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<li>위키페디아 Anti-aliasing https://en.wikipedia.org/wiki/Anti-aliasing
 
<li>위키페디아 Anti-aliasing https://en.wikipedia.org/wiki/Anti-aliasing
 
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<li>Patterned Floating Dummy Fill
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<li> [[안티에일리어싱]]위해서
<ol>
 
<li>용어
 
<ol>
 
<li>이런 패턴을 fills, dummies 또는 waffles 이라고 부른다.
 
<li>fill synthesis = dummy tile insertion = waffling 작업한다고 한다.
 
</ol>
 
<li>설명
 
<ol>
 
<li>fill 패턴이라고 한다. 다양한 fill shape가 있다. dummy metal fill
 
<li>모든 레이어에 적용한다. 가장 영향을 많이 받는 metal layer 뿐만 아니라, poly, diffusion, via layer 모두 사용한다.
 
<li>정전용량이 증가하므로 이를 줄이는 방법이 필요하다.
 
</ol>
 
<li>설명
 
<ol>
 
<li>포토마스크를 통과하는 노광빛 균형을 맞출 수 있다.
 
<li>마찬가지로 식각의 균일성을 높일 수 있다.
 
<li>웨이퍼 표면을 평평하게 하기 위해서 추가되는 공정인 CMP 에서, 금속층 밀도를 균일하게 해야하기 위해서
 
<ol>
 
<li>아무런 전기적 기능이 없다. nonfunctional geometric shape = dummy fill structure
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>형태
 
<ol>
 
<li>arrayed fill
 
<ol>
 
<li>정사각형을 직교좌표와 평행하게 배열
 
</ol>
 
<li>staggered fill = offset fill
 
<ol>
 
<li>정사각형을 직교좌표에서 경사지게 배열 - 이 방법을 가장 많이 사용한다.
 
<li>위로 지나가는 와이어에 대해 커플링되는 정전용량이 예측가능하다.(안티에일리어싱) *******************
 
<li>포토마스크 만들 때 쓰기작업(전자빔 또는 레이저 노광)할 때 일정한 작업 싸이클(ON-OFF 되는 시간비)갖는다.(uniform duty cycle)
 
<li>웨이퍼 공정작업 때 전단응력(shear stress)를 줄여준다.
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>발견
 
 
<ol>
 
<ol>
 
<li>2020 삼성 갤럭시 A51 [[SM-A516N]] 휴대폰
 
<li>2020 삼성 갤럭시 A51 [[SM-A516N]] 휴대폰
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image:sm_a516n_020.jpg
 
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<li>[[WiFi모듈]] 속 RF-IC에서
 
<ol>
 
<li>RF 패턴 주변에는 금속막이 없어야 한다. 빈 영역은 staggered fill 작업이 되어 있다. [[안티에일리어싱]] 참조.
 
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image:sm_a516n_071_002.jpg | S5N5 C20X00
 
image:sm_a516n_071_001.jpg | 화살표 2군데 확대하면
 
image:sm_a516n_071_003.jpg | [[박막형 RF용 인덕터]] 표면위로 점퍼
 
image:sm_a516n_071_004.jpg | [[박막형 RF용 인덕터]] 밑으로 점퍼.
 
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2022년 11월 21일 (월) 12:01 기준 최신판

안티에일리어싱

  1. 전자부품
    1. 기술
      1. 웨이퍼
      2. 포토마스크
        1. 안티에일리어싱 - 이 페이지
      3. 참조
        1. 더미 필 패턴
  2. 기술
    1. 나무위키 안티에일리어싱 https://namu.wiki/w/%EC%95%88%ED%8B%B0%EC%97%90%EC%9D%BC%EB%A6%AC%EC%96%B4%EC%8B%B1
    2. 위키페디아 Anti-aliasing https://en.wikipedia.org/wiki/Anti-aliasing
  3. 안티에일리어싱을 위해서
    1. 2020 삼성 갤럭시 A51 SM-A516N 휴대폰
      1. under-display fingerprint sensor, 광학식 지문센서에서. 직교좌표로 형성된 OLED 패턴과 이 지문센서 패턴간 aliasing 현상이 일어나므로