32일, 20시간, 39분 - Togotech

"정밀 저항기"의 두 판 사이의 차이
42번째 줄: 42번째 줄:
 
<li>Keithley 2612B에서
 
<li>Keithley 2612B에서
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>17/10/28  
+
<li>750k
−
<ol>750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
+
<ol>
 +
<li>사진
 +
<gallery>
 +
image:2612b2main_028.jpg | 앞면
 +
image:2612b2main_029.jpg | 뒷면
 +
</gallery>
 +
<li>17/10/28 TCR 측정 데이터 엑셀 파일
 +
<gallery>
 +
image:r_precision04_001.png | 오븐 온도 프로파일
 +
image:r_precision04_002.png | 온도-저항
 +
image:r_precision04_003.png | 온도계수. 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
 +
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>사진
+
<li>30k, 30k, 150k 3개
 +
<gallery>
 +
image:2612b2main_028.jpg | 앞면
 +
image:2612b2main_030.jpg | 뒷면
 +
</gallery>
 +
<li>파랑 axial lead 타입 - 22.5K 및 40.0K 두 개
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:2612b2main_028.jpg
+
image:2612b2main_033.jpg
−
image:2612b2main_029.jpg
 
−
image:2612b2main_030.jpg
 
−
image:2612b2main_033.jpg | 22.5K 40.0K
 
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
75번째 줄: 88번째 줄:
 
<li>Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
 
<li>Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
 
<ol>
 
<ol>
−
<li> - 2p
+
<li>TR 시리즈 데이터 시트 - 2p
 
<li>사진1
 
<li>사진1
 
<gallery>
 
<gallery>
83번째 줄: 96번째 줄:
 
image:r_hv01_003.jpg
 
image:r_hv01_003.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>측정 - 17/10/30 계측기에 문제가 없다.
+
<li>측정 - 17/10/30 측정 엑셀 데이터
 
<gallery>
 
<gallery>
 
image:4339b02_001.jpg
 
image:4339b02_001.jpg
−
image:4339b02_002.jpg
+
image:4339b02_002.jpg | 4339B 계측기에서 잘 측정됨.
 +
image:r_hv01_004.png | 주변에 사람이 어슬렁거리면 측정값이 변동이 발생된다.
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
98번째 줄: 112번째 줄:
 
<li>MRP 시리즈
 
<li>MRP 시리즈
 
<ol>
 
<ol>
−
<li> - 2p
+
<li>datasheet - 2p
 
<li>Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
 
<li>Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
 
<gallery>
 
<gallery>
120번째 줄: 134번째 줄:
 
image:sip_r_pre02_004.jpg
 
image:sip_r_pre02_004.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>(마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서
+
<li>(마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits),
 
<ol>
 
<ol>
 
<li>17/11/15 +30ppm/'C 나온다.
 
<li>17/11/15 +30ppm/'C 나온다.
−
<li>사진
+
<gallery>
 +
image:r_precision02_012.png | 오븐 온도 프로파일
 +
image:r_precision02_013.png | 90오옴 TCR = 0.00237/90 = +26ppm/'C
 +
image:r_precision02_014.png | 9오옴 TCR = 0.000279/9 = +31ppm/'C
 +
image:r_precision02_015.png | 90/9 저항비의 온도계수는 -5ppm/'C, 0~50도에서 최대 30ppm
 +
</gallery>
 +
<li>메인보드에서
 
<gallery>
 
<gallery>
 
image:voac7513_03_013.jpg | 어레이저항 RA5 GF5183
 
image:voac7513_03_013.jpg | 어레이저항 RA5 GF5183
−
image:r_precision02_001.jpg
+
</gallery>
 +
<li>레이저 트리밍 방법
 +
<gallery>
 +
image:r_precision02_001.jpg | double plunge cut, serpentine cut, plunge cut-ladder resistor
 
image:r_precision02_002.jpg
 
image:r_precision02_002.jpg
 
image:r_precision02_003.jpg
 
image:r_precision02_003.jpg
 +
</gallery>
 +
<li>레이저 트리밍 확대
 +
<gallery>
 
image:r_precision02_004.jpg
 
image:r_precision02_004.jpg
 
image:r_precision02_005.jpg
 
image:r_precision02_005.jpg
151번째 줄: 177번째 줄:
 
<li>A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
 
<li>A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>17/11/13
 
 
<li>보드에서
 
<li>보드에서
 
<gallery>
 
<gallery>
159번째 줄: 184번째 줄:
 
