LED 프루빙

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200x200um 블루, 플립칩 LED
1. 20/05/20 첫 측정
  1. 낱개로 분리된 반쪽 웨이퍼 상태이어서
    - 프루버 척에 올려 놓고
    - 진공을 잡으면
    - 진공 구멍 때문에 높이 차이가 발생된다.
  2. 밑에 4인치 웨이퍼를 깔고 측정함. 0.2x0.2mm 칩크기이므로 약 18만개 칩/100mm 웨이퍼
  3. 1mA 인가. LED이므로 전압 방향을 맞추어야 한다.
  4. 200x200um 칩 크기, 블루 플립칩, 빛이 반대편에서 나온다.
  5. 10x10=100개, @1mA 세번 측정,
    - 위치별 Vf
    - 저항으로 환산했을 때. 오픈 측정은 없다.
    - 측정시스템 신뢰 분석 - 화살표 한개만 측정에 문제
    - 정상군 중에서 2개만 Vf에 이상
    - 온도계수 -2mV/'C 라면, 두번째 측정에서 주변온도 0.5도씨 상승. 세번째는 두번째 측정후 바로 측정했음
  6. 10x10=100개, @20m,1m,0.1m 각각 측정, 1mA
블루, 와이어본딩
1. 대만, Genesis Photonics, B2424CCD0, InGaN/GaN, 2009년 제조
  - P=IV이므로, I=0.111/3.42=32.5mA에서 측정했다는 뜻
  - 배열피치는 약 1.0x1.0mm, 칩크기는 0.61x0.61mm
2. Vf @10mA 측정
3. 96개 Vf 커브 측정
블루, 와이어본딩
1. Intelligent Test Solution Winner (ITS WIN), M0804-GB-A20H, 2016.10.09 (아마 칩 크기 0.85x0.42mm)
2. 프루빙 사진
3. 50mA에서 Vf
4. 176개 Vf 커브 측정
5. 위치 추적 프로그램으로 30mA에서 Vf
  - 2-wire 측정방식이어서 측정에 편차가 큼
6. 2.5um 피치로 X축 20번 Y축 20번 총 400번 측정.
  - P 전극(표면에 있다.)
  - N 전극(밑에 깔려 있다.) 표면은 P전극이다. 그러므로 N전극이 표면에 묻으면 short이다. 사파이어 마이크로렌즈(PSS;patterned sapphire substrate)가 있기 때문에 2012년 이후 기술
7. 2.5um 피치로 중심에서 정사각형으로 시계방향으로 퍼져나가면서 X축 41번 Y축 41번 총 1681번 측정.
  - 로그 Vf
  - 선형 Vf