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2022년 4월 17일 (일) 20:34 판
4포인트프루브, 4 point probe(4PP)
- 전자부품
- 계측기-측정기
- 표면저항 측정기, 면저항 측정기
- 4PP, FPP , Four-Point Probe, 4-Point Probe - 이 페이지
- 배가 FPP-2400
- 창민 SR2000
- CDE ResMap 178
- SRM-232
- 4PP, FPP , Four-Point Probe, 4-Point Probe - 이 페이지
- 표면저항 측정기, 면저항 측정기
- 참조
- 포고핀 - 이 페이지
- 계측기-측정기
- 기술조사
- 4PP에 대해서
- 실드 코팅
- 기술자료
- - 4p
- - 17p
- 측정 예
- 관련 회사
- 헤드 어셈블리
- KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
- Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
- 헤드 외관
- 헤드 분해
- 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
- 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
- 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
- TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
- 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
- Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
- KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
- 수작업 측정 치구
- 15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
- 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
- 15/11/07 측정 치구 설명
- 100x100mm 크기의 기판에서.
- 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.
- 위쪽
- 케이블링
- 15/11/07 측정 치구 설명
- 18/08/06 500도씨 치구 관련
- 18/08/27
- 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
- 18/09/17 - 니켈100% 전선
- 18/09/17 - 측정 시료
- 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
- 18/09/28 - 500도 열처리하니
- 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
- 2020/10/28 스프링 핀 3개 추가 구입함.
- 2020/11/02 종래 1개 + 신규 구입핀 3개
- 20/11/02 TCR-02 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
- 18/08/27
- 2020/12/10 6인치 웨이퍼용
- 누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다.
- 누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다.
- 2020/12/10 손으로 잡고 사용하는 측정 치구
- 2.54mm 피치, 6-핀
- 1.27mm 및 2.54mm 피치, 2열 6-핀
- 2.54mm 피치, 6-핀
- 바늘
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
- 프루브 #1
- 15/01/06
- 15/01/11 MT에서 만든 핀
- 19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
- 15/01/06
- 프루브 #2 - 2019/06/28
- 분해 방법, 순서
- 프루브 팁
- #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.
- 19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
- 분해 방법, 순서
- 프루브 #1
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
- 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
- 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
- 참고
- Yokogawa LR4110 펜레코더에 있는 도트매트릭스 프린터에서
- Yokogawa LR4110 펜레코더에 있는 도트매트릭스 프린터에서
- BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm