정전용량 프루빙

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기술
1. 주로, interdigitated electrode capacitor에 대해서 측정한다.
  1. 대표적인 예가 IDT C 이다.
2. 웨이퍼 척에 형성된 진공구멍이 측정값에 영향을 준다.
  1. 웨이퍼 밑에 천공된 금속판을 놓고
    - 척 표면 사진
    - 100mm 웨이퍼 밑에 평탄한 금속 접지판을 올려놓은 효과를 갖는다.
  2. 금속판을 올려놓기 전과 후
    - 전
    - 후
측정
1. 2022/04/30, 4인치, 8965개, 1.0x0.8mm 다이
  1. Cp//Rp 측정 동영상
  2. LCR-4284A 계측기(1MHz 1Vosc)에서 Cp/Rp 측정 데이터
    - Cp
    - Rp
  3. 참고: Agilent 4339B 계측기로 측정한, IR 측정 데이터
    - 10GΩ근처값을 보인다.