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정전용량 프루빙
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기술
주로, interdigitated electrode capacitor에 대해서 측정한다.
대표적인 예가
IDT C
이다.
웨이퍼 척에 형성된 진공구멍이 측정값에 영향을 준다.
웨이퍼 밑에
천공
된 금속판을 놓고
척 표면 사진
100mm 웨이퍼 밑에 평탄한 금속 접지판을 올려놓은 효과를 갖는다.
금속판을 올려놓기 전과 후
전
후
측정
2022/04/30, 4인치, 8965개, 1.0x0.8mm 다이
Cp//Rp 측정 동영상
LCR-4284A
계측기(1MHz 1Vosc)에서 Cp/Rp 측정 데이터
Cp
Rp
참고:
Agilent 4339B
계측기로 측정한, IR 측정 데이터
10GΩ근처값을 보인다.