • pressure05 006.jpg

            • 리드를 수직으로 펴 소켓에 꼽을 수 있도록하면 교환하면서 실험할 수 있음.

          3. MCU개발도구에서
            • kitpressure1evb 005.jpg
            • kitpressure1evb 006.jpg
            • kitpressure1evb 007.jpg

            • MPXV5004DP가 꼽혀있다.

          4. tool box 소프트웨어로
            • nxp toolbox01 001.png
            • nxp toolbox01 002.png
        6. MP3V5010DP(0~10kPa(=100cm 물높이)),
          • pressure06 001.jpg
          • pressure06 002.jpg
          • pressure06 003.jpg
        7. MPXV7002DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.) -2~+2kPa용

          • MPXV7002DP

          • CJMCU-36, APM2.5 Breakout Board

      4. Sensirion
        1. SDP1000-L, -20~+500Pa(~5cm water) ~0.1% F.S. 정확도

          • 1개 보유, 77,000원

        2. SDP610-500Pa, -500~+500Pa(~5cm water) I2C 출력

          • 1개 보유

      5. Sensormate, S'mate, 33A 시리즈 샘플
        • pressure03 001.jpg

        • +1기압용, -1기압용

        • 33A-150G-2210 1기압용 gauge

      6. Simst PSG010S - 5V 구동 0~40kPa digital pressure sensor
        1. 구입품

          • 5개 구입

          • HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection

        2. HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection
          1. - 8p
          2. - 1p
        3. 압력센서 마킹

          • Simst PSG010S

          • pressure21 004.jpg
        4. 다이본딩 및 와이어본딩
          • pressure21 005.jpg

          • 덜 말랑말랑한 접착제

          • 접착 강도가 약해 다이를 뜯을 수 있다.

        5. MEMS 다이
          • pressure21 008.jpg

          • MMC

          • pressure21 010.jpg
      7. 샘플 - 제조회사 알 수 없음
        • pressure04 001.jpg
    5. 세트에서 분리하여 분해
      1. 더 다양한 사진은 압력계에서
        1. SMC, 진공계 ZSE30A-01-N에서, Fujikura FGM-6로 추정
          • pressure1 014.jpg
          • pressure1 015.jpg

          • 두꺼운 유리에 구멍을 뚫어, 한쪽은 센서, 한쪽은 튜브를 연결한다.

          • pressure1 017.jpg
          • pressure1 018.jpg
          • pressure1 019.jpg
      2. Hitachi DMS-7A 압력계에서
        • dms7a200k 017.jpg
        • dms7a200k 018.jpg
        • dms7a200k 019.jpg
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        • dms7a200k 021.jpg
        • dms7a200k 022.jpg
  5. 밝혀지지 않았음.
    1. Yokogawa 2655 기압계
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