진공펌프

전자부품
1. 압력
  1. 진공
    1. 진공펌프 - 이 페이지
      1. DA-60D 진공펌프
      2. DAL-10S 진공펌프
    2. 진공포장기
  2. 참고
    1. 압력계
    2. 액체 펌프, 액체 밸브
진공 펌프
1. TMP
  1. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Turbomolecular_pump
    1. 2만~9만 rpm으로 회전한다.
  2. Pfeiffer Vacuum 기술문서
    1. 03/09/05 - 44p
    2. 97814 B173-12-8F-SP2-M134 0025 라고 잉크젯 인쇄된 (Amphenol, Hermetic)cicular connector 사용
  3. 사진
    - 베어링 윤활구멍
    - 세라믹 베어링
    - BLDC 모터용 고정자 코일
    - 회전자 영구자석
2. Rotary Vane Pump
  1. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Rotary_vane_pump
  2. 그림
    - Ulvac 카탈로그에서
  3. 발견
    1. 산타페 발전기
      1. 구조
      2. 회전자(rotor)가 회전하면 원심력에 의해 항상 밖으로 미끄러지면서 밀려나는 4장의 날개(vane, blade)가 있다.
        
        4개 날개 중 어느 하나. 깎아보니 카본이다.
        
        그래서 4PP 저항을 측정하니, 1.7mohm으로 카본 맞다.
3. Diaphragm Type
  1. 위키페디아
    1. https://en.wikipedia.org/wiki/Diaphragm_pump
    2. https://en.wikipedia.org/wiki/Reciprocating_motion
  2. 그림
    - Ulvac 카탈로그에서
    - Ulvac 카탈로그에서
  3. DA-60D 진공펌프
  4. DAL-10S 진공펌프
  5. electromagnetic air pump
    1. 진공포장기에서, Aquarium Air Pump,
      1. 전체
      2. 60Hz 전자석
        
        E-shaped soft iron core
      3. 진공펌프
4. 구분 안됨
  1. FLUKE 983 particle counter에서