2년, 219일, 16시간, 28분 - Togotech

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<li> [[DC전원공급기]](전류제한상태에서) + DMM에서 V, 1A이상 흘릴 수 있지만, 시편이 뜨거워지거나 스위치 접점이 망가질 수 있다.
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<li> [[소스미터]] - 많은 전류를 흘려줄 수 있어 저저항도 가능하므로 가장 최적이다.
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<li>4x4 매트릭스 스위치
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<li> [[3490xA]] 스위치카드로, 2020/11/25 배선함
 
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<li>금속 판 측정
 
<li>금속 판 측정
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<li>PCB 동박용
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<li>1/2 oz 동박두께는 ~17.5um (이 상태에서 마이크로미터로 측정하면 20um. 거칠기 및 산화막 때문에 두껍게 측정되는 듯)
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<li>1/2 oz 동박두께는 t=17.5um, Resistivity ρ= 1.72 uohm cm, 이론값 0.983mohm
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<li>동박-1
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<li>실험 사진
 
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image:van_der_pauw03_001.jpg | 1/2 oz/ft&2 (이론값 0.952mohm)
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<li>측정 데이터(모두 mohm)
 
<li>측정 데이터(모두 mohm)
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<li>R5,6,7,8 = 0.234, 0.219, 0.228, 0.224 평균=0.226
 
<li>R5,6,7,8 = 0.234, 0.219, 0.228, 0.224 평균=0.226
 
<li>면저항 = 0.981
 
<li>면저항 = 0.981
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<li>이론값 0.983 vs 측정값 0.981으로 거의 일치한다. (즉, 두께, 비저항, 측정방법 등에서 문제가 없다.)
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<li>동박-2
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<li>실험 사진
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image:van_der_pauw03_002.jpg | 0.924m오옴
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image:van_der_pauw03_003.jpg | 0.917m오옴
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image:van_der_pauw03_004.jpg | 0.903m오옴
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image:van_der_pauw03_005.jpg | 0.891m오옴
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<li>측정 데이터(모두 mohm)
 +
<ol>
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<li>0.284 0.289 0.286 0.285, 0.138 0.141 0.142 0.138, Rv=0.286, Rh=0.140, Rs=0.924
 +
<li>0.296 0.306 0.314 0.285, 0.129 0.130 0.146 0.112, Rv=0.300, Rh=0.129, Rs=0.917
 +
<li>0.370 0.357 0.367 0.358, 0.107 0.087 0.083 0.105, Rv=0.363, Rh=0.096, Rs=0.903
 +
<li>0.456 0.454 0.456 0.454, 0.072 0.055 0.068 0.059, Rv=0.455, Rh=0.064, Rs=0.891
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</ol>
 +
<li>낮은 전압이 검출되어 문제인듯.
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<li>0.1A 인가하므로 이 실험에서 최소 전압으로 ~5.9uV 검출된다.
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<li>전압이 낮을수록 오차가 커지는 듯.
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<li>저저항일 때는 1A 전류를 인가할 수 있도록 측정시스템을 개선하던지, 1kHz milicommeter를 사용하던지.(?)
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<li>2021/04/14
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<li>동판, 4코너 돌려가면서, 2번씩 측정
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<li>사진
 +
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image:van_der_pauw06_008.jpg | 35um 두께, 100x100mm 제품
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image:van_der_pauw06_009.jpg | 악어클립으로 4꼭지점 측정, 이 꼭지점을 회전시키면서 4번 측정
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<li>Rs 측정 엑셀 데이터
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image:van_der_pauw06_009_001.png | 0.58m오옴 나온다. 이론값이 0.49m. 그러므로 18% 높게 나온다.
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<li>저항박막
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<li>10% 재료에서
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<li>임시 치구에서
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<li>측정 사진
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image:van_der_pauw04_001.jpg
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image:van_der_pauw04_002.jpg
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<li>측정 데이터(모두 ohm)
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<li>R1,2,3,4 = 0.936, 0.935, 0.936, 0.936 평균=0.936
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<li>R5,6,7,8 = 0.952, 0.953, 0.952, 0.953 평균=0.952
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<li>면저항 = 4.278
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 +
<li>바늘로 잘 찍어서
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<li>측정 사진
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image:van_der_pauw04_003.jpg
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image:van_der_pauw04_004.jpg
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 +
<li>측정 데이터(모두 ohm)
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<ol>
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<li>0.908 0.909 0.909 0.907, 0.984 0.979 0.984 0.979, Rv=0.908, Rh=0.982, Rs=4.280
 +
</ol>
 +
</ol>
 +
<li>임시치구 4.278오옴/sq, 바늘치구 4.280오옴/sq이므로, 두 측정방법에 큰 차이가 없다.
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</ol>
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<li> [[LG-SD1250]] 2003년 3월 제조품 핸드폰에 사용된, Epcos IF SAW 필터 (Epcos B7104, 9.0x5.0mm) 다이 뒷면
 +
<ol>
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<li>측정 사진
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image:lg_sd1250_031.jpg | 토치로 가열 후 변색. 다이 뒷면에 금속코팅되어 있다.
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image:van_der_pauw05_001.jpg | 다이크기 8180 x 4150um
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<li>측정 데이터(모두 ohm)
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<ol>
 +
<li>사진 방향: 3.433 3.416 3.413 3.440 0.026 0.026 0.026 0.026 Rv=3.426 Rh=0.026 Rs=2.983
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<li>다음날 90도 돌려서: 0.019 0.026 0.022 0.024 3.236 3.238 3.238 3.236 Rv=0.023 Rh=3.237 Rs=2.775
 +
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<li>약 3오옴이라면 Ti 비저항 420nohm.m에서는 0.14um, Nichrome 비저항 1000nohm.m에서는 0.3um 두께이다.
 
