"정밀 저항기"의 두 판 사이의 차이
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<li>selectively laser trimming | <li>selectively laser trimming | ||
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<li>ladder laser trimming | <li>ladder laser trimming | ||
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<li>Keithley 2612B에서 | <li>Keithley 2612B에서 | ||
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<ol>750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다. | <ol>750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다. | ||
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<li>Advantest R6551 5+1/2 DMM | <li>Advantest R6551 5+1/2 DMM | ||
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− | image:r6551_009.jpg|80k오옴 | + | image:r6551_009.jpg | 80k오옴 |
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<li>HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?) | <li>HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?) | ||
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− | image:hp85097_60002_009.jpg|측정하니 1.000k오옴 | + | image:hp85097_60002_009.jpg | 측정하니 1.000k오옴 |
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<li>Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package) | <li>Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package) | ||
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− | <li>- 2p | + | <li> - 2p |
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− | <li>측정 - 17/10/ | + | <li>측정 - 17/10/30 계측기에 문제가 없다. |
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<li>MRP 시리즈 | <li>MRP 시리즈 | ||
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− | <li>- 2p | + | <li> - 2p |
<li>Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서 | <li>Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서 | ||
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<li>(마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서 | <li>(마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서 | ||
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− | <li>17/11/15+30ppm/'C 나온다. | + | <li>17/11/15 +30ppm/'C 나온다. |
<li>사진 | <li>사진 | ||
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− | image:voac7513_03_013.jpg|어레이저항 RA5 GF5183 | + | image:voac7513_03_013.jpg | 어레이저항 RA5 GF5183 |
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<li>메인보드에서 | <li>메인보드에서 | ||
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− | image:voac7513_03_017.jpg|듀얼저항 | + | image:voac7513_03_017.jpg | 듀얼저항 |
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<li>A/D컨버터 보드, voltaga reference에서 | <li>A/D컨버터 보드, voltaga reference에서 | ||
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− | <li>17/11/13 | + | <li>17/11/13 |
<li>보드에서 | <li>보드에서 | ||
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image:voac7513_04_003.jpg | image:voac7513_04_003.jpg | ||
− | image:voac7513_04_004.jpg|저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록 | + | image:voac7513_04_004.jpg | 저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록 |
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<li>#1 내부구조 | <li>#1 내부구조 | ||
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<li>Caddock | <li>Caddock | ||
<ol> | <ol> | ||
+ | <li>Caddock 1776 데이터시트 - 2p | ||
<li>Iwatsu VOAC 7513 멀티미터 | <li>Iwatsu VOAC 7513 멀티미터 | ||
<ol> | <ol> | ||
<li>메인보드에서 | <li>메인보드에서 | ||
<gallery> | <gallery> | ||
− | image:voac7513_03_004.jpg | + | image:voac7513_03_004.jpg | Caddock 1776-105 |
− | image:voac7513_03_004_001.jpg|에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음 | + | image:voac7513_03_004_001.jpg | 에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음 |
− | image:voac7513_03_004_002.jpg|1차레이저-보호막-2차레이저 | + | image:voac7513_03_004_002.jpg | 1차레이저-보호막-2차레이저 |
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>Solartron Schlumberger 7060 DMM에서 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:7060a01_055.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>외관 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:7060a01_055_001.jpg | ||
+ | image:7060a01_055_002.jpg | 레이저 천공 | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>패턴 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:7060a01_055_003.jpg | 이 상태에서 측정하니, 8.98M, 897k, 89.8k, 9.97k | ||
+ | image:7060a01_055_004.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:7060a01_055_008.jpg | 9M | ||
+ | image:7060a01_055_007.jpg | 900k | ||
+ | image:7060a01_055_006.jpg | 90k | ||
+ | image:7060a01_055_005.jpg | 10k | ||
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<li>Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서 | <li>Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서 | ||
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− | image:tr8652_01_019.jpg|LM10CH, 96년산 | + | image:tr8652_01_019.jpg | LM10CH, 96년산 |
