창민 SR2000 면저항측정기

SR2000

전자부품
1. 계측기-측정기
  1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
    1. 4PP
      1. SR2000 - 이 페이지
Chang Min Technology(창민) SR2000 모델
1. 이력
  1. Chang Min Technology (창민)제조
  2. 입수 때부터 고장나, 헤드를 제외하고 모두 버림.
2. 본체 2016/07/26
  1. 외관
    - CHANG MIN
    - SR2000, 통신포트, 압축공기, 전원소켓
  2. 3축 모터 드라이버
    - 3축 모터 드라이브
  3. Z이동
  4. 원형 웨이퍼를 측정하므로, 회전하면 된다.
    - 타이밍 벨트
  5. Y이동용 리드스크류
    - Lead Screws and Nuts
    - 이런 형태의 나사산은 ACME 규격으로 추정
    - Flange Nuts이다. Linear Ball Bearing이 아니다.
3. 헤드, Jandel 회사
  - 연결은 D-sub 9핀 커넥터를 사용한다.
  - 간격 1mm
  - 영국제조
  - 1.00mm, 100g, 재질 TC, 팁반경 100um
  - 포토인터럽터를 사용한 Z limit 스위치
4. 메인보드 2016/08/03
  1. 장치내에서
    - FPP VER 3.1 1994 CHANG MIN
  2. 앞면
  3. 스텝퍼모터 드라이버
    - 모터 드라이브 3개
    - servo 드라이브 IC, SS4B001C(Japan Servo 회사제품)
  4. IC
    - intel P80C31BH MCS-51계열 8-bit MCU, OKI M82C55A i/o, Philips 12.000000 Xtal금속 HC-49U형 수정공진기
    - Samsung KM62256BLP 32kbyte SRAM, GS 마킹된 논리 IC, Harris(TI) ICL7135CN 4.5자리 ADC
    - 상단에 있는, 하양 원형을 갖는 LM399AH 전압표준
  5. 뒷면
    - 플럭스 흔적을 보면 손으로 납땜한 듯
5. MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 치구 제작
  1. 2016/08/01 제작협의 회의록
  2. 2016/08/09 MG엔지니어링에서 온 견적서
  3. 2016/08/10
    1. 동영상
    2. 사진
      - 자중 70g, 스프링힘 10g/mm
    3. 프루브 헤드와 연결되는 D-sub 9핀 커넥터
    4. 금속막이 코팅된 웨이퍼를 측정하는 사진
  4. 2016/08/11, 지멕에 납품
    - D-sub9핀 커넥터와 바나나로 연결된 케이블을 DMM에 꼽는다.