진공펌프

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    2. 진공포장기
진공 펌프
1. TMP
  1. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Turbomolecular_pump
    1. 2만~9만 rpm으로 회전한다.
  2. Pfeiffer Vacuum 기술문서
    1. 03/09/05 - 44p
    2. 97814 B173-12-8F-SP2-M134 0025 라고 잉크젯 인쇄된 (Amphenol, Hermetic)cicular connector 사용
  3. 사진
    - 베어링 윤활구멍
    - 세라믹 베어링
    - BLDC 모터용 고정자 코일
    - 회전자 영구자석
2. Rotary Vane Pump
  1. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Rotary_vane_pump
  2. 그림
    - Ulvac 카탈로그에서
3. Diaphragm Type
  1. 위키페디아 https://en.wikipedia.org/wiki/Diaphragm_pump
  2. 그림
    - Ulvac 카탈로그에서
    - Ulvac 카탈로그에서
  3. DA-60D 진공펌프
  4. DAL-10S 진공펌프
4. 구분 안됨
  1. FLUKE 983 particle counter에서