− | image:tr8652_01_020.jpg|9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산 | + | image:tr8652_01_020.jpg | 9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산 |
</gallery> | </gallery> | ||
<li>Advantest R6551 5+1/2 DMM | <li>Advantest R6551 5+1/2 DMM | ||
<gallery> | <gallery> | ||
− | image:r6551_007.jpg|, Ultra Precision Resistor (Hermetically Sealed), 40k-ohm, | + | image:r6551_007.jpg | , Ultra Precision Resistor (Hermetically Sealed), 40k-ohm, |
</gallery> | </gallery> | ||
</ol> | </ol> | ||
− | <li>Vishay, | + | <li>Vishay, |
<ol> | <ol> | ||
<li>HP3458A DMM에서 | <li>HP3458A DMM에서 | ||
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image:3458a01_014.jpg | image:3458a01_014.jpg | ||
image:3458a01_015.jpg | image:3458a01_015.jpg | ||
− | image:3458a01_016.jpg|ultra-high precision | + | image:3458a01_016.jpg | ultra-high precision |
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<li>100오옴 - 백금저항 온도계용 | <li>100오옴 - 백금저항 온도계용 | ||
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<li>Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer | <li>Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer | ||
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− | image:guildline9540_019.jpg|Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리 | + | image:guildline9540_019.jpg | Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리 |
image:guildline9540_027.png | image:guildline9540_027.png | ||
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+ | </ol> | ||
+ | <li>axial | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>DMM, HP 3456A | ||
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+ | image:3456a01_052.jpg | 30k +-0.02%, TC +-1ppm | ||
+ | </gallery> | ||
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image:ad574a_006.jpg | image:ad574a_006.jpg | ||
image:ad574a_007.jpg | image:ad574a_007.jpg | ||
− | image:ad574a_008.jpg|레이저 트리밍 | + | image:ad574a_008.jpg | 레이저 트리밍 |
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2019년 11월 2일 (토) 17:58 판
정밀 저항
- 링크
- 박막저항 기술자료
- 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
- 기판: Polished AlN(Aluminum Nitride), Ra<0.08um
- 저항체: 질소공급하면서 탄탈을 스퍼터링
- 기판위에 가장 먼저 입힌다. 약 50오옴/sq
- 배선층
- 2층: Ti 0.1um
- 3층: Pt 0.2um
- 4층: Au 2~6um, type3 gold(1:99.7%, 2:99.0%, 3:99.9%)
- 성막 후, 공기중에서 450+-10도 핫플레이트에 올려놓고 부풀어오르면 안된다.
- 뚜껑/리드선 납땜은 0.5um Pt에 0.04um Au flash 도금면에 73%wt Au/27%wt Sn 솔더 사용
- 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
- 레이저 트리밍 방법
- selectively laser trimming
- resistladder.gif
- ladder laser trimming
- 각형 몰딩(트랜스퍼/conformal), 포일 저항
- Keithley 2612B에서
- 17/10/28
- 750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
- 사진
- 17/10/28
- HP3458A DMM에서
- Voltage Reference에서
- Voltage Reference에서
- Advantest R6551 5+1/2 DMM
- HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)
- Keithley 2612B에서
- conformal coating 제품
- Dale 고압용 고저항
- Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
- - 2p
- 사진1
- 측정 - 17/10/30 계측기에 문제가 없다.
- Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
- Takeda Riken(Advantest) TR-6150 - DC Voltage/Current Source
- Koa
- MRP 시리즈
- - 2p
- Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
- Yokogawa 2533 RMS board에서
- Yokogawa 2533 RMS board에서
- (마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서
- 17/11/15 +30ppm/'C 나온다.
- 사진
- MRP 시리즈
- AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입
- Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits)
- 메인보드에서
- A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
- 17/11/13
- 보드에서
- 외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k
- #1 내부구조
- #2 - 발연질산에 넣어 녹여서 관찰. 금속포일을 붙여서 레이저 트리밍.
- 메인보드에서
- Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits)
- Dale 고압용 고저항
- 명확하게 알루미나 기판에
- Caddock
- Caddock 1776 데이터시트 - 2p
- Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
- 메인보드에서
- 메인보드에서
- Solartron Schlumberger 7060 DMM에서
- Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
- 외관
- 패턴
- 저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍
- Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
- Keithley 195A DMM
- DMM Fluke 8842에서,
- Caddock
- Metal Can에서
- Alpha Electronics(AE 마킹)
- Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
- Advantest R6551 5+1/2 DMM
- Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
- Vishay,
- HP3458A DMM에서
- 100오옴 - 백금저항 온도계용
- Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
- Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
- HP3458A DMM에서
- axial
- DMM, HP 3456A
- DMM, HP 3456A
- Alpha Electronics(AE 마킹)
- 반도체 IC 에서
- A/D Converter 에서
- multi-chip
- Yokogawa LR4110 펜레코더 입력보드 A/D 컨버터 칩에서
- Yokogawa LR4110 펜레코더 입력보드 A/D 컨버터 칩에서
- 실리콘 one-chip에서
- AD574A, Complete 12-Bit A/D Converter with Reference and Clock, 35us Maximum Conversion Time
- 외관
- 내부
- 칩
- 외관
- AD574A, Complete 12-Bit A/D Converter with Reference and Clock, 35us Maximum Conversion Time
- multi-chip
- A/D Converter 에서