Ulvac DA-60D 진공펌프

진공펌프 DA-60D

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ULVAC DA-60D - 투고기술에서는 프루버에서 진공척(웨이퍼 고정용)을 위해 사용한다.
1. - 36p, 14/01/21 100V 얻음
2. 1호기 - S/N 98612
  1. 2014/01/12 100V용
  2. 2014/01/26 분해, 청소, 수리
    1. 분해 시작
      - 뚜껑을 벗기면 입구 구멍 및 출구 밸브가 보인다.
      - 벗긴 뚜껑
    2. 관이 NO에 연결되어 있다. OFF면 다이아프램이 있는 공간은 외부 공기와 통하고 ON이면 닫겠다는 뜻인데… 왜? 다이아프램에 진공에 계속 걸려 있으면 휘어 있는 상태이므로 스트레스를 받기 때문인가?
      - 솔레노이드 valve와 연결되는 orifice 내경 Ø1.0관
    3. 다이아프램
      - 찢어진 두 개의 다이아프램 외경 Ø144, 내경 Ø58, 두께 3mm 가량
    4. 청소
      - 고무 가루가 너무 많아, 비눗물 청소함
      - 구조
  3. 2014/02/03 다이아프램 절단시 외경과 내경 중심을 잘 맞추지 않고 절단 후, 조립하면, 운전시 커넥팅로드 진동이 심하다.
    - 다시 정교하게 잘라서 조립하니 소음이 확실히 줄어들었음.
  4. 2014/05/07 진공펌프 진동소음을 막기 위해서 허공에 띄우다.
    1. 구입품
      1. 인장스프링 50mm @3,000원 x 4ea 구입하여
      2. 턴버클 3/16인치 @2,100원 x 4ea 구입하여
    2. 사진
  5. 2020/01/25 2호기에서 뜯어낸 Diaphragm 을 여기에 장착함.
3. 2호기 - S/N 98629
  1. 20/01/22 분해하여 Diaphragm만 보관하고 나머지는 모두 버림
  2. 동작 원리 동영상
  3. ULVAC DA-60D, 72L/min, 3.32kPa, 7~40'C, single phase, 200W, 4pole capacitor run
    - outlet(공기가 배출되므로 소음기를 꼽는다.), inlet
  4. 토글스위치와 TCO스위치 가 상단에 배치되어 있다.
  5. 체크 밸브
    - outlet check valve
    - 밸브에 이물질이 끼면 안되므로, 스펀지
    - inlet check valve
    - 솔레노이드로 가는 구멍
  6. rubber diaphragm
    - 금속 마개에 방향성이 있다. 움푹파인 구멍이 좌우 배치이어야 한다. (위 뚜껑에 나사 머리가 있기 때문에)
    - 왕복운동으로 찢어지므로 소모품이다.
  7. 측면
    - 4개씩 양쪽에서 사용한 8개 캡 너트 cap nuts
    - AC팬 NMB 4710PS-10T-B30 100VAC
    - 솔레노이드 및 모터C
  8. 좌우에 있는 eccenter sleeve(편심슬리브) 및 connecting rod
    - 커넥팅 로드 안쪽에 스크류 2개가 있다. (총 3개 고정 스크류를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.)
  9. 가열해야 뺄 수 있음. - 한 쪽은 빼지 못함.
    - 커넥팅 로드 안쪽에 스크류 2개가 있다. (총 3개 고정 스크류를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.)
    - 가스 토치로 가열한 후
  10. 단상 유도 모터