광학 해상도 차트

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용어
1. optical resolution charts
실리콘 반도체 다이에서
1. 압력센서, COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
2. 오디오앰프IC, Tripath TA1101B Digital Audio Amplifier
  - 공정별 광학 해상도 차트
LAN IC, Broadcom BCM5322M에서
- 왼쪽 광학 해상도 차트, 044046 = metal/space=0.44um/0.46um으로 측정됨.
LCD에서
1. 2007.12 출시 LG-LB3300 슬라이드 피처폰
  - 왼쪽은 레이어간 정렬키, 오른쪽은 광학 해상도 차트
OLED에서
1. 2014 삼성 갤럭시 S5 SM-G906S
SAW 다이에서
1. SAW 필터에서 SAW대문
  1. 2016년 출시 삼성 갤럭시 A7 SM-A710S
    - TEG 막대기 폭 1.5um, 우하단: 1차전극 2차전극 정렬도 검사 패턴
2. 400MHz RF SAW 필터
  - 해상도챠트
3. SAW-핸드폰RF
  1. Epcos B7838, GSM850/AMPS Rx, 881.5MHz, 2.0x1.6mm
    - 광학 해상도 차트 0.35u, ...., 1.0um(즉, space는 0.35um까지)
  2. Epcos B7838, GSM850/AMPS Tx, 836.5MHz, 2.0x1.6mm, 4-pin
    - 광학 해상도 차트
  3. EPCOS 7827, WCDMA Rx 2140MHz
    - space: ~0.30, 0.33, 0.40, ... metal: 1.3um
  4. Epcos B9000, SAW-GPS
    - 광학 해상도 차트 스페이스 폭 0.29~0.88um까지로 측정되었다.
  5. 삼성전기 DG50AQ1
    - DG50AQ1-5 HBC(홍병철), 형성된 광학 해상도 차트로는 큰 의미가 없음.
  6. 삼성전기 DG75JF1 SAW-GPS
    - 간격: 4.00um, 2.00um, 1.00um(전극폭 0.5um)
  7. 와이솔 H876BA3 MP3 WJL
    - 광학 해상도 차트용(?) 구멍 및 그 구멍이 막히는 것을 피하는 금전극
  8. Skyworks GPS LNA+SAW 모듈에서
    1. 2013.10 출시 애플 iPhone 5S 스마트폰
      - 엡코스 광학 해상도 차트이다.
    2. 즉, Skyworks는 엡코스 SAW필터를 구매하였다.
4. SAW-레조네이터
  1. 433MHz - 1포트 레조네이터
    - 전극폭 3,2,1.5,1.2,1,0.9,0.8,0.7um