18일, 12시간, 52분 - Togotech

정밀 저항기

정밀 저항기

  1. 전자부품
    1. 저항기
      1. 정밀 저항기 - 이 페이지
    2. 참고
      1. SIP 저항기 네트워크 구조에서 박막 저항기이면 이 곳에서 기록한다.
  2. 박막저항 기술자료
    1. 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
      1. 기판: Polished AlN(Aluminum Nitride), Ra<0.08um
      2. 저항체: 질소공급하면서 탄탈을 스퍼터링
        1. 기판위에 가장 먼저 입힌다. 약 50오옴/sq
      3. 배선층
        1. 2층: Ti 0.1um
        2. 3층: Pt 0.2um
        3. 4층: Au 2~6um, type3 gold(1:99.7%, 2:99.0%, 3:99.9%)
      4. 성막 후, 공기중에서 450+-10도 핫플레이트에 올려놓고 부풀어오르면 안된다.
      5. 뚜껑/리드선 납땜은 0.5um Pt에 0.04um Au flash 도금면에 73%wt Au/27%wt Sn 솔더 사용
  3. 레이저 트리밍 방법
    1. selectively laser trimming
      • resistladder.gif
    3. ladder laser trimming
  4. Tubular Axial-Lead Resistors, Bulk Metal® Foil Technology, Vishay
    1. Mettler Toledo AE200 분석저울
    2. 34972A 시스템스위치
  5. 각형 몰딩(트랜스퍼/conformal), 포일 저항
    1. 제조회사
      1. Alpha Electronics Corporation = VPG(Vishay Precision Group, Inc) foil resistor,
    2. Sartorius WZA224-L 저울 셀
      1. 정밀 저항기 Alpha Elec. RCK02-series VPG foil resistor, TCR of ±2.0 ppm/°C, Tolerance of ±0.005%

        • RCK02AT B1920

        • 250R00 1.0%

    3. Keithley 2612B 소스미터에서
      1. 750k
        1. 사진

          • 앞면

          • 뒷면

        2. 17/10/28 TCR 측정 데이터 엑셀 파일

          • 오븐 온도 프로파일

          • 온도-저항

          • 온도계수. 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.

      2. 30k, 30k, 150k 3개

        • 앞면

        • 뒷면

      3. 파랑 axial lead 타입 - 22.5K 및 40.0K 두 개
        • 2612b2main 033.jpg
    4. HP 3458A DMM에서
      1. Voltage Reference에서
        • 3458a01 010.jpg
    5. Advantest R6551 DMM에서

      • AE(Alpha Electronics 회사 로고) XF 22C80K000

    6. Agilent 85093 2port E-Cal, HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)

      • 측정하니 1.000k오옴

    7. Agilent 4339B 고저항측정기
      1. 5개(100, 1k, 10k, 50k, 100k) 정밀 저항 주변

        • 선택 스위치, Sanyu, reed relay

        • 100, 1k, 10k, 100k 표준 저항 - 제조회사 현재 알 수 없음.

        • 50k, MC-series, XB(X:5ppm, B:0.1%), Alpha Electronics Corporation

    8. Advantest TR6143 소스미터

      • AE(Alpha Electronics 회사, 각형 몰딩(트랜스퍼/conformal) 포일 저항품 4개, 1k 및 8k

  6. conformal coating 제품
    1. Dale 고압용 고저항
      1. Keithley 2612B 소스미터에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
        1. TR 시리즈 데이터 시트 - 2p
        2. 사진1
          • 2612b2main 027.jpg
          • r hv01 001.jpg
          • r hv01 002.jpg
          • r hv01 003.jpg
        3. 측정 - 17/10/30 측정 엑셀 데이터
    2. Takeda Riken TR6150 DC전압/전류 소스에서

      • 정밀저항 199.98k 704.76k

    3. Koa
      1. 마킹 로고설명
        1. Electrohm 상품명 마킹. 제품이 충분히 크면 Electrohm 문자를 마킹하고, 작으면 그리스문자 오메가 형태의 로고를 마킹한다.
        2. Electrohm 상품은 일본 Tama Electric Co. 타마전기주식회사 제품.
        3. 이 회사는 1939년 설립. Koa가 2001년에 인수함.
      2. MRP 시리즈
        1. datasheet - 2p
        2. Iwatsu VOAC7513 DMM, AC 보드에서
          • voac7513 05 004.jpg
          • sipr05 001.jpg
          • sipr05 002.jpg
          • sipr05 003.jpg
        3. Yokogawa 2533 AC파워미터 RMS board에서
          • sip r pre01 001.jpg
          • sip r pre01 002.jpg
          • sip r pre01 003.jpg
          • sip r pre01 004.jpg
        4. Yokogawa 2533 AC파워미터 RMS board에서
          • sip r pre02 001.jpg
          • sip r pre02 002.jpg
          • sip r pre02 003.jpg
          • sip r pre02 004.jpg
        5. (마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측) Iwatsu VOAC7513 DMM
          1. 메인보드에서

            • 어레이저항 RA5 GF5183

          2. 2017/11/15 저항온도계수 TCR 측정
            1. 엑셀 파일 +30ppm/'C 나온다.

