Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서

Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서

1. 전자부품
   1. Fukuta 에어리크 검사기
   2. 압력센서
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      2. Fukuta 에어리크에서 주 차압센서
2. 차압센서2
   1. 신호 전처리 보드
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   2. Merit Sensor, 이 회사 고유의 Sentium 기술을 사용한다. OEM 판매한다.
      1. 데이터시트 - 2p
   3. 제품1에서
      1. 이렇게 생긴 공압부품, 황동 가공품 속에서 사용된다.
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           양쪽으로 구멍이 뚫려있는 대칭형 가공품 속에 있다.

      2. 센서 외형
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           4개 전선이 연결된다.

      3. 가스토치로 가열해, 단단한 에폭시 접착제로 4군데 밀봉된 부분을 뜯어내면
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           센서에서 공기가 통하는 뒤쪽 구멍이 보인다.

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           센서면 표면이 보이는 앞쪽을 다시 뜯으면

   4. 제품2에서
      1. 뜯으면
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      2. 레이저 천공된 알루미나 기판에 센서다이가 다이본딩, Bump Over Stitch Au 볼 와이어본딩되어 있다.
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      3. 계속해서 알루미나 기판을 뜯으면
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      4. 다이 접착 방법
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           실리콘 센서 다이와 구멍이 있는 유리 다이(하프 커팅후 절단되었다.)를 서로 붙였다.

      5. 다이 구조
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           SENTIUM 3000

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           MEMS 가공된 실리콘 센서 멤브레인이 깨진 후 사진. 트위저로 뒤면 유리 구멍을 잡고 가스토치로 가열하니 유리가 녹아 찌그러졌다.