<li>외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k
 
<li>외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:voac7513_04_003.jpg
+
image:voac7513_04_003.jpg | 10k-10k 제품과 1.5k-11.5k 제품
 
image:voac7513_04_004.jpg | 저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록
 
image:voac7513_04_004.jpg | 저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록
 +
</gallery>
 +
<li>17/11/13 10k-10k 제품의 온도특성 측정 엑셀 데이터
 +
<gallery>
 +
image:r_precision02_012.png | 오븐 온도 프로파일
 +
image:r_precision01_010.png | TCR=-0.9ppm/'C, -0.4ppm/C
 +
image:r_precision01_011.png | 저항비 = 0.5ppm/'C, 0~50도 범위에서 30ppm 이내
 
</gallery>
 
</gallery>
 
<li>#1 내부구조
 
<li>#1 내부구조
210번째 줄: 241번째 줄:
 
<li>패턴
 
<li>패턴
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:7060a01_055_003.jpg | 이 상태에서 측정하니, 8.98M, 897k, 89.8k, 9.97k
+
image:7060a01_055_003.jpg | 이 상태에서 측정하니, 8.989M, 896.8k, 89.82k, 9.964k
 
image:7060a01_055_004.jpg
 
image:7060a01_055_004.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
219번째 줄: 250번째 줄:
 
image:7060a01_055_006.jpg | 90k
 
image:7060a01_055_006.jpg | 90k
 
image:7060a01_055_005.jpg | 10k
 
image:7060a01_055_005.jpg | 10k
 +
</gallery>
 +
<li>900:90:9:1 저항비를 면적비로 측정함
 +
<gallery>
 +
image:7060a01_055_009.jpg | 녹색 유리 보호막을 벗기고
 +
image:7060a01_055_010.jpg | 저항값과 면적비 계산
 +
image:7060a01_055_011.jpg | 9M 저항체 면적비 계산
 +
image:7060a01_055_012.jpg | 900k,90k,10k 저항체 면적비 계산
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
247번째 줄: 285번째 줄:
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>Vishay,  
+
<li>Vishay, ultra-high precision 데이터시트 - 4p
 
<ol>
 
<ol>
 
<li>HP3458A DMM에서
 
<li>HP3458A DMM에서

2019년 12월 15일 (일) 21:14 판

정밀 저항

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 나선컷R
  2. 박막저항 기술자료
    1. 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
      1. 기판: Polished AlN(Aluminum Nitride), Ra<0.08um
      2. 저항체: 질소공급하면서 탄탈을 스퍼터링
        1. 기판위에 가장 먼저 입힌다. 약 50오옴/sq
      3. 배선층
        1. 2층: Ti 0.1um
        2. 3층: Pt 0.2um
        3. 4층: Au 2~6um, type3 gold(1:99.7%, 2:99.0%, 3:99.9%)
      4. 성막 후, 공기중에서 450+-10도 핫플레이트에 올려놓고 부풀어오르면 안된다.
      5. 뚜껑/리드선 납땜은 0.5um Pt에 0.04um Au flash 도금면에 73%wt Au/27%wt Sn 솔더 사용
  3. 레이저 트리밍 방법
    1. selectively laser trimming
      • resistladder.gif
    3. ladder laser trimming
  4. 각형 몰딩(트랜스퍼/conformal), 포일 저항
    1. Keithley 2612B에서
      1. 750k
        1. 사진

          • 앞면

          • 뒷면

        2. 17/10/28 TCR 측정 데이터 엑셀 파일

          • 오븐 온도 프로파일

          • 온도-저항

          • 온도계수. 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.

      2. 30k, 30k, 150k 3개

        • 앞면

        • 뒷면

      3. 파랑 axial lead 타입 - 22.5K 및 40.0K 두 개
        • 2612b2main 033.jpg
    2. HP3458A DMM에서
      1. Voltage Reference에서
        • 3458a01 010.jpg
    3. Advantest R6551 5+1/2 DMM

      • 80k오옴

    4. HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)

      • 측정하니 1.000k오옴

  5. conformal coating 제품
    1. Dale 고압용 고저항
      1. Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
        1. TR 시리즈 데이터 시트 - 2p
        2. 사진1
          • 2612b2main 027.jpg
          • r hv01 001.jpg
          • r hv01 002.jpg
          • r hv01 003.jpg
        3. 측정 - 17/10/30 측정 엑셀 데이터
          • 4339b02 001.jpg

          • 4339B 계측기에서 잘 측정됨.

          • 주변에 사람이 어슬렁거리면 측정값이 변동이 발생된다.

    2. Takeda Riken(Advantest) TR-6150 - DC Voltage/Current Source
      • tr6150 017.jpg
    3. Koa
      1. MRP 시리즈
        1. datasheet - 2p
        2. Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
          • voac7513 05 004.jpg
          • sipr05 001.jpg
          • sipr05 002.jpg
          • sipr05 003.jpg
        3. Yokogawa 2533 RMS board에서
          • sip r pre01 001.jpg
          • sip r pre01 002.jpg
          • sip r pre01 003.jpg
          • sip r pre01 004.jpg
        4. Yokogawa 2533 RMS board에서
          • sip r pre02 001.jpg
          • sip r pre02 002.jpg
          • sip r pre02 003.jpg
          • sip r pre02 004.jpg
        5. (마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits),
          1. 17/11/15 +30ppm/'C 나온다.

