IDT 저항
IDT 저항
- 전자부품
- 기술
- interdigitated electrode resistance를 계산함.
- 형태
- 레이저 트리밍 시뮬레이션 도구를 이용하여 최초로 측정함.
- 아래 왼쪽 전극에 0V, 오른쪽에 1V 전압인가한 후, 각 저항기가 만나는 점에서 전압을 측정하여,
- 실험
- 전압분포
- 실험
- 아래 사진과 같은 저항기 분포에서, 저항값은 2R 근처을 보일 것으로 예측된다.
- 아래 왼쪽 전극에 0V, 오른쪽에 1V 전압인가한 후, 각 저항기가 만나는 점에서 전압을 측정하여,
- 동박으로 실험함.
- 1/2 oz 동박은 이론값 0.98mΩ이다.
- 샘플 제작 및 4338B 저저항기로 측정
- 왼쪽이 면저항, 오른쪽이 IDT 저항
- IDT 전극에서
- 4 point 프루브 위치에 따라
- 4338B 저저항기로 측정하지 않고, DC 전류인가하고 DMM으로 전압을 측정하는 방식으로 다시 측정해보기로 함.
- 왼쪽이 면저항, 오른쪽이 IDT 저항
- 0.1ADC 인가하고, 전압을 측정함
- 결과
- 결론
- 전극형성을 위해 bus bar로 사용된 직경 2mm 구리선 저항이 저항체저항에 비해 크다.
- 1/2 온스 동박은 면저항이 너무 낮아, 최종 결과값은 측정 시스템 저항 변동(노이즈)에 크게 영향을 받는다.
- 그럼에도 불구하고, 프루빙 위치에 따라 이론 면저항 1mΩ에 근접하는 측정값을 획득할 수 있다.
- IDT 저항값은 약 1.6R 정도 나오는 듯 하다.
- 전극형성을 위해 bus bar로 사용된 직경 2mm 구리선 저항이 저항체저항에 비해 크다.
- 결과