프루버

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  2. LED 프루빙
투고기술 보유, EG2001X 프루버
1. 메뉴얼
  4. EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
  5. - 244p
  6. 보유 3권
    1. 2020/06/04 촬영
    2. Mechanical Interface Reference Drawing
    3. Reference Drawing, Vol.1
    4. Reference Drawing, Vol.2
2. 수식
  1. 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
  2. 이동 좌표발생 프로그램 xy-ibw.txt
3. 분석 엑셀
  1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
4. 동작 프로그램
  1. 본체 GPIB 주소: 402 (연결된 CAT2 PC에 꼽힌 GPIB 보드는 400번이므로. 반면에 일반적으로 700번이다.)
  2. 프로그램 소스
    1. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 prober01-ibw.txt
    2. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 + 2420 소스미터 추가 prober02-ibw.txt
    3. 칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 prober03-ibw.txt
    4. 다이 단위로 움직이면서, 특성값이 나올 때까지 8방향 이동. prober04-ibw.txt
  3. Message Completion(MC)와 failure(MF) 응답
    1. X-Y 이동 및 Z 이동이 끝날 때마다 이 메시지를 출력한다. 그러므로 반드시 이 메시지를 받아야 한다.
    2. X-Y 이동에 관한 명령어는 FM, GF, HO, MD, MF, MM, MO, MP
    3. Z 이동 명령어는 MT, ZD, ZM, ZR, ZU
  4. 주요 action 명령어
    1. FMXxYx :x,y는 -32768~32768 범위. 다이 내에서 절대 마이크로 좌표단위로 이동
    2. HO :홈 위치로 이동. 척 Z높이를 200으로 낮추고, forcer를 platen 우하 코너로 이동시킴
      1. MF :First die로 이동
      2. FD :현재 위치를 First die로 지정함.
    3. LA0, LA1 :조명장치 ON/OFF
    4. MO :절대 다이 스텝으로 이동, MOXnYn (n=-999999~999999)
      1. MDXnYn :상대(first 다이 기준으로) 다이 스텝
    5. MM :현재 위치에서 상대적인 기계 스텝으로 이동, MMXnYn (n=-999999~999999) 1이면 2.5um
      1. MAXnYn :forcer를 platen 면적에 해당하는 절대위치로 이동
    6. MTn :현재 각도에서 theta 상대 이동 (n=-7603~7604 모터스텝)
    7. PA :프루빙 임시정지(Z down)/계속(pause/continue) PA 한 번에 정지, 다음 수행 때 계속. 키보드에 있는 PAUSE/CONT와 동일
    8. SA :현재 프로세스를 멈추고 버저 울림. PAUSE 키 누르면 버저 종료, 다시 누르면 프로세스 수행
    9. ZU 및 ZD :척 업 및 다운, ZM :지정 높이로 Z 이동
      1. ZMn :Z를 지정된 높이까지 이동. n=2000~Z Up limit까지. 2000이면 200mil이다. 기계마다 Z 스테이즈 분해능에 의존함. 1/2, 1, 1/4, 1/8min 중 하나임.
      2. ZRn :Z를 현재높이에서 상대적인 위치로 이동. n=-2000~2000 음수는 낮춘다.
    10. VAn :척 진공 n=0/1 on/off
  5. 주요 query 명령어
    1. ?A0 (EG척일 때만 사용가능):Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨
      1. ?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
    2. ?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 0.1mil = 2.54um.
      1. platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
      2. 현재 투고기술 프루버는 좌상단은 115000, 81249 로 나타남. 11500mil x 8125mil = 292mm x 206mm
      3. Y축 이동거리가 206mm이므로 8인치 웨이퍼 이동 가능하다.
    3. ?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.
      1. Xx1Yy1 : first die 지정하지 않으면 X0Y0,
      2. Xx2Yy2 : 프로파일러가 설치되었을 경우 값이 나온다. 그렇지 않으면 지정한 척 중심이 나온다.
      3. Dd : 프로파일러가 있을 때 나온다. 그렇지 않으면 지정한 웨이퍼 직경이 나온다.
    4. ?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
    5. ?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
      1. 읽어보니, +7430~-7603이 나온다.
    6. ?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1mil단위이다.
      1. 200mil = Z2000으로, 400mil은 Z4000으로 나온다.
5. 주변 유틸리티
  1. 100V 트랜스포머
    1. 220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
  2. 진공펌프
    1. DA-60D 진공펌프를 사용하고 있다.
  3. 공기압축펌프
    1. 냉동식 수분 제거기
    2. 필터(main filter + mist separator)
6. 프루버 본체 등
  1. Platen Base Assembly 도면 - 11p
  2. 14/05/02 투고사무실에 정위치로 이동한 프루버
  3. ring carrier - 주황색 판을 말한다.
  4. Chuck - hot 척이다.
    1. 6인치(=150mm) 척 표면
    2. 콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
    3. 접지와 연결
      - M4, 척 표면 위로 올라오지 않게 나사 머리 직경을 줄임.
    4. 높이
      1. 척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
      2. 척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
        
