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<li>KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영 | <li>KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영 | ||
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image:4pp-fix01-001.jpg | image:4pp-fix01-001.jpg | ||
− | image:4pp-fix01-002.jpg | + | image:4pp-fix01-002.jpg | 간격 2.54mm |
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image:4pp-fix01-004.jpg | image:4pp-fix01-004.jpg | ||
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+ | <li> [[차폐 테이프]] | ||
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+ | image:shielding_tape01_006.jpg | [[4PP]] 치구 핀 간격에서 저항은 0.024Ω을 보인다. | ||
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<li>스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다. | <li>스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다. | ||
+ | <li>2020/10/28 스프링 핀 3개 추가 구입함. | ||
+ | <li>2020/11/02 종래 1개 + 신규 구입핀 3개 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:4pp3_013.jpg | ||
+ | image:4pp3_014.jpg | ||
+ | image:4pp3_015.jpg | ||
+ | image:4pp3_016.jpg | ||
+ | image:4pp3_017.jpg | 약 1.5오옴 측정됨. 문제없음. | ||
+ | image:4pp3_018.jpg | 시편 밑에 종이 4장을 깔고 측정함. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>20/11/02 TCR-02 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정 | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>2020/12/10 6인치 웨이퍼용 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:4pp_fix02_001.jpg | ||
+ | image:4pp_fix02_002.jpg | ||
+ | image:4pp_fix02_003.jpg | ||
+ | image:4pp_fix02_004.jpg | ||
+ | image:4pp_fix02_005.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>2020/12/10 손으로 잡고 사용하는 측정 치구 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li>2.54mm 피치, 6-핀 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:4pp_fix03_001.jpg | ||
+ | image:4pp_fix03_002.jpg | ||
+ | image:4pp_fix03_003.jpg | 홀 가공된 PCB 두 장을 사용하여 핀을 평행하게 유지하고 있다. | ||
+ | image:4pp_fix03_004.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>1.27mm 및 2.54mm 피치, 2열 6-핀 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:4pp_fix04_001.jpg | 오른쪽 두 개가 2020/12/31 도착 | ||
+ | image:4pp_fix04_002.jpg | ||
+ | image:4pp_fix04_003.jpg | 1.27mm | ||
+ | image:4pp_fix04_004.jpg | 1.27mm | ||
+ | image:4pp_fix04_005.jpg | 1.27mm | ||
+ | image:4pp_fix04_006.jpg | 같이 동봉된 불량 드라이버 | ||
+ | </gallery> | ||
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</ol> | </ol> | ||
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image:pin01_009.jpg | 직경 400um | image:pin01_009.jpg | 직경 400um | ||
image:pin01_010.jpg | image:pin01_010.jpg | ||
− | image:pin01_011.jpg | | + | image:pin01_011.jpg | [[탄화텅스텐]] 재질이다 |
image:pin01_012.jpg | image:pin01_012.jpg | ||
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image:pin02_004.jpg | image:pin02_004.jpg | ||
image:pin02_005.jpg | 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨. | image:pin02_005.jpg | 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음. | ||
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+ | image:pin05_001.jpg | 팁 R이 확실한 원형 | ||
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image:pin04_002.jpg | 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후 | image:pin04_002.jpg | 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후 | ||
image:pin04_003.jpg | 뽑는다 | image:pin04_003.jpg | 뽑는다 | ||
− | image:pin04_004.jpg | 90도 돌리면 고정 | + | image:pin04_004.jpg | 90도 돌리면 고정 스크루가 있다. |
image:pin04_005.jpg | 마개를 힘들게 뽑아야한다 | image:pin04_005.jpg | 마개를 힘들게 뽑아야한다 | ||
− | image:pin04_006.jpg | 4개 소형 | + | image:pin04_006.jpg | 4개 소형 스크루 풀고 |
− | image:pin04_007.jpg | 2개의 | + | image:pin04_007.jpg | 2개의 스크루 풀면 |
image:pin04_008.jpg | 스프링 4개를 볼 수 있다. | image:pin04_008.jpg | 스프링 4개를 볼 수 있다. | ||
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<gallery> | <gallery> | ||
image:pin04_012.jpg | 외경이 0.38mm 핀이 필요하다. | image:pin04_012.jpg | 외경이 0.38mm 핀이 필요하다. | ||
+ | </gallery> | ||
+ | <li>19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음. | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:pin06_001.jpg | 팁 R이 원형가공되어 있지 않다. | ||
+ | image:pin06_002.jpg | ||
+ | image:pin06_003.jpg | ||
+ | image:pin06_004.jpg | GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20m오옴으로 차이는 거의 없음. | ||
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image:pin03_002.jpg | image:pin03_002.jpg | ||
image:pin03_003.jpg | image:pin03_003.jpg | ||
+ | </gallery> | ||
+ | </ol> | ||
+ | <li>참고 | ||
+ | <ol> | ||
+ | <li> Yokogawa [[LR4110]] 펜레코더에 있는 [[도트매트릭스 프린터]]에서 | ||
+ | <gallery> | ||
+ | image:dot_matrix_head1_017.jpg | ||
+ | image:dot_matrix_head1_018.jpg | ||
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2024년 1월 2일 (화) 22:21 기준 최신판
4포인트프루브, 4 point probe(4PP)
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- KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
- Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
- 헤드 외관
- 헤드 분해
- 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
- 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
- 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
- TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
- 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
- Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
- KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
- 수작업 측정 치구
- 15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
- 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
- 15/11/07 측정 치구 설명
- 100x100mm 크기의 기판에서.
- 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.
- 위쪽
- 케이블링
- 15/11/07 측정 치구 설명
- 18/08/06 500도씨 치구 관련
- 18/08/27
- 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
- 18/09/17 - 니켈100% 전선
- 18/09/17 - 측정 시료
- 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
- 18/09/28 - 500도 열처리하니
- 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
- 2020/10/28 스프링 핀 3개 추가 구입함.
- 2020/11/02 종래 1개 + 신규 구입핀 3개
- 20/11/02 TCR-02 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
- 18/08/27
- 2020/12/10 6인치 웨이퍼용
- 누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다.
- 누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다.
- 2020/12/10 손으로 잡고 사용하는 측정 치구
- 2.54mm 피치, 6-핀
- 1.27mm 및 2.54mm 피치, 2열 6-핀
- 2.54mm 피치, 6-핀
- 바늘
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
- 프루브 #1
- 15/01/06
탄화텅스텐 재질이다
- 15/01/11 MT에서 만든 핀
- 19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
- 15/01/06
- 프루브 #2 - 2019/06/28
- 분해 방법, 순서
- 프루브 팁
- #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.
- 19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
- 분해 방법, 순서
- 프루브 #1
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
- 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
- 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
- 참고
- Yokogawa LR4110 펜레코더에 있는 도트매트릭스 프린터에서
- Yokogawa LR4110 펜레코더에 있는 도트매트릭스 프린터에서
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm