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"실리콘 다이오드 웨이퍼"의 두 판 사이의 차이

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<li>5081개 다이, 전압 7가지, 총 30,486회 측정 엑셀 파일
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<li>5081개 다이 모두 측정된다. 명확하게 산포를 벗어난 다이 22개와 표준 샘플(무작위) 10개와 V-i 특성 그래프 비교
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<li>전압 6가지에 대한 전류 분포(전압 2V에서는 계측기 최대전류 2A를 초과하여 의미없는 결과가 나와 정리하지 않음)
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<li>매우 낮은 전류(0.01V에서 흐르는 약 ~0.1uA 전류)
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<li>0.1V 및 0.25V에서 흐르는 전류 분포는 이 웨이퍼 공정 특성을 보여준다.
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<li>1.5V 전압에서 흐르는 높은 전류 1.5A는 측정 조건에 의존한다.(접촉저항?)
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<li>위 측정에서 2A 초과하는 전류 때문에 다이가 뜨거워져 측정 시간이 지날수록 오류가 발생될 것으로 추정하여
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<li>한 다이를 100번 측정했을 때, '2V까지' vs '1.25V'까지에 따른  v-i 특성
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image:125wafer01_017_001.png | 1.5V 2V까지 인가했을 때는 시간이 지날수록 전류가 많이 흐른다.
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<li>의견
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<li>전류가 많이 흘러 다이가 뜨거워진다.
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<li>뜨거워지면 전류가 많이 흐른다.
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<li>5081개 다이, 프루빙 이동 순서를 반대로, 전압 7가지(0.04, 0.07, 0.1, 0.2, 0.4, 0.6, 0.7), 총 30,486회 측정 엑셀 파일
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<li>맵 그래프. 전압 0.07V 이하에서는 -전류가 측정된다. (개선이 필요하다. 넓은 웨이퍼를 측정할 때 이런 현상이 일어나는가?)
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<li>의견
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<li>0.6V 이상에서 흐르는 전류 때문에 웨이퍼가 뜨거워진다.
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<li>열이 웨이퍼 중앙에 갖혀, 웨이퍼 중앙부위가 가장 뜨거워져 전류가 많이 흐른다.
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2024년 7월 10일 (수) 09:30 기준 최신판

실리콘 다이오드 웨이퍼

  1. 전자부품
    1. 다이오드
      1. 웨이퍼
        1. 실리콘 다이오드 웨이퍼 - 이 페이지
    2. 참고
      1. 프루버
    3. 참고
      1. 다이오드 V-I 커브
      2. 다이오드 V-C 커브
  2. AliExpress The Spare Part Depot Store, 실리콘 다이오드
    1. 2024/03/29 단가 28,742원 총 34,851원에 발주, 2024/04/12 도착

      • 포장 방법

      • 125wafer01 002.jpg
      • 125wafer01 003.jpg
    2. 125mm(5인치) 웨이퍼
      1. (추정) 직경 125.0+-0.5mm, flat 42.5+-2.5mm, 두께 0.5mm
    3. 외관
      1. 외관 및 라벨, CB = Common Base(?), ICBO = Collector Current, Base Open(?)
        • 125wafer01 004.jpg
        • 125wafer01 004 001.jpg
        • 125wafer01 005.jpg
      2. 공정 표시 다이

        • 웨이퍼에서 오른쪽

        • 웨이퍼에서 왼쪽

        • 공정진행 표시. 7레이어인듯

      3. 다이오드 다이, 2.1x1.05mm
    4. 프루빙
      1. 이동 좌표 생성
        1. 프로그램이 표준으로 생성시킨 다이 좌표

          • 웨이퍼 중심이 0,0일 때, 5360 다이/웨이퍼

        2. 이후 정확히 다이 위치 계산

          • 가장자리 다이 위치 파악

          • 웨이퍼를 보고, 유효다이 5085 다이만 카운팅하여, 0,0을 쉽게 찾기 위해서는 맨 아래, 좌측을 0,0으로 직교이동시킨다.