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<li> [[TEG]]
 +
<ol>
 +
<li> Tektronix [[TDS460A]] 오실로스코프에서
 +
<ol>
 +
<li>MAXIM, Tek Part No. 155-0378-01
 +
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image:tds460a01_076.jpg
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image:tds460a01_081.jpg | 다이 왼쪽에서 면적의 약 10%차지하고 있음
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image:tds460a01_084.jpg
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<li> [[TR6878]] DMM 정밀저항기에서
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image:tr6878_026_007.jpg | [[van der Pauw]] 면저항 측정 패턴 3가지
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2022년 4월 16일 (토) 22:30 기준 최신판

van der Pauw

  1. 전자부품
    1. 계측기-측정기
      1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
        1. van der Pauw - 이 페이지
          1. - 고객 유료 분석, 비공개
    2. 참고
      1. 프루브카드
  2. 기술조사
    1. 4PP에 대해서
      1. Rs 계산은 Newton-Raphson 수치해석으로 한다.
        • van der pauw00 001.png
      2. 측정 프로그램 34970vdp-ibw.txt
  3. 측정기
    1. 저저항측정기
    2. DMM 4-wire ohm
    3. HP 3245A DC current source(최대 0.1A) + DMM에서 V
      1. DC전원공급기(전류제한상태에서) + DMM에서 V, 1A이상 흘릴 수 있지만, 시편이 뜨거워지거나 스위치 접점이 망가질 수 있다.
    4. 소스미터 - 많은 전류를 흘려줄 수 있어 저저항도 가능하므로 가장 최적이다.
  4. 4x4 매트릭스 스위치
    1. 사용품
      1. HP 3488/3499용 카드인, 4447xA에서
        1. 44473A
    2. 제작
      1. 3490xA 스위치카드로, 2020/11/25 배선함
        • 34903 01 001.jpg
        • 34903 01 002.jpg
        • 34903 01 003.jpg
  5. 금속 판 측정
    1. 구리합금 판 측정 - 2020/11/25
      1. 0.1A 인가하고, HP 3458A DMM에서 NPLC=100으로 전압을 측정. (스위칭하면서 배선 8가지 측정) 그리고 이를 10번 반복해서 평균함.

        • 끝으로 1.31mohm

        • 완전히 모서리에 1.32mohm

        • 잘라내고 1.32mohm

        • 납땜 위치 안쪽으로 1.30mohm

      2. 4pp 방법. 0.1A 가하고 전압측정

        • 0.351 x 4.53236(Van der Pauw constant=pi/ln2) x 0.92(형상팩터) = 1.46mohm

    2. 더 얇은 구리합금/은도금 판 측정 - 2020/11/26
      1. 0.1A 인가하고, HP 3458A DMM에서 NPLC=10으로 전압을 측정. (스위칭하면서 배선 8가지 측정)
        • van der pauw02 001.jpg
        • van der pauw02 002.jpg
        • van der pauw02 003.jpg

        • 2.29 2.23 2.25 2.27m오옴 측정됨

        • 2.27m오옴 측정됨. 4개선은 반드시 순서대로 (4점 무게중심에서)회전해야 한다.

    3. 유기물기판 PCB 동박용
      1. 1/2 oz 동박두께는 t=17.5um, Resistivity ρ= 1.72 uohm cm, 이론값 0.983mohm
      2. 동박-1
        1. 실험 사진
          • van der pauw03 001.jpg
        2. 측정 데이터(모두 mohm)
          1. R1,2,3,4 = 0.209, 0.205, 0.204, 0.209 평균=0.207
          2. R5,6,7,8 = 0.234, 0.219, 0.228, 0.224 평균=0.226
          3. 면저항 = 0.981
        3. 이론값 0.983 vs 측정값 0.981으로 거의 일치한다. (즉, 두께, 비저항, 측정방법 등에서 문제가 없다.)
      3. 동박-2
        1. 실험 사진