            • 오븐 온도 프로파일

            • 90오옴 TCR = 0.00237/90 = +26ppm/'C

            • 9오옴 TCR = 0.000279/9 = +31ppm/'C

            • 90/9 저항비의 온도계수는 -5ppm/'C, 0~50도에서 최대 30ppm

          2. 메인보드에서

            • 어레이저항 RA5 GF5183

          3. 레이저 트리밍 방법

            • double plunge cut, serpentine cut, plunge cut-ladder resistor

            • r precision02 002.jpg
            • r precision02 003.jpg
          4. 레이저 트리밍 확대
            • r precision02 004.jpg
            • r precision02 005.jpg
            • r precision02 006.jpg
            • r precision02 007.jpg
            • r precision02 008.jpg
            • r precision02 009.jpg
            • r precision02 010.jpg
            • r precision02 011.jpg
    4. AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입
      1. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits)
        1. 메인보드에서

          • 듀얼저항

        2. A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
          1. 보드에서
            • voac7513 04 001.jpg
            • voac7513 04 002.jpg
          2. 외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k

            • 10k-10k 제품과 1.5k-11.5k 제품

            • 저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록

          3. 17/11/13 10k-10k 제품의 온도특성 측정 엑셀 데이터

            • 오븐 온도 프로파일

            • TCR=-0.9ppm/'C, -0.4ppm/C

            • 저항비 = 0.5ppm/'C, 0~50도 범위에서 30ppm 이내

          4. #1 내부구조
            • r precision01 001.jpg
            • r precision01 002.jpg
            • r precision01 003.jpg
            • r precision01 004.jpg
            • r precision01 005.jpg
            • r precision01 006.jpg
            • r precision01 007.jpg
            • r precision01 008.jpg
            • r precision01 009.jpg
          5. #2 - 발연질산에 넣어 녹여서 관찰. 금속포일을 붙여서 레이저 트리밍.
            • r precision03 001.jpg
            • r precision03 002.jpg
  6. 명확하게 알루미나 기판에
    1. Caddock
      1. Caddock 1776 데이터시트 - 2p
      2. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
        1. 메인보드에서

          • Caddock 1776-105

          • 에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음

          • 1차레이저-보호막-2차레이저

      3. Solartron Schlumberger 7060 DMM에서
        1. Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
          • 7060a01 055.jpg
        2. 외관
          • 7060a01 055 001.jpg

          • 레이저 천공

        3. 패턴

          • 이 상태에서 측정하니, 8.989M, 896.8k, 89.82k, 9.964k

          • 7060a01 055 004.jpg
        4. 저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍

          • 9M

          • 900k

          • 90k

          • 10k

        5. 900:90:9:1 저항비를 면적비로 측정함

          • 녹색 유리 보호막을 벗기고

          • 저항값과 면적비 계산

          • 9M 저항체 면적비 계산

          • 900k,90k,10k 저항체 면적비 계산

      4. Keithley 195A DMM
        • keithley195a 012.jpg
        • keithley195a 013.jpg
        • keithley195a 014.jpg
    2. DMM Fluke 8842에서,
      • dmm2 004.jpg
  7. Metal Can에서
    1. Alpha Electronics(AE 마킹)
      1. Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서

        • LM10CH, 96년산

        • 9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산

      2. Advantest R6551 5+1/2 DMM

        • , Ultra Precision Resistor (Hermetically Sealed), 40k-ohm,

    2. Vishay, ultra-high precision 데이터시트 - 4p
      1. HP3458A DMM에서
        • 3458a01 014.jpg
        • 3458a01 015.jpg

        • ultra-high precision

      2. 100오옴 - 백금저항 온도계용
        1. Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer

          • Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리

          • guildline9540 027.png
    3. axial
      1. DMM, HP 3456A

        • 30k +-0.02%, TC +-1ppm

  8. 반도체 IC 에서
    1. A/D Converter 에서
      1. multi-chip
        1. Yokogawa LR4110 펜레코더 입력보드 A/D 컨버터 칩에서
          • adc01 001.jpg
          • adc01 004.jpg
          • adc01 010.jpg
          • adc01 011.jpg
          • adc01 012.jpg
          • adc01 013.jpg
      2. 실리콘 one-chip에서
        1. AD574A, Complete 12-Bit A/D Converter with Reference and Clock, 35us Maximum Conversion Time
          1. 외관
            • e5501b04 040.jpg
          2. 내부
            • ad574a 002.jpg
          3. 칩
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            • 레이저 트리밍

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