        X,Y 단위계를 인치 또는 미터로 선택할 수 있는데, Z축 높이는 항상 인치단위인 mil(25.4um)로 나타난다.
        
        Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
      3. 높이 정확도 측정
        
        2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
        
        Z up 과 down 차이를 35mil(=889um)을 지정하면
        
        원점
        
        886um
        
        2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
    5. 수평 측정
      1. 개요
        
        링 케리어 평행도는 프루브 카드를 사용하지 않는다면 맞출 필요가 없다.
      2. 2020/06/06 레이저변위 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
        
        측정 사진
        
        진공구멍이 있는 척 상태로
        
        150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
      3. 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
        
        척 1시방향 가장자리 높이 = 865um
        
        척 7시방향 가장자리 높이 = 891um
      4. 2020/06/07 수평교정
        
        수평조절용 볼트 3군데
        
        수평잡기 전
        
        수평잡은 후
      5. 2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤
        
        출근해서 다시 측정하니
        
        시간에 따라 척이 높아지고 있다. (센서에서 멀수록 +이므로)
        
        높이 전압이 0.005% 이내로 연속 5회 들어오는 시간 - 어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
        
        두 번째 측정하니, 평탄해졌다. (리니어모터는 사용함에 따라 뜨거워지나?, 압축공기 온도에 의존하는가?)
    6. hot chuck 분해
      1. 2020/06/07 첫 분해
        
        3개에서 한 곳에 세라믹 단열링이 없다.
        
        온도센서가 부착된 곳
  5. 링(ring)
    1. "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
    2. 14/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
  6. 모니터
    1. 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
  7. 바퀴 관련
    1. 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
    2. 20/05/26 바퀴 방향을 돌림
      1. 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
      2. 가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
        
        바퀴 방향 조정 후. 자동차용 가위 잭은 높이가 높아 들어가지 못함. 빈 공간 높이 10cm
7. 프루빙 장면
  1. 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
  2. 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
  3. 16/09/11, 6인치 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 마이크로히터 ,
    - 6인치 웨이퍼 로딩
    - 척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 이물 제거
    - 프루빙 준비
    - 프루빙
    - 6인치 웨이퍼 스캐닝
    - 좌표 .XY 입력
    - 사분면 각 다른 패턴-저항 측정
    - 4분면 저항
    - 각 분면 평균에 대한 %
  4. 20/04/19 문제없이 돌아감
8. 웨이퍼 막 저항 측정
  1. 웨이퍼
    - Ti 3nm/Pt 50nm 코팅함
    - d=100mm, t=0.64mm
  2. 202/05/24 2.5um씩 밖으로 시계방향으로 퍼지면서 측정
    - 2-wire 오옴 +-40% @11오옴
    - 4-wire 오옴 +-5% @2.2오옴
  3. 202/05/24
    - X축 상단으로 이동하면서 측정. 바늘에 문제가 있다.
압전 연구실 2017/04/20
Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
1. 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
  1. 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
    - EM-20, Semiconductor Tester
    - A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
  2. 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
    - EM-20A, Semiconductor Tester
포지셔너
1. 10/05/27 인계동사무실에서
2. 15/08/17
  - ,
3. 15/09/14
4. 20/04/28 - 끝이 뭉툭한 직선 바늘
5. 20/05/20 - 0.2x0.2mm LED를 측정하기 위해서 뾰족한 구부러진 바늘 8개를 입수하여, 새롭게 장착함.
간이 프루버
1. - 16/02/05
  - 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정
  - 빨강 도면 제작할 것.
  - 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.