          • 0.924m오옴

          • 0.917m오옴

          • 0.903m오옴

          • 0.891m오옴

        2. 측정 데이터(모두 mohm)
          1. 0.284 0.289 0.286 0.285, 0.138 0.141 0.142 0.138, Rv=0.286, Rh=0.140, Rs=0.924
          2. 0.296 0.306 0.314 0.285, 0.129 0.130 0.146 0.112, Rv=0.300, Rh=0.129, Rs=0.917
          3. 0.370 0.357 0.367 0.358, 0.107 0.087 0.083 0.105, Rv=0.363, Rh=0.096, Rs=0.903
          4. 0.456 0.454 0.456 0.454, 0.072 0.055 0.068 0.059, Rv=0.455, Rh=0.064, Rs=0.891
        3. 낮은 전압이 검출되어 문제인듯.
          1. 0.1A 인가하므로 이 실험에서 최소 전압으로 ~5.9uV 검출된다.
          2. 전압이 낮을수록 오차가 커지는 듯.
          3. 저저항일 때는 1A 전류를 인가할 수 있도록 측정시스템을 개선하던지, 1kHz milicommeter를 사용하던지.(?)
    4. 2021/04/14
      1. 동판, 4코너 돌려가면서, 2번씩 측정
        1. 사진
          • van der pauw06 008.jpg

            35um 두께, 100x100mm 제품

          • van der pauw06 009.jpg

            악어클립으로 4꼭지점 측정, 이 꼭지점을 회전시키면서 4번 측정

        2. Rs 측정 엑셀 데이터
          • van der pauw06 009 001.png

            0.58m오옴 나온다. 이론값이 0.49m. 그러므로 18% 높게 나온다.

  6. 저항박막
    1. 10% 재료에서
      1. 임시 치구에서
        1. 측정 사진
          • van der pauw04 001.jpg
          • van der pauw04 002.jpg
        2. 측정 데이터(모두 ohm)
          1. R1,2,3,4 = 0.936, 0.935, 0.936, 0.936 평균=0.936
          2. R5,6,7,8 = 0.952, 0.953, 0.952, 0.953 평균=0.952
          3. 면저항 = 4.278
      2. 바늘로 잘 찍어서
        1. 측정 사진
          • van der pauw04 003.jpg
          • van der pauw04 004.jpg
        2. 측정 데이터(모두 ohm)
          1. 0.908 0.909 0.909 0.907, 0.984 0.979 0.984 0.979, Rv=0.908, Rh=0.982, Rs=4.280
      3. 임시치구 4.278오옴/sq, 바늘치구 4.280오옴/sq이므로, 두 측정방법에 큰 차이가 없다.
    2. LG-SD1250 2003년 3월 제조품 핸드폰에 사용된, Epcos IF SAW 필터 (Epcos B7104, 9.0x5.0mm) 다이 뒷면
      1. 측정 사진

        • 토치로 가열 후 변색. 다이 뒷면에 금속코팅되어 있다.

        • 다이크기 8180 x 4150um

      2. 측정 데이터(모두 ohm)
        1. 사진 방향: 3.433 3.416 3.413 3.440 0.026 0.026 0.026 0.026 Rv=3.426 Rh=0.026 Rs=2.983
        2. 다음날 90도 돌려서: 0.019 0.026 0.022 0.024 3.236 3.238 3.238 3.236 Rv=0.023 Rh=3.237 Rs=2.775
      3. 약 3오옴이라면 Ti 비저항 420nohm.m에서는 0.14um, Nichrome 비저항 1000nohm.m에서는 0.3um 두께이다.
  7. 홀소자 측정
    1. 2020/11/26

      • 354,364,362,363,362오옴 측정됨.

  8. 카본 잉크R 면저항 측정
    1. 유선전화기 에서
      1. 사진
        • telephone01 020.jpg
      2. 칼로 슬롯을 가공한 후, van der Pauw 측정
        • telephone01 021.jpg
      3. 측정결과 - (이 샘플처럼 길게 형성되면 수직,수평 저항비는 1:4700 로 오차에 영향을 줄까?)
        1. R1,2,3,4 = 6.06, 5.69, 5.79, 6.08 mohm
        2. R5,6,7,8 = 27.8629, 27.8621, 27.8625, 27.8624 ohm
        3. R_vertical = 5.91 mohm
        4. R_horizontal = 27.8625 ohm
        5. Rs = 19.22 ohm
      4. 다른 저항을 4-와이어 저항 측정

        • 폭:길이=1:3

        • 37오옴. 그러면 Rs=37/3=12오옴. (참조) 앞에서 van des pauw 방법은 19오옴

  9. TEG
    1. Tektronix TDS460A 오실로스코프에서
      1. MAXIM, Tek Part No. 155-0378-01
        • tds460a01 076.jpg

        • 다이 왼쪽에서 면적의 약 10%차지하고 있음

        • tds460a01 084.jpg
    2. TR6878 DMM 정밀저항기에서
원본 주소 "http://www.togotech.co.kr/index.php?title=Van_der_Pauw&oldid=56530"