"400MHz RF SAW 필터"의 두 판 사이의 차이

잔글
잔글
 
(같은 사용자의 중간 판 4개는 보이지 않습니다)
13번째 줄: 13번째 줄:
 
<li>기본
 
<li>기본
 
<ol>
 
<ol>
<li>웨이퍼: 36YX LT
+
<li>웨이퍼: 36YX LT(White LT로 추정, 현재의 Pyrofree LT에 비해 약 1만배 비저항이 높을 것으로 추정)
 
<li>다이크기: 2.0x1.5mm
 
<li>다이크기: 2.0x1.5mm
<li>L: 285um, 1/2λ=4.857, t=0.2um, N=51
+
<li>L: 285um, λ=9.714um 1/2λ=4.857, t=0.2um, N=51, DF=0.5라면 전극폭=2.4um
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>관련 자료 출처
 
<li>관련 자료 출처
37번째 줄: 37번째 줄:
 
<li>다이 패턴
 
<li>다이 패턴
 
<gallery>
 
<gallery>
image:s422pa01_004.jpg | 2000x1333 해상도
+
image:s422pa01_004.jpg | 다이싱선(접지선)과 만나는 전극이 없다.
 
image:s422pa01_005.jpg | 2742x1828 해상도
 
image:s422pa01_005.jpg | 2742x1828 해상도
 
image:s422pa01_006.jpg | IDT
 
image:s422pa01_006.jpg | IDT
46번째 줄: 46번째 줄:
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
 +
<li> [[SAW 패턴이 더러우면]]
 
<li>절연저항(IR;Insulation resistance)
 
<li>절연저항(IR;Insulation resistance)
 
<ol>
 
<ol>
 
<li>참고: 이론값은 [[IDT 저항]]에서 설명한다.
 
<li>참고: 이론값은 [[IDT 저항]]에서 설명한다.
 
<li> (High Resistance Meter) [[고저항측정기]]로 측정한다.
 
<li> (High Resistance Meter) [[고저항측정기]]로 측정한다.
 +
<li>측정 엑셀파일
 +
<ol>
 +
<li>인가전압에 따른 전류 및 저항 그래프
 +
<gallery>
 +
image:s422pa02_001_001.png | 3~4V에서 다이폴이 도는 듯
 +
image:s422pa02_001_002.png | 절연파괴는 200V 이상에서
 +
</gallery>
 +
<li>의견, 도메인 스위칭을 하려면 LT인 경우 20kV/mm(=20MV/m) 이상 전압이 필요하다.
 +
<ol>
 +
<li>다이폴이 도는 전계는 4V/2.4um = 170kV/m
 +
<li>절연파괴 전계는 250V/2.4um = 100MV/m
 +
</ol>
 +
<li>절연파괴 후 사진
 +
<gallery>
 +
image:s422pa02_002_001.jpg
 +
image:s422pa02_002_002.jpg | 전압을 먼저 인가했던, 포트-1
 +
image:s422pa02_002_003.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>먼저 측정한 포트-1이 절연파괴가 되어, 이물질 파편들이 뿌려져 port-2 측정에 영향을 주었을 수 있다.
 +
<li>샘플 #2 - 재현
 +
<ol>
 +
<li>그래프
 +
<gallery>
 +
image:s422pa02_003_001.png
 +
image:s422pa02_003_002.png
 +
</gallery>
 +
<li>먼저 실험한 포트에 의해 나중에 실험하는 포트가 영향을 크게 받지 않는다.
 +
</ol>
 +
<li>샘플 #3 - 측정시간을 32배 더 길게 소요(계측기에서 평균을 32회 실시)
 +
<ol>
 +
<li>그래프
 +
<gallery>
 +
image:s422pa02_003_003.png
 +
image:s422pa02_003_004.png
 +
</gallery>
 +
<li>측정시간이 1분 이내이든, 25분 소요되든 큰 차이가 없다.
 +
</ol>
 +
<li>샘플 #4 - 역전압
 +
<ol>
 +
<li>그래프
 +
<gallery>
 +
image:s422pa02_003_005.png
 +
image:s422pa02_003_006.png
 +
</gallery>
 +
<li>패키지와 신호선 포트간 전압이 반대이니, 다른 특성을 보인다.
 +
</ol>
 +
<li>샘플 #5 - 순전압,역전압 (전압 방향에 따른 재현성 시험)
 +
<ol>
 +
<li>그래프
 +
<gallery>
 +
image:s422pa02_003_007.png
 +
image:s422pa02_003_008.png
 +
</gallery>
 +
<li>인가 전압 방향에 따라 확실히 다른 경향을 보인다.
 +
</ol>
 +
</ol>
 +
<li>100V를 12시간 이상 인가하면, 측정 엑셀파일
 +
<ol>
 +
<li>주파수특성 - 인가전후로 차이점이 없다.(없는 것 같다.)
 +
<li>시험 후 패턴
 +
<gallery>
 +
image:s422pa03_002_001.jpg
 +
image:s422pa03_002_002.jpg
 +
image:s422pa03_002_003.jpg
 +
image:s422pa03_002_004.jpg
 +
image:s422pa03_002_005.jpg | 위쪽전극이 +100V이다. 가늘게 보인다.
 +
image:s422pa03_002_006.jpg | 이 사진으로 측정한 주기λ는 9.72um(이론 9.714um)이다.
 +
</gallery>
 +
</ol>
 +
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>내전압(DC permissive voltage)
 
