SAW 웨이퍼

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         1. SAW 웨이퍼 - 이 페이지
   2. 참고
      1. 웨이퍼
2. LiNbO3, LiTaO3 웨이퍼
   1. 웨이퍼 각도
      • 
   2. pyroelectrivity 조사
      • 
3. 자료
4. 접합 웨이퍼
   1. Lithium Tantalate on Insulator(LTOI)
   2. Piezoelectric-on-Insulator(POI) wafer: soitec
      1. Smart Cut 기술, 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Smart_cut
5. 깨짐
   1. 1. LT/LN 단결정의 fracture toughness 는 (다른 단결정에 비해) 비교적 낮다. ~1MPam^1/2
         1. 그러므로 웨이퍼 가공(컷팅,그라인딩,폴리싱)때 주의해야 할 뿐더러,
         2. 조립공정에서 다이가 접촉하는 부분에서 발생되는 sub-surface crack이 쉽게 발생된다.
            1. 특히 쏘필터 조립시, pick and place 공정에서 뽀족한 바늘에 의해 단결정 재료의 좁은 영역에 힘이 집중될 때를 고려해야 한다.
            2. 이런 접촉을 Hertzian contact 이라고 한다. (1881년 Hertz 연구에 의해 시작됨)
            3. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Contact_mechanics
      2. 3가지 방향을 고려한다. cleavage planes, twinning planes or slip planes
      3. biaxial strength는 LN ~700MPa, LT ~1800MPa이다. LT가 훨씬 강하다.
      4. LT LN의 단결정 구조
         1. trigonal crystal, 3 m point group, R3c space group(no.161)에 속한다.
         2. hexagonal axes(a=b≠c and α=β=90°,γ=120°)
         3. C축으로 가장 강력한 결합력을 갖는다. (가장 높은 Young's modulus. 가장 낮은 열팽창율. 그래서 빠른 파동속도, 큰 전기기계결합계수,낮은 tcf)
6. 단결정 모형
   1. 42도Y-X LT란?
      1. 단결정 X축을 회전축으로, Y축을 반시계방향으로 42도 회전시킨다.
      2. 회전된 결정 Y축에 수직으로 자른다.
      3. 그려면, 웨이퍼를 직교좌표 XY평면에 놓아보면(즉, -Z축으로 보면)
         1. 웨이퍼 플랫존은 Y축과 평행하게 있고,
         2. 웨이퍼 결정의 +Z축은 전체 시스템의 +Z축(솟아있는)이 내 눈에서 멀어지는 쪽으로 48도 기울어져 있다.
   2. 장난감에서
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        일진다이아몬드에서 2003년도(추정)에 만든 모형