프루버 프로그래밍

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동작 프로그램
1. 본체 GPIB 주소
  1. 402 또는
    1. 연결된 CAT2 PC에 꼽힌 GPIB 보드는 400번라면
  2. 702
    1. 연결된 CAT2 PC에 꼽힌 GPIB 보드는 700번이라면
2. 프로그램 소스
  1. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 prober01-ibw.txt
  2. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 + 2420 소스미터 추가 prober02-ibw.txt
  3. 칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 prober03-ibw.txt
  4. 다이 단위로 움직이면서, 특성값이 나올 때까지 8방향 이동. prober04-ibw.txt
  5. 직각사각형 배열 prober06-ibw.txt
3. Message Completion(MC)와 failure(MF) 응답
  1. X-Y 이동 및 Z 이동이 끝날 때마다 이 메시지를 출력한다. 그러므로 반드시 이 메시지를 받아야 한다.
  2. X-Y 이동에 관한 명령어는 FM, GF, HO, MD, MF, MM, MO, MP
  3. Z 이동 명령어는 MT, ZD, ZM, ZR, ZU
4. 주요 action 명령어
  1. FMXxYx :x,y는 -32768~32768 범위. 다이 내에서 절대 마이크로 좌표단위로 이동
  2. HO :홈 위치로 이동. 척 Z높이를 200으로 낮추고, forcer를 platen 우하 코너로 이동시킴
    1. MF :First die로 이동
    2. FD :현재 위치를 First die로 지정함.
  3. LA0, LA1 :조명장치 ON/OFF
  4. MO :절대 다이 스텝으로 이동, MOXnYn (n=-999999~999999)
    1. MDXnYn :상대(first 다이 기준으로) 다이 스텝
  5. MM :현재 위치에서 상대적인 기계 스텝으로 이동, MMXnYn (n=-999999~999999) 1이면 2.5um
    1. MAXnYn :forcer를 platen 면적에 해당하는 절대위치로 이동 - 투고기술 프루버에서는 인식할 수 없는 명령어라고 나옴.
  6. MTn :현재 각도에서 theta 상대 이동 (n=-7603~7604 모터스텝)
  7. PA :프루빙 임시정지(Z down)/계속(pause/continue) PA 한 번에 정지, 다음 수행 때 계속. 키보드에 있는 PAUSE/CONT와 동일
  8. SA :현재 프로세스를 멈추고 버저 울림. PAUSE 키 누르면 버저 종료, 다시 누르면 프로세스 수행
  9. ZU 및 ZD :척 업 및 다운, ZM :지정 높이로 Z 이동
    1. ZMn :Z를 지정된 높이까지 이동. n=2000~Z Up limit까지. 2000이면 200mil이다. 기계마다 Z 스테이즈 분해능에 의존함. 1/2, 1, 1/4, 1/8min 중 하나임.
    2. ZRn :Z를 현재높이에서 상대적인 위치로 이동. n=-2000~2000 음수는 낮춘다.
  10. VAn :척 진공 n=0/1 on/off
5. 주요 query 명령어
  1. ?A0 (EG척일 때만 사용가능):Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨
    1. ?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
  2. ?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 0.1mil = 2.54um.
    1. platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
    2. 현재 투고기술 프루버는 좌상단은 115000, 81249 로 나타남. 11500mil x 8125mil = 292mm x 206mm
    3. Y축 이동거리가 206mm이므로 8인치 웨이퍼 이동 가능하다.
  3. ?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.
    1. Xx1Yy1 : first die 지정하지 않으면 X0Y0,
    2. Xx2Yy2 : 프로파일러가 설치되었을 경우 값이 나온다. 그렇지 않으면 지정한 척 중심이 나온다.
    3. Dd : 프로파일러가 있을 때 나온다. 그렇지 않으면 지정한 웨이퍼 직경이 나온다.
  4. ?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
  5. ?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
    1. 읽어보니, +7430~-7603이 나온다.
  6. ?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1mil단위이다.
    1. 200mil = Z2000으로, 400mil은 Z4000으로 나온다.