4PP

4포인트프루브, 4 point probe(4PP)

전자부품
1. 계측기-측정기
  1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
    1. 4PP, FPP, Four-Point Probe, 4-Point Probe - 이 페이지
      1. 배가 FPP-2400
      2. 창민 SR2000
      3. CDE ResMap 178
      4. SRM-232
  2. 참조
    1. 면저항
2. 참조
  1. 포고핀 - 이 페이지
기술조사
1. 4PP에 대해서
2. 실드 코팅
기술자료
1. - 4p
2. - 17p
관련 회사
검사 패턴
1. TEG
  1. LAN IC, Broadcom BCM5322M에서 , 4PP로 저항을 측정하는 것이 아니고 Tr 특성을 파악하기 위한 4개 패드
    - NMOS 10/0.28 (아마 0.28um 선폭)
헤드 어셈블리
1. KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
  1. Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
  2. 헤드 외관
    - 피치 1.575mm
    - 팁 반지름이 커질수록 간격이 가까워져 측정값이 계속 작아지는 큰 문제.
    - 핀 하나가 마모됨. 뒤로 후퇴하지 않아
    - TC재질이 마모될 정도면 무척 많이, 오랫동안 사용한 듯
  3. 헤드 분해
  4. 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
  5. 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
  6. 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
    - 핀 압력 조절
  7. TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
  8. 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
수작업 측정 치구
1. 15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
  1. 15/08/31
  2. 측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
    - 간격 2.54mm
  3. 차폐 테이프
    - 4PP 치구 핀 간격에서 저항은 0.024Ω을 보인다.
2. 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
  1. 15/11/07 측정 치구 설명
    - 상하로 연결된 저저항을 9군데를 측정하기 위한 치구.
  2. 100x100mm 크기의 기판에서.
    - 스위칭 장치와 연결을 위한 커넥터
    - 이런 스위칭 장치가 사용되었다.
  3. 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.
    - 누르면 핀이 돌출
    - 핀이 속으로 들어감
  4. 위쪽
    - 바늘 2개씩
  5. 케이블링
    - 위/아래면에 각각 바늘 9쌍, 18선
    - 아래면 18선 케이블링
3. 18/08/06 500도씨 치구 관련
  1. 18/08/27
  2. 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
  3. 18/09/17 - 니켈100% 전선
  4. 18/09/17 - 측정 시료
  5. 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
  6. 18/09/28 - 500도 열처리하니
    - 스프링탄성을 완전히 잃어버린다.
  7. 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
  8. 2020/10/28 스프링 핀 3개 추가 구입함.
  9. 2020/11/02 종래 1개 + 신규 구입핀 3개
    - 약 1.5오옴 측정됨. 문제없음.
    - 시편 밑에 종이 4장을 깔고 측정함.
  10. 20/11/02 TCR-02 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
4. 2020/12/10 6인치 웨이퍼용
  1. 누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다.
5. 2020/12/10 손으로 잡고 사용하는 측정 치구
  1. 2.54mm 피치, 6-핀
    - 홀 가공된 PCB 두 장을 사용하여 핀을 평행하게 유지하고 있다.
  2. 1.27mm 및 2.54mm 피치, 2열 6-핀
    - 오른쪽 두 개가 2020/12/31 도착
    - 1.27mm
    - 1.27mm
    - 1.27mm
    - 같이 동봉된 불량 드라이버
바늘
1. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
  1. 프루브 #1
    1. 15/01/06
      - Tip R=300um
      - 직경 400um
      - 탄화텅스텐 재질이다
    2. 15/01/11 MT에서 만든 핀
      - 도면
      - 더 정확한 가공(특히 팁 반지름)이 필요
      - 더 매끈한 재질의 TC가 필요
      - 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨.
    3. 19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
      - 팁 R이 확실한 원형
  2. 프루브 #2 - 2019/06/28
    1. 분해 방법, 순서
      - 인두기로 플라스틱 핀에 구멍을 판 후
      - 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후
      - 뽑는다
      - 90도 돌리면 고정 스크루가 있다.
      - 마개를 힘들게 뽑아야한다
      - 4개 소형 스크루 풀고
      - 2개의 스크루 풀면
      - 스프링 4개를 볼 수 있다.
    2. 프루브 팁
      - 1mm 정도 튀어 나와야 한다.
      - 자세히 보면 부러져 있다.
      - 꺼내 보면 확실히 부러져 있다.
    3. #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.
      - 외경이 0.38mm 핀이 필요하다.
    4. 19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
      - 팁 R이 원형가공되어 있지 않다.
      - GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20m오옴으로 차이는 거의 없음.
2. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
  1. 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
3. 참고
  1. Yokogawa LR4110 펜레코더에 있는 도트매트릭스 프린터에서