<li>내전압(DC permissive voltage)
87번째 줄: 158번째 줄:
 
<ol>
 
<ol>
 
<li> [[SAW측정치구]]에 제품을 꼽고 [[네트워크분석기]]를 사용한다.
 
<li> [[SAW측정치구]]에 제품을 꼽고 [[네트워크분석기]]를 사용한다.
</ol>
 
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>

2022년 5월 20일 (금) 18:12 기준 최신판

400MHz RF SAW 필터

  1. 전자부품
    1. SAW대문
      1. RF 필터
        1. 400MHz RF SAW 필터 - 이 페이지
  2. 기본
    1. 웨이퍼: 36YX LT(White LT로 추정, 현재의 Pyrofree LT에 비해 약 1만배 비저항이 높을 것으로 추정)
    2. 다이크기: 2.0x1.5mm
    3. L: 285um, λ=9.714um 1/2λ=4.857, t=0.2um, N=51, DF=0.5라면 전극폭=2.4um
  3. 관련 자료 출처
  4. S422PA
    1. 기본 패턴 형태
      1. 외관
      2. 다이본딩 와이어본딩
      3. 다이 패턴
      4. TEG중에서 해상도 챠트
    2. SAW 패턴이 더러우면
    3. 절연저항(IR;Insulation resistance)
      1. 참고: 이론값은 IDT 저항에서 설명한다.
      2. (High Resistance Meter) 고저항측정기로 측정한다.
      3. 측정 엑셀파일
        1. 인가전압에 따른 전류 및 저항 그래프
        2. 의견, 도메인 스위칭을 하려면 LT인 경우 20kV/mm(=20MV/m) 이상 전압이 필요하다.
          1. 다이폴이 도는 전계는 4V/2.4um = 170kV/m
          2. 절연파괴 전계는 250V/2.4um = 100MV/m
        3. 절연파괴 후 사진
        4. 먼저 측정한 포트-1이 절연파괴가 되어, 이물질 파편들이 뿌려져 port-2 측정에 영향을 주었을 수 있다.
        5. 샘플 #2 - 재현
          1. 그래프
          2. 먼저 실험한 포트에 의해 나중에 실험하는 포트가 영향을 크게 받지 않는다.
        6. 샘플 #3 - 측정시간을 32배 더 길게 소요(계측기에서 평균을 32회 실시)
          1. 그래프
          2. 측정시간이 1분 이내이든, 25분 소요되든 큰 차이가 없다.
        7. 샘플 #4 - 역전압
          1. 그래프
          2. 패키지와 신호선 포트간 전압이 반대이니, 다른 특성을 보인다.
        8. 샘플 #5 - 순전압,역전압 (전압 방향에 따른 재현성 시험)
          1. 그래프
          2. 인가 전압 방향에 따라 확실히 다른 경향을 보인다.
      4. 100V를 12시간 이상 인가하면, 측정 엑셀파일
        1. 주파수특성 - 인가전후로 차이점이 없다.(없는 것 같다.)
        2. 시험 후 패턴
  5. 내전압(DC permissive voltage)
    1. 조사한다.
  6. 최대전력
    1. 방법
      1. 신호발생기 또는 네트워크분석기로 주파수를 발생시키고
      2. RF 전력 앰프로 전력을 증폭하고
      3. 아래 3가지 중 하나로 검출한다.
        1. RF파워미터
        2. 네트워크분석기
        3. RF 전력 검출기
  7. 정전용량
    1. 참고: 이론값은 IDT C에서 설명한다.
    2. 정전용량과 중심주파수 상관관계 분석
  8. 온도계수
    1. 참조: Xtal 온도특성
    2. 네트워크분석기Espec SU-222을 사용한다.
  9. 정전기 파괴
    1. 참고: 이론은 SAW필터에서 초전성에서 설명한다.
    2. 실험 방법
  10. 매칭하는 법
    1. SAW측정치구에 제품을 꼽고 네트워크분석기를 사용한다.