실리콘 다이오드 웨이퍼

전자부품
1. 다이오드
  1. 웨이퍼
    1. 실리콘 다이오드 웨이퍼 - 이 페이지
2. 참고
  1. 프루버
3. 참고
  1. 다이오드 V-I 커브
  2. 다이오드 V-C 커브
AliExpress The Spare Part Depot Store, 실리콘 다이오드
1. 2024/03/29 단가 28,742원 총 34,851원에 발주, 2024/04/12 도착
  - 포장 방법
2. 125mm(5인치) 웨이퍼
  1. (추정) 직경 125.0+-0.5mm, flat 42.5+-2.5mm, 두께 0.5mm
3. 외관
  1. 외관 및 라벨, CB = Common Base(?), ICBO = Collector Current, Base Open(?)
  2. 공정 표시 다이
    - 웨이퍼에서 오른쪽
    - 웨이퍼에서 왼쪽
    - 공정진행 표시. 7레이어인듯
  3. 다이오드 다이, 2.1x1.05mm
    - 노랑 사각형 프레임이 폴리이미드 코팅 영역이다.
4. 프루빙
  1. 이동 좌표 생성
    1. 프로그램이 표준으로 생성시킨 다이 좌표
      - 웨이퍼 중심이 0,0일 때, 5360 다이/웨이퍼
    2. 이후 정확히 다이 위치 계산
      - 가장자리 다이 위치 파악
      - 웨이퍼를 보고, 유효다이 5085 다이만 카운팅하여, 0,0을 쉽게 찾기 위해서는 맨 아래, 좌측을 0,0으로 직교이동시킨다.
    3. 이후 좌우 TEG 패턴, 4개 다이를 제거하였다. 그러므로 총 5081개다이/웨이퍼로 수량을 결정함.
  2. 프루빙 동영상
  3. Vf 측정
    1. 3457A DMM에서, 저항 측정 범위 4가지에 따른 저항값 프루빙 데이터
      1. 저항 측정시 출력되는 전류
      2. 저항값을 Vf로 변환
        
        1uA에서 Vf
        
        10uA에서 Vf
        
        100uA에서 Vf
        
        1mA에서 Vf
  4. C 측정
    1. LCR-4284A LCR미터에서, -1V -10V DC bias에서 C값 프루빙 데이터
      1. 역방향 DC바이어스에 따른 depletion region의 capacitance를 측정했다.
      2. 척을 LCR 미터 측정포트 low로 연결하고 측정
      3. DC bias -1V, -10V에서 Cp 1MHz 1Vosc로 측정
        
        -1Vdc bias, 평균 ~185pF 나온다.
        
        -10Vdc bias, 평균 ~65pF 나온다.
  5. Z 측정-1
    1. 잉크 제거 전 - LCR-4284A LCR미터에서, -10, -1, 0, 0.25, 0.5, 1V 등 6가지 DC bias에서 Z-deg 값 프루빙 데이터
      - DC bias = -10V
      - DC bias = -1V
      - DC bias = 0V
      - DC bias = +0.25V
      - DC bias = +0.5V
      - DC bias = +1V
    2. 잉크제거 후 -
      - DC bias = -10V
      - DC bias = -1V
      - DC bias = 0V
      - DC bias = +0.25V
      - DC bias = +0.5V
      - DC bias = +1V
  6. 모든 다이를 정확히 측정하기 위해서, 도팅된 잉크 제거
    1. 발연질산을 발라
      - 노랑 이물질은 폴리이미드
    2. 비누 세척후
      - 천장에 흰반사판
      - 천장에 검정반사판
    3. 불량 다이에 발라진 잉크 제거 전후
      - 잉크 제거 전
      - 잉크 제거 후. 가장자리에 발라진 폴리이미드가 제거되었다.
    4. 웨이퍼 중심에 있는, 불량으로 측정된 두 개 다이의 표면 전극을 제거해보니