4PP

4포인트프루브, 4 point probe(4PP)

설비
1. 솔라세라믹 2대 보유, 면저항 측정기,
  1. 모델 FPP02400
  2. 프루브 전선 연결방법
    - 케이블 cleanroom class ISO 1 cables, SAB clean SD 780 C, 외경 5mm, 4x0.25mm^2, 절연체 TPE
    - TMW 회사 커넥터(PRC05-RB5F본체, PRC05-PB5M프루브쪽)
2. 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 회사가 보유한, 4포인트프루버(4PP) SR2000 모델 - 창민 회사 제조품
  1. 고장나, 관찰을 위한 분해 후 헤드를 제외하고 모두 버림.
    1. 본체 16/07/26
      - Z이동
      - Y이동
      - 회전
      - 3축 모터 드라이브
    2. 헤드, Jandel 회사
      - 간격 1mm
      - 영국제조
      - 1.00mm, 100g, 재질 TC, 팁반경 100um
      - Z limit 스위치
    3. 기판 16/08/03
      - 1994년 창민
      - 모터 드라이브 3개
      - 뒷면
      - 손으로 납땜한 듯
      - servo 드라이브 IC, SS4B001C(Japan Servo 회사제품)
      - LM399AH voltage reference
  2. 16/08/01 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 치구 제작 협의
  3. 16/08/09 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 온 견적서
  4. 16/08/10
    1. 유튜브 , https://youtu.be/LtWJSbw48Dw ,
    2. 사진
  5. 16/08/11, 지멕에 납품
    - 지멕에 납품 완료
3. CDE ResMap 178, CDE(Creative Design Engineering) , https://cde-resmap.com/
  1. 17/07/06 폐기품 가져옴.
  2. 기구부 - Y, Z, 회전 3축
    - 오른쪽이 회전용 모터
    - Z축 벨트
    - Y축 벨트
  3. 저항측정용 앰프 - TC센서, 이득 선택 릴레이 4개, 앰프
    - 수은 릴레이이므로 설치 방향 때문에 전선으로 연결한 듯
    - 프루브 바늘과 릴레이, 앰프 사이에 guard 형성
  4. 인터페이스 보드, 릴레이 7개, 표준저항 4개 등
  5. 스텝 모터용 전원
    - 트랜스 및 팬
    - 트랜스, 브리지다이오드, 전해캐퍼시터
    - 40V, 34mF Sprague 회사 전해캐퍼시터
  6. 스텝 모터 콘트롤러
    - IC 절연방법
    - IC 3개 마킹을 그라인딩하여 지움
4. KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
  1. Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
  2. 헤드 외관
    - 피치 1.575mm
    - 팁 반지름이 커질수록 간격이 가까워져 측정값이 계속 작아지는 큰 문제.
    - 핀 하나가 마모됨. 뒤로 후퇴하지 않아
    - TC재질이 마모될 정도면 무척 많이, 오랫동안 사용한 듯
  3. 헤드 분해
  4. 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
  5. 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
  6. 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
    - 핀 압력 조절
  7. TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
  8. 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
수작업 측정 치구
1. 15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
  1. 15/08/31
  2. 측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
2. 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
  1. 15/11/07 측정 치구 설명
    - 상하로 연결된 저저항을 9군데를 측정하기 위한 치구.
  2. 100x100mm 크기의 기판에서.
    - 스위칭 장치와 연결을 위한 커넥터
    - 이런 스위칭 장치가 사용되었다.
  3. 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.
    - 누르면 핀이 돌출
    - 핀이 속으로 들어감
  4. 위쪽
    - 바늘 2개씩
  5. 케이블링
    - 위/아래면에 각각 바늘 9쌍, 18선
    - 아래면 18선 케이블링
3. 18/08/06 500도씨 치구 관련
  1. 18/08/27
  2. 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
  3. 18/09/17 - 니켈100% 전선
  4. 18/09/17 - 측정 시료
  5. 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
  6. 18/09/28 - 500도 열처리하니
    - 스프링탄성을 완전히 잃어버린다.
  7. 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
바늘
1. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
  1. 프루브 #1
    1. 15/01/06
      - Tip R=300um
      - 직경 400um
      - 초경재질이다
    2. 15/01/11 MT에서 만든 핀
      - 도면
      - 더 정확한 가공(특히 팁 반지름)이 필요
      - 더 매끈한 재질의 TC가 필요
      - 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨.
  2. 프루브 #2 - 2019/06/28
    1. 분해 방법, 순서
      - 인두기로 플라스틱 핀에 구멍을 판 후
      - 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후
      - 뽑는다
      - 90도 돌리면 고정 스크류가 있다.
      - 마개를 힘들게 뽑아야한다
      - 4개 소형 스크류 풀고
      - 2개의 스크류 풀면
      - 스프링 4개를 볼 수 있다.
    2. 프루브 팁
      - 1mm 정도 튀어 나와야 한다.
      - 자세히 보면 부러져 있다.
      - 꺼내 보면 확실히 부러져 있다.
    3. #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.
      - 외경이 0.38mm 핀이 필요하다.
2. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
  1. 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.