창민 SR2000 면저항측정기

전자부품
1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
  1. 4PP
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Chang Min Technology(창민), SR2000 모델
1. 이력
  1. Chang Min Technology (창민)제조
  2. 입수 때부터 고장나, 헤드를 제외하고 모두 버림.
본체 2016/07/26
1. 외관
  - CHANG MIN
  - 창민 SR2000 면저항측정기, 통신포트, 압축공기, 전원소켓
2. 3축 모터 드라이버
  - 3축 모터 드라이브
3. Z이동
4. 원형 웨이퍼를 측정하므로, 회전하면 된다.
  - 타이밍 벨트
5. Y이동용 리드스크루
  - Lead Screws and Nuts
  - 이런 형태의 나사산은 ACME 규격으로 추정
  - Flange Nuts이다. Linear Ball Bearing이 아니다.
헤드, Jandel 회사
- 연결은 D-sub 9핀 커넥터를 사용한다.
- 간격 1mm
- 영국제조
- 1.00mm, 100g, 재질 TC, 팁반경 100um
- 포토인터럽터를 사용한 Z limit 스위치
메인보드 2016/08/03
1. 장치내에서
  - FPP VER 3.1 1994 CHANG MIN
2. 앞면
  - 모든 IC를 IC소켓에 꼽아서 사용함.
3. 뒷면
  - 플럭스 흔적을 보면 손으로 납땜한 듯
4. 전원
  1. AC트랜스로 DC전원공급
    - AC+-7V와 +-18V 출력으로 DC +-5V와 +-15V를 만들것으로 예상
  2. 평활용 전해C. 4개 측정값 Cs-D@120Hz 978uF 0.075, 947uF 0.11, 962uF 0.092, 960uF 0.081 으로 큰 문제가 없다.
    - 삼영전자 Samyoung, SMS 50V 1000uF
  3. 리니어 레귤레이터
    - JRC 7905, 9810, KIA 7815, Samsung KA7805, Fairchild UA7915UC. 그리고 서로 Complement Tr인 2SD525(npn 100V 5A) 2SB595(pnp -100V -5A)
    - 한국전자(KEC)와 삼성전자 제품
5. 스텝퍼모터 드라이버
  - 모터 드라이브 3개
  - servo 드라이브 IC, SS4B001C(Japan Servo 회사제품)
6. IC
  - intel P80C31BH MCS-51계열 8-bit MCU 3개, OKI M82C55A i/o 3개
  - Samsung KM62256BLP 32kB SRAM, Harris(TI) ICL7135CN 4.5자리 ADC, NEC D70208L V40 CPU
  - 상단에 있는, 하양 원형을 갖는 LM399AH 전압표준
  - 93, 94년에 제조된 Goldstar GS 마킹된 로직IC, GD74HC373 4개
7. 4개 사용된, HC-49U형 금속패키지 수정공진기, 3개는 Philips 12.000000, 1개는 H.S.C. 16.000 32pF
  - HSC 제품에는 비닐포장되어 있다. 매칭 C값이 표시되어 있다.
8. RTC 백업용 NiCd 배터리
  - Gp Batteries, GP60BNKX3, 3.6V 60mAh