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2023년 2월 17일 (금) 14:50 기준 최신판

진공펌프

  1. 전자부품
    1. 압력
      1. 진공
        1. 진공펌프 - 이 페이지
          1. DA-60D 진공펌프
          2. DAL-10S 진공펌프
        2. 진공포장기
      2. 참고
        1. 압력계
        2. 액체 펌프, 액체 밸브
  2. 진공 펌프
    1. TMP
      1. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Turbomolecular_pump
        1. 2만~9만 rpm으로 회전한다.
      2. Pfeiffer Vacuum 기술문서
        1. 03/09/05 - 44p
        2. 97814 B173-12-8F-SP2-M134 0025 라고 잉크젯 인쇄된 (Amphenol, Hermetic)cicular connector 사용
      3. 사진
        • tmp1 001.jpg
        • tmp1 002.jpg
        • tmp1 003.jpg

        • 베어링 윤활구멍

        • 세라믹 베어링

        • BLDC 모터용 고정자 코일

        • 회전자 영구자석

    2. Rotary Vane Pump
      1. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Rotary_vane_pump
      2. 그림

        • Ulvac 카탈로그에서

      3. 발견
        1. 산타페 발전기
          1. 구조
            • generator01 002.jpg
            • generator01 003.jpg
            • generator01 004.jpg
          2. 회전자(rotor)가 회전하면 원심력에 의해 항상 밖으로 미끄러지면서 밀려나는 4장의 날개(vane, blade)가 있다.
            • generator01 005.jpg

            • 4개 날개 중 어느 하나. 깎아보니 카본이다.

            • 그래서 4PP 저항을 측정하니, 1.7mohm으로 카본 맞다.

    3. Diaphragm Type
      1. 위키페디아
        1. https://en.wikipedia.org/wiki/Diaphragm_pump
            공기가 흡입과 배출이 대칭이므로 공기압축기(Air compressors)로도 사용이 가능하다.
        2. https://en.wikipedia.org/wiki/Reciprocating_motion
      2. 그림

        • Ulvac 카탈로그에서

        • Ulvac 카탈로그에서

      3. DA-60D 진공펌프
      4. DAL-10S 진공펌프
      5. electromagnetic air pump
        1. 진공포장기에서, Aquarium Air Pump,
          1. 전체
            • vacuum packing machine01 003.jpg
            • vacuum packing machine01 005.jpg
          2. 60Hz 전자석
            • vacuum packing machine01 007.jpg
            • vacuum packing machine01 008.jpg
            • vacuum packing machine01 009.jpg

            • E-shaped soft iron core

          3. 진공펌프
            • vacuum packing machine01 011.jpg
            • vacuum packing machine01 012.jpg
            • vacuum packing machine01 013.jpg
            • vacuum packing machine01 014.jpg
            • vacuum packing machine01 015.jpg
    4. 구분 안됨
      1. FLUKE 983 particle counter에서
        • fluke983 01 010.jpg
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