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<li>KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영 | <li>KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영 | ||
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image:pin02_005.jpg | 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨. | image:pin02_005.jpg | 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨. | ||
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image:pin04_012.jpg | 외경이 0.38mm 핀이 필요하다. | image:pin04_012.jpg | 외경이 0.38mm 핀이 필요하다. | ||
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| + | image:pin06_004.jpg | GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20m오옴으로 차이는 거의 없음. | ||
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2020년 2월 8일 (토) 19:43 판
4포인트프루브, 4 point probe(4PP)
- 링크
- 헤드 어셈블리
- KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
- Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
- 헤드 외관
피치 1.575mm
팁 반지름이 커질수록 간격이 가까워져 측정값이 계속 작아지는 큰 문제.
핀 하나가 마모됨. 뒤로 후퇴하지 않아
TC재질이 마모될 정도면 무척 많이, 오랫동안 사용한 듯
- 헤드 분해
- 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
- 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
- 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
핀 압력 조절
- TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
- 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
- Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
- KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
- 수작업 측정 치구
- 15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
- 15/08/31
- 측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
- 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
- 15/11/07 측정 치구 설명
상하로 연결된 저저항을 9군데를 측정하기 위한 치구.
- 100x100mm 크기의 기판에서.
스위칭 장치와 연결을 위한 커넥터
이런 스위칭 장치가 사용되었다.
- 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.
누르면 핀이 돌출
핀이 속으로 들어감
- 위쪽
바늘 2개씩
- 케이블링
위/아래면에 각각 바늘 9쌍, 18선
아래면 18선 케이블링
- 15/11/07 측정 치구 설명
- 18/08/06 500도씨 치구 관련
- 18/08/27
- 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
- 18/09/17 - 니켈100% 전선
- 18/09/17 - 측정 시료
- 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
- 18/09/28 - 500도 열처리하니
스프링탄성을 완전히 잃어버린다.
- 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
- 18/08/27
- 15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
- 바늘
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
- 프루브 #1
- 15/01/06
Tip R=300um
직경 400um
초경재질이다
- 15/01/11 MT에서 만든 핀
도면
더 정확한 가공(특히 팁 반지름)이 필요
더 매끈한 재질의 TC가 필요
팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨.
- 19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
팁 R이 확실한 원형
- 15/01/06
- 프루브 #2 - 2019/06/28
- 분해 방법, 순서
인두기로 플라스틱 핀에 구멍을 판 후
반대탭을 돌려 핀에 끼운 후
뽑는다
90도 돌리면 고정 스크류가 있다.
마개를 힘들게 뽑아야한다
4개 소형 스크류 풀고
2개의 스크류 풀면
스프링 4개를 볼 수 있다.
- 프루브 팁
1mm 정도 튀어 나와야 한다.
자세히 보면 부러져 있다.
꺼내 보면 확실히 부러져 있다.
- #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.
외경이 0.38mm 핀이 필요하다.
- 19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
팁 R이 원형가공되어 있지 않다.
GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20m오옴으로 차이는 거의 없음.
- 분해 방법, 순서
- 프루브 #1
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
- 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
- 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
