Van der Pauw

van der Pauw

링크
1. 전자부품
  1. 4PP
    1. van der Pauw - 이 페이지
기술조사
1. 4PP에 대해서
2. 1. Rs 계산은 Newton-Raphson 수치해석으로 한다.
  2. 측정 프로그램 34970vdp-ibw.txt
측정기
1. 저저항측정기
2. DMM 4-wire ohm
3. HP 3245A DC current source(최대 0.1A) + DMM에서 V
  1. DC전원공급기(전류제한상태에서) + DMM에서 V, 1A이상 흘릴 수 있지만, 시편이 뜨거워지거나 스위치 접점이 망가질 수 있다.
4. 소스미터 - 많은 전류를 흘려줄 수 있어 저저항도 가능하므로 가장 최적이다.
4x4 매트릭스 스위치
1. 사용품
  1. HP 3488/3499용 카드인, 4447xA에서
    1. 44473A
2. 제작
  1. 3490xA 스위치카드로, 2020/11/25 배선함
금속 판 측정
1. 구리합금 판 측정 - 2020/11/25
  1. 0.1A 인가하고, HP 3458A DMM에서 NPLC=100으로 전압을 측정. (스위칭하면서 배선 8가지 측정) 그리고 이를 10번 반복해서 평균함.
    - 끝으로 1.31mohm
    - 완전히 모서리에 1.32mohm
    - 잘라내고 1.32mohm
    - 납땜 위치 안쪽으로 1.30mohm
  2. 4pp 방법. 0.1A 가하고 전압측정
    - 0.351 x 4.53236(Van der Pauw constant=pi/ln2) x 0.92(형상팩터) = 1.46mohm
2. 더 얇은 구리합금/은도금 판 측정 - 2020/11/26
  1. 0.1A 인가하고, HP 3458A DMM에서 NPLC=10으로 전압을 측정. (스위칭하면서 배선 8가지 측정)
    - 2.29 2.23 2.25 2.27m오옴 측정됨
    - 2.27m오옴 측정됨. 4개선은 반드시 순서대로 (4점 무게중심에서)회전해야 한다.
3. 유기물기판 PCB 동박용
  1. 1/2 oz 동박두께는 t=17.5um, Resistivity ρ= 1.72 uohm cm
    - 이론값 0.983mohm
  2. 측정 데이터(모두 mohm)
    1. R1,2,3,4 = 0.209, 0.205, 0.204, 0.209 평균=0.207
    2. R5,6,7,8 = 0.234, 0.219, 0.228, 0.224 평균=0.226
    3. 면저항 = 0.981
  3. 이론값 0.983 vs 측정값 0.981으로 거의 일치한다. (즉, 두께, 비저항, 측정방법 등에서 문제가 없다.)
저항박막
1. 어떤 재료
  1. 10% 재료에서
  2. 측정 데이터(모두 ohm)
    1. R1,2,3,4 = 0.936, 0.935, 0.936, 0.936 평균=0.936
    2. R5,6,7,8 = 0.952, 0.953, 0.952, 0.953 평균=0.952
    3. 면저항 = 4.278
홀소자 측정
1. 2020/11/26
  - 354,364,362,363,362오옴 측정됨.
카본 잉크R 면저항 측정
1. 유선전화기 에서
  1. 사진
  2. 칼로 슬롯을 가공한 후, van der Pauw 측정
  3. 측정결과 - (이 샘플처럼 길게 형성되면 수직,수평 저항비는 1:4700 로 오차에 영향을 줄까?)
    1. R1,2,3,4 = 6.06, 5.69, 5.79, 6.08 mohm
    2. R5,6,7,8 = 27.8629, 27.8621, 27.8625, 27.8624 ohm
    3. R_vertical = 5.91 mohm
    4. R_horizontal = 27.8625 ohm
    5. Rs = 19.22 ohm
  4. 다른 저항을 4-와이어 저항 측정
    - 폭:길이=1:3
    - 37오옴. 그러면 Rs=37/3=12오옴. (참조) 앞에서 van des pauw 방법은 19오옴
TEG
1. Tektronix TDS460A 오실로스코프에서
  1. MAXIM, Tek Part No. 155-0378-01
    - 다이 왼쪽에서 면적의 약 10%차지하고 있음