        3. 이후 좌우 TEG 패턴, 4개 다이를 제거하였다. 그러므로 총 5081개다이/웨이퍼로 수량을 결정함.
      2. 프루빙 동영상
      3. Vf 측정
        1. 3457A DMM에서, 저항 측정 범위 4가지에 따른 저항값 프루빙 데이터
          1. 저항 측정시 출력되는 전류
            • 3457a 00 001.png
          2. 저항값을 Vf로 변환

            • 1uA에서 Vf

            • 10uA에서 Vf

            • 100uA에서 Vf

            • 1mA에서 Vf

      4. C 측정
        1. LCR-4284A LCR미터에서, -1V -10V DC bias에서 C값 프루빙 데이터
          1. 역방향 DC바이어스에 따른 depletion region의 capacitance를 측정했다.
          2. 척을 LCR 미터 측정포트 low로 연결하고 측정
          3. DC bias -1V, -10V에서 Cp 1MHz 1Vosc로 측정

            • -1Vdc bias, 평균 ~185pF 나온다.

            • -10Vdc bias, 평균 ~65pF 나온다.

      5. Z 측정-1
        1. 잉크 제거 전 - LCR-4284A LCR미터에서, -10, -1, 0, 0.25, 0.5, 1V 등 6가지 DC bias에서 Z-deg 값 프루빙 데이터

          • DC bias = -10V

          • DC bias = -1V

          • DC bias = 0V

          • DC bias = +0.25V

          • DC bias = +0.5V

          • DC bias = +1V

        2. 잉크제거 후 -

          • DC bias = -10V

          • DC bias = -1V

          • DC bias = 0V

          • DC bias = +0.25V

          • DC bias = +0.5V

          • DC bias = +1V

      6. 모든 다이를 정확히 측정하기 위해서, 도팅된 잉크 제거
        1. 발연질산을 발라
        2. 비누 세척후

          • 천장에 흰반사판

          • 천장에 검정반사판

        3. 불량 다이에 발라진 잉크 제거 전후

          • 잉크 제거 전

          • 잉크 제거 후. 가장자리에 발라진 폴리이미드가 제거되었다.

        4. 웨이퍼 중심에 있는, 불량으로 측정된 두 개 다이의 표면 전극을 제거해보니
          • 125wafer01 014 006.jpg
      7. V-i 측정
        1. 5081개 다이, 전압 7가지, 총 30,486회 측정 엑셀 파일
          1. 5081개 다이 모두 측정된다. 명확하게 산포를 벗어난 다이 22개와 표준 샘플(무작위) 10개와 V-i 특성 그래프 비교
            • 125wafer01 016 000.png
          2. 전압 6가지에 대한 전류 분포(전압 2V에서는 계측기 최대전류 2A를 초과하여 의미없는 결과가 나와 정리하지 않음)

            • 0.01V

            • 0.1V

            • 0.25V

            • 0.5V

            • 1V

            • 1.5V

          3. 의견
            1. 매우 낮은 전류(0.01V에서 흐르는 약 ~0.1uA 전류)
            2. 0.1V 및 0.25V에서 흐르는 전류 분포는 이 웨이퍼 공정 특성을 보여준다.
            3. 1.5V 전압에서 흐르는 높은 전류 1.5A는 측정 조건에 의존한다.(접촉저항?)
        2. 위 측정에서 2A 초과하는 전류 때문에 다이가 뜨거워져 측정 시간이 지날수록 오류가 발생될 것으로 추정하여
          1. 한 다이를 100번 측정했을 때, '2V까지' vs '1.25V'까지에 따른 v-i 특성

            • 1.5V 2V까지 인가했을 때는 시간이 지날수록 전류가 많이 흐른다.

            • 1.0V 1.25V까지 인가했을 때는 전류가 일정하다.(그러나 약간 상승한다.)

          2. 의견
            1. 전류가 많이 흘러 다이가 뜨거워진다.
            2. 뜨거워지면 전류가 많이 흐른다.
        3. 5081개 다이, 프루빙 이동 순서를 반대로, 전압 7가지(0.04, 0.07, 0.1, 0.2, 0.4, 0.6, 0.7), 총 30,486회 측정 엑셀 파일
          1. 맵 그래프. 전압 0.07V 이하에서는 -전류가 측정된다. (개선이 필요하다. 넓은 웨이퍼를 측정할 때 이런 현상이 일어나는가?)

            • 0.1V

            • 0.2V

            • 0.4V

            • 0.6V

            • 0.7V

          2. 의견
            1. 0.6V 이상에서 흐르는 전류 때문에 웨이퍼가 뜨거워진다.
            2. 열이 웨이퍼 중앙에 갖혀, 웨이퍼 중앙부위가 가장 뜨거워져 전류가 많이 흐른다.
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