2년, 219일, 21시간, 39분 - Togotech

"Van der Pauw"의 두 판 사이의 차이
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<li> [[저저항측정기]]
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<li> [[DMM]] 4-wire ohm
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<li> HP [[3245A]] DC current source(최대 0.1A) + DMM에서 V
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<li> [[DC전원공급기]](전류제한상태에서) + DMM에서 V, 1A이상 흘릴 수 있지만, 시편이 뜨거워지거나 스위치 접점이 망가질 수 있다.
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<li> [[소스미터]] - 많은 전류를 흘려줄 수 있어 저저항도 가능하므로 가장 최적이다.
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<li>4x4 매트릭스 스위치
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<li>HP 3488/3499용 카드인, [[4447xA]]에서
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<li> [[3490xA]] 스위치카드로, 2020/11/25 배선함
 
<li> [[3490xA]] 스위치카드로, 2020/11/25 배선함
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<li>금속 판 측정
 
<li>금속 판 측정
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<li>PCB 동박용
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<li>[[유기물기판]] PCB 동박용
 
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<li>1/2 oz 동박두께는 ~17.5um (이 상태에서 마이크로미터로 측정하면 20um. 거칠기 및 산화막 때문에 두껍게 측정되는 듯)
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<li>1/2 oz 동박두께는 t=17.5um, Resistivity ρ= 1.72 uohm cm
 
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image:van_der_pauw03_001.jpg | 1/2 oz/ft&2 (이론값 0.952mohm)
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image:van_der_pauw03_001.jpg | 이론값 0.983mohm
 
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<li>측정 데이터(모두 mohm)
 
<li>측정 데이터(모두 mohm)
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<li>R5,6,7,8 = 0.234, 0.219, 0.228, 0.224 평균=0.226
 
<li>R5,6,7,8 = 0.234, 0.219, 0.228, 0.224 평균=0.226
 
<li>면저항 = 0.981
 
<li>면저항 = 0.981
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<li>이론값 0.983 vs 측정값 0.981으로 거의 일치한다. (즉, 두께, 비저항, 측정방법 등에서 문제가 없다.)
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<li>저항박막
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<li>어떤 재료
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<li>10% 재료에서
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image:van_der_pauw04_001.jpg
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<li>측정 데이터(모두 ohm)
 +
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<li>R1,2,3,4 = 0.936, 0.935, 0.936, 0.936 평균=0.936
 +
<li>R5,6,7,8 = 0.952, 0.953, 0.952, 0.953 평균=0.952
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<li>면저항 = 4.278
 
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image:telephone01_023.jpg | 37오옴. 그러면 Rs=37/3=12오옴. (참조) 앞에서 van des pauw 방법은 19오옴
 
image:telephone01_023.jpg | 37오옴. 그러면 Rs=37/3=12오옴. (참조) 앞에서 van des pauw 방법은 19오옴
 
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<li> [[TEG]]
 +
<ol>
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<li> Tektronix [[TDS460A]] 오실로스코프에서
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<li>MAXIM, Tek Part No. 155-0378-01
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image:tds460a01_076.jpg
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image:tds460a01_081.jpg | 다이 왼쪽에서 면적의 약 10%차지하고 있음
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image:tds460a01_084.jpg
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[[van der Pauw]] 패턴
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2020년 12월 1일 (화) 11:03 판

van der Pauw

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 4PP
        1. van der Pauw - 이 페이지
  2. 기술조사
    1. 4PP에 대해서
      1. Rs 계산은 Newton-Raphson 수치해석으로 한다.
        • van der pauw00 001.png
      2. 측정 프로그램 34970vdp-ibw.txt
  3. 측정기
    1. 저저항측정기
    2. DMM 4-wire ohm
    3. HP 3245A DC current source(최대 0.1A) + DMM에서 V
      1. DC전원공급기(전류제한상태에서) + DMM에서 V, 1A이상 흘릴 수 있지만, 시편이 뜨거워지거나 스위치 접점이 망가질 수 있다.
    4. 소스미터 - 많은 전류를 흘려줄 수 있어 저저항도 가능하므로 가장 최적이다.
  4. 4x4 매트릭스 스위치
    1. 사용품
      1. HP 3488/3499용 카드인, 4447xA에서
        1. 44473A
    2. 제작
      1. 3490xA 스위치카드로, 2020/11/25 배선함
        • 34903 01 001.jpg
        • 34903 01 002.jpg
        • 34903 01 003.jpg
  5. 금속 판 측정
    1. 구리합금 판 측정 - 2020/11/25
      1. 0.1A 인가하고, HP 3458A DMM에서 NPLC=100으로 전압을 측정. (스위칭하면서 배선 8가지 측정) 그리고 이를 10번 반복해서 평균함.