              • 오븐 온도 프로파일

              • 90오옴 TCR = 0.00237/90 = +26ppm/'C

              • 9오옴 TCR = 0.000279/9 = +31ppm/'C

              • 90/9 저항비의 온도계수는 -5ppm/'C, 0~50도에서 최대 30ppm

          3. 레이저 트리밍 방법

            • double plunge cut, serpentine cut, plunge cut-ladder resistor

            • r precision02 002.jpg
            • r precision02 003.jpg
          4. 레이저 트리밍 확대
            • r precision02 004.jpg
            • r precision02 005.jpg
            • r precision02 006.jpg
            • r precision02 007.jpg
            • r precision02 008.jpg
            • r precision02 009.jpg
            • r precision02 010.jpg
            • r precision02 011.jpg
    4. AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입
      1. Iwatsu VOAC7513 DMM(409999 5+1/2digits)
        1. 메인보드에서

          • 듀얼저항

        2. A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
          1. 보드에서
            • voac7513 04 001.jpg
            • voac7513 04 002.jpg
          2. 외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k

            • 10k-10k 제품과 1.5k-11.5k 제품

            • 저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록

          3. 17/11/13 10k-10k 제품의 온도특성 측정 엑셀 데이터

            • 오븐 온도 프로파일

            • TCR=-0.9ppm/'C, -0.4ppm/C

            • 저항비 = 0.5ppm/'C, 0~50도 범위에서 30ppm 이내

          4. #1 내부구조
            • r precision01 001.jpg
            • r precision01 002.jpg
            • r precision01 003.jpg
            • r precision01 004.jpg
            • r precision01 005.jpg
            • r precision01 006.jpg
            • r precision01 007.jpg
            • r precision01 008.jpg
            • r precision01 009.jpg
          5. #2 - 발연질산에 넣어 녹여서 관찰. 금속포일을 붙여서 레이저 트리밍.
            • r precision03 001.jpg
            • r precision03 002.jpg
    5. Fluke
      1. Fluke 8840A DMM

        • 정밀 저항기 Fluke 2385, 655811 voltage divider, precision resistors networks

    6. Vishay
      1. E1326B DMM모듈에서, Conformally Coated Precision Resistor Network

        • Vishay 1346-1

        • 0.156M:9.84M으로 약 1:63비율. 10MΩ도 이런 패턴으로 만들 수 있다.

        • Vishay 157

        • Vishay 1347-1

  7. 명확하게 알루미나 기판에
    1. Caddock
      1. Caddock 1776 데이터시트 - 2p
      2. Iwatsu VOAC7513 DMM
        1. 메인보드에서

          • Caddock 1776-105

          • 에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음

          • 1차레이저-보호막-2차레이저

      3. Solartron Schlumberger 7060 시스템 전압계 에서
        1. Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
          • 7060a01 055.jpg
        2. 외관
          • 7060a01 055 001.jpg

          • 레이저 천공

        3. 패턴

          • 이 상태에서 측정하니, 8.989M, 896.8k, 89.82k, 9.964k

          • 7060a01 055 004.jpg
        4. 저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍

          • 9M

          • 900k

          • 90k

          • 10k

        5. 900:90:9:1 저항비를 면적비로 측정함

          • 녹색 유리 보호막을 벗기고

          • 저항값과 면적비 계산

          • 9M 저항체 면적비 계산

          • 900k,90k,10k 저항체 면적비 계산

        6. 참고로, 1000:1 전압비 추출을 위해서, Kikusui AVM13 AC전압계 에서

          • 1000:1 voltage divider, 100x10=1k(실측 1.000k), 999x1000=999k(실측 996.4k)

      4. Keithley 195A DMM

        • Caddock model 1776-6411 TF-149

        • Caddock model 1776-14

        • Caddock T912

      5. Keithley 220 전류소스에서

        • R - CADDOCK TF050N-series, 4.85M 0.5% 15ppm

        • 고저항. 위 3개는 나선컷 리드저항기

        • 뜯기 전 4.851M오옴

        • 수지를 모두 제거한 후, 초록색 유리가 남아있다. 왼쪽 두 줄이 최종 트리밍

        • 초록색 보호막 유리를 제거하면

        • 4.9341M 오옴

        • 알루미나 페이스트 연마제로 연마하니 4.9421M(0.16% 증가) 한 번 더 하니 4.9508M오옴(0.18% 증가)

    2. Fluke
      1. Fluke 8842A DMM에서
      2. Fluke 8840A DMM
    3. International Resistive Company(IRC)정밀 저항기
      1. IRC 회사
        1. 1923년 펜실베이니아주 필라델피아에서 설립.
        2. 1933년 저항기 카탈로그 - 14p
        3. 1990년 TE Electronics에 인수되어 현재 텍사스주 댈러스에 있는 TT Electronics 회사에 소속되어 계속 운영되고 있다.
      2. Agilent 34410A DMM

        • IRC

        • 34410a01 017.jpg
  8. Metal Can에서
    1. Alpha Electronics(AE 마킹), Ultra Precision Resistor(Hermetically Sealed)으로 HC 또는 HD 시리즈
      1. Advantest TR8652 일렉트로미터, voltage reference에서

        • LM10CH, 96년산

        • 9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산

      2. Advantest R6551 DMM, 5+1/2 DMM에서

        • YF, Ultra Precision Resistor(Hermetically Sealed), 40K000, 40kΩ 정밀 저항기

      3. Advantest TR6878 DMM에서
        • tr6878 023.jpg

        • ZB Z:TCR 1ppm B:+-0.1%

      4. Agilent 34410A DMM, Agilent 1NG4-0001 switch IC 옆에 있다.

        • 납땜하지 않고 소켓에 꼽았다. YF, Ultra Precision Resistor(Hermetically Sealed), 40K000, 40kΩ

    2. Vishay, ultra-high precision 데이터시트 - 4p
      1. HP 3458A DMM에서
        • 3458a01 014.jpg
        • 3458a01 015.jpg

        • ultra-high precision

      2. 100Ω - 백금저항 온도계용
        1. Guildline Guildline 9540 백금저항 온도계

          • Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리

          • guildline9540 027.png
    3. axial
      1. HP 3456A DMM

        • 30k +-0.02%, TC +-1ppm

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