포르테스캡 모터

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Portescap (포르테스캡) - escap 상표
1. 카탈로그
  1. Portescap
    1. 2018년 - 224p
    2. 2009년 - 293p
    3. 2001년? - 132p
2. Tencor M-gage 300, Portescap회사의 escap 22N28
  1. X축 모터 escap 22N28, DC motor, 3.8W, -213E 9V 7000rpm 0.62A max / K24 0.17Nm
    1. 참조단어: (escap dc motor back-emf Tachometer Output Signal)
    2. 사진
  2. 웨이퍼 Z (웨이퍼 X 모터와 동일하다.)
  3. 모터 및 감속기(Reduction gearboxes escap®using spur gears - 토크가 낮고 작은 마찰을 갖는다.) 반면에 Planetary gearbox는 큰 토크가 필요할 때 사용한다.
  4. 감속기를 통해 역으로 돌리면, 모터에서 출력되는 전압, commutator segments(정류자편)라고 한다.
    1. +전압은 시계방향, -는 반시계방향, 전압크기는 회전속도, 손으로 돌려서 오르락 내리락
    2. 리플 전압, 1회전에 9파형(모터 구조가 9-segment), 서서히 증가 전압은 회전속도 증가 그래프보면 5회전이 13.7Hz -> 약 69Hz -> 1/64감속이므로 손으로 감속기를 1초에 ~1회전시켰다.
3. 거칠기측정기
  1. 타코발전기
    1. 전압으로 회전수를 알 수 있기 때문에, 일정한 전압을 가한 시간이 총회전수가 되어 위치제어를 할 수 있다.
  2. X 축 이동 유닛용 포르테스캡 모터 및 감속기(gearbox)
    1. 외관
      - escap 왼쪽 감속기 모델(K26 0) 감속비(31.25:1), 오른쪽 모터 모델(23HD 11), 맨 왼쪽 D.C. Tachogenerator(회전속도에 비례한 DC전압이 출력된다.)
    2. free load상태에서 모터 인가전압 vs 타코발전기 출력전압(리플 제거하지 않고 DMM으로 측정)
      - 0.1V 이상이면 돈다.
    3. 1V에서 소모전류 파형으로 rpm 추측
      1. 약 780rpm 나오는 듯
  3. Z 축 이동을 위한 모터 컬럼
    1. 외관
      - escap 28GD2R 11 222E 205 2
      - 28GD11 -222E, EMF 출력 = 5.2V+-2%/1000rpm
    2. free load상태에서 모터 인가전압 vs 타코발전기 출력전압(리플 제거하지 않고 DMM으로 측정)
      - 0.1V 이상이면 돈다.