        • 끝으로 1.31mohm

        • 완전히 모서리에 1.32mohm

        • 잘라내고 1.32mohm

        • 납땜 위치 안쪽으로 1.30mohm

      2. 4pp 방법. 0.1A 가하고 전압측정

        • 0.351 x 4.53236(Van der Pauw constant=pi/ln2) x 0.92(형상팩터) = 1.46mohm

    2. 더 얇은 구리합금/은도금 판 측정 - 2020/11/26
      1. 0.1A 인가하고, HP 3458A DMM에서 NPLC=10으로 전압을 측정. (스위칭하면서 배선 8가지 측정)
        • van der pauw02 001.jpg
        • van der pauw02 002.jpg
        • van der pauw02 003.jpg

        • 2.29 2.23 2.25 2.27m오옴 측정됨

        • 2.27m오옴 측정됨. 4개선은 반드시 순서대로 (4점 무게중심에서)회전해야 한다.

    3. 유기물기판 PCB 동박용
      1. 1/2 oz 동박두께는 t=17.5um, Resistivity ρ= 1.72 uohm cm

        • 이론값 0.983mohm

      2. 측정 데이터(모두 mohm)
        1. R1,2,3,4 = 0.209, 0.205, 0.204, 0.209 평균=0.207
        2. R5,6,7,8 = 0.234, 0.219, 0.228, 0.224 평균=0.226
        3. 면저항 = 0.981
      3. 이론값 0.983 vs 측정값 0.981으로 거의 일치한다. (즉, 두께, 비저항, 측정방법 등에서 문제가 없다.)
  6. 저항박막
    1. 어떤 재료
      1. 10% 재료에서
        • van der pauw04 001.jpg
        • van der pauw04 002.jpg
      2. 측정 데이터(모두 ohm)
        1. R1,2,3,4 = 0.936, 0.935, 0.936, 0.936 평균=0.936
        2. R5,6,7,8 = 0.952, 0.953, 0.952, 0.953 평균=0.952
        3. 면저항 = 4.278
  7. 홀소자 측정
    1. 2020/11/26

      • 354,364,362,363,362오옴 측정됨.

  8. 카본 잉크R 면저항 측정
    1. 유선전화기 에서
      1. 사진
        • telephone01 020.jpg
      2. 칼로 슬롯을 가공한 후, van der Pauw 측정
        • telephone01 021.jpg
      3. 측정결과 - (이 샘플처럼 길게 형성되면 수직,수평 저항비는 1:4700 로 오차에 영향을 줄까?)
        1. R1,2,3,4 = 6.06, 5.69, 5.79, 6.08 mohm
        2. R5,6,7,8 = 27.8629, 27.8621, 27.8625, 27.8624 ohm
        3. R_vertical = 5.91 mohm
        4. R_horizontal = 27.8625 ohm
        5. Rs = 19.22 ohm
      4. 다른 저항을 4-와이어 저항 측정

        • 폭:길이=1:3

        • 37오옴. 그러면 Rs=37/3=12오옴. (참조) 앞에서 van des pauw 방법은 19오옴

  9. TEG
    1. Tektronix TDS460A 오실로스코프에서
      1. MAXIM, Tek Part No. 155-0378-01 <gallery> image:tds460a01_076.jpg image:tds460a01_081.jpg | 다이 왼쪽에서 면적의 약 10%차지하고 있음 image:tds460a01_084.jpg van der Pauw 패턴
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