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"정전용량 프루빙"의 두 판 사이의 차이

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2024년 4월 24일 (수) 11:02 기준 최신판

정전용량 프루빙

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 프루버
        1. 정전용량 프루빙 - 이 페이지
  2. 기술
    1. 주로, interdigitated electrode capacitor에 대해서 측정한다.
      1. 대표적인 예가 IDT C 이다.
    2. 웨이퍼 척에 형성된 진공구멍이 측정값에 영향을 준다.
      1. 웨이퍼 밑에 천공된 금속판을 놓고

        • 척 표면 사진

        • 100mm 웨이퍼 밑에 평탄한 금속 접지판을 올려놓은 효과를 갖는다.

      2. 금속판을 올려놓기 전과 후

        • 전

        • 후

  3. 측정
    1. 2022/04/30, 4인치, 8965개, 1.0x0.8mm 다이
      1. Cp//Rp 측정 동영상
      2. LCR-4284A 계측기(1MHz 1Vosc)에서 Cp/Rp 측정 데이터

        • Cp

        • Rp

      3. 참고: Agilent 4339B 계측기로 측정한, IR 측정 데이터

        • 10GΩ근처값을 보인다.

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