400MHz RF SAW 필터

400MHz RF SAW 필터

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2. 기본
   1. 웨이퍼: 36YX LT(White LT로 추정, 현재의 Pyrofree LT에 비해 약 1만배 비저항이 높을 것으로 추정)
   2. 다이크기: 2.0x1.5mm
   3. L: 285um, 1/2λ=4.857, t=0.2um, N=51, DF=0.5라면 전극폭=2.4um
3. 관련 자료 출처
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4. S422PA
   1. 기본 패턴 형태
      1. 외관
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           7:1997년 N:11월 제작

      2. 다이본딩 와이어본딩
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           UV 접착제

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           알루미늄 웨지 본딩

      3. 다이 패턴
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           다이싱선(접지선)과 만나는 전극이 없다.

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           2742x1828 해상도

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           IDT

      4. TEG중에서 해상도 챠트
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           해상도챠트

   2. 절연저항(IR;Insulation resistance)
      1. 참고: 이론값은 IDT 저항에서 설명한다.
      2. (High Resistance Meter) 고저항측정기로 측정한다.
      3. 측정 엑셀파일
         1. 인가전압에 따른 전류 및 저항 그래프
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              3~4V에서 다이폴이 도는 듯

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              절연파괴는 200V 이상에서

         2. 의견, 도메인 스위칭을 하려면 LT인 경우 20kV/mm(=20MV/m) 이상 전압이 필요하다.
            1. 다이폴이 도는 전계는 4V/2.4um = 170kV/m
            2. 절연파괴 전계는 250V/2.4um = 100MV/m
         3. 절연파괴 후 사진
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              전압을 먼저 인가했던, 포트-1

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         4. 먼저 측정한 포트-1이 절연파괴가 되어, 이물질 파편들이 뿌려져 port-2 측정에 영향을 주었을 수 있다.
         5. 샘플 #2
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   3. 내전압(DC permissive voltage)
      1. 조사한다.
   4. 최대전력
      1. 방법
         1. 신호발생기 또는 네트워크분석기로 주파수를 발생시키고
         2. RF 전력 앰프로 전력을 증폭하고
         3. 아래 3가지 중 하나로 검출한다.
            1. RF파워미터
            2. 네트워크분석기
            3. RF 전력 검출기
   5. 정전용량
      1. 참고: 이론값은 IDT C에서 설명한다.
      2. 정전용량과 중심주파수 상관관계 분석
   6. 온도계수
      1. 참조: Xtal 온도특성
      2. 네트워크분석기와 Espec SU-222을 사용한다.
   7. 정전기 파괴
      1. 참고: 이론은 SAW필터에서 초전성에서 설명한다.
      2. 실험 방법
   8. 매칭하는 법
      1. SAW측정치구에 제품을 꼽고 네트워크분석기를 사용한다.