천공 perforation
LTCC는 레이저천공, 에폭시는 half-cut
2020/06/19
레이저 천공
레이저 천공된 알루미나 기판에 뚜껑이 붙어 있다.
뚜껑은 실드용 EMI 도전성 접착제 가스켓으로 붙어 있다.
마킹 재료는 수지 잉크
긁어낸 보호막 재료는 검정 수지
laser perforation pitch = 10um
뒤쪽 레이저 half 천공 + 앞면 roller scribe?
150mm(6인치) 웨이퍼 외곽에 맞게 가위로 잘라
220x220mm 면적인듯
피치 0.5x0.5mm
넓은 쪽 직경 ~140um 좁은 쪽 ~85um. 구멍은 깔대기모양을 갖는다.
좁은 쪽
프루버 150mm 척 위에 올려놓고
100mm 웨이퍼를 올려놓은 후