정밀 저항기

정밀 저항

2. 박막저항 기술자료
   1. 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
      1. 기판: Polished AlN(Aluminum Nitride), Ra<0.08um
      2. 저항체: 질소공급하면서 탄탈을 스퍼터링
         1. 기판위에 가장 먼저 입힌다. 약 50오옴/sq
      3. 배선층
         1. 2층: Ti 0.1um
         2. 3층: Pt 0.2um
         3. 4층: Au 2~6um, type3 gold(1:99.7%, 2:99.0%, 3:99.9%)
      4. 성막 후, 공기중에서 450+-10도 핫플레이트에 올려놓고 부풀어오르면 안된다.
      5. 뚜껑/리드선 납땜은 0.5um Pt에 0.04um Au flash 도금면에 73%wt Au/27%wt Sn 솔더 사용
3. 레이저 트리밍 방법
   1. selectively laser trimming
   2. 1. • i resistors 4.jpg
      2. ladder laser trimming
   3. 각형 몰딩(트랜스퍼/conformal), 포일 저항
      1. Keithley 2612B에서
         1. 17/10/28
            750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
         2. 사진
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              22.5K 40.0K

      2. HP3458A DMM에서
         1. Voltage Reference에서
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      3. Advantest R6551 5+1/2 DMM
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           80k오옴

      4. HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)
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           측정하니 1.000k오옴

   4. conformal coating 제품
      1. Dale 고압용 고저항
         1. Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
            1. - 2p
            2. 사진1
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            3. 측정 - 17/10/30계측기에 문제가 없다.
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      2. Takeda Riken(Advantest) TR-6150 - DC Voltage/Current Source
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      3. Koa
         1. MRP 시리즈
            1. - 2p
            2. Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
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            3. Yokogawa 2533 RMS board에서
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            4. Yokogawa 2533 RMS board에서
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            5. (마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서
               1. 17/11/15+30ppm/'C 나온다.
               2. 사진
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                    어레이저항 RA5 GF5183

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      4. AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입
         1. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits)
            1. 메인보드에서
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                 듀얼저항

            2. A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
               1. 17/11/13
               2. 보드에서
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               3. 외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k
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                    저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록

               4. #1 내부구조
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               5. #2 - 발연질산에 넣어 녹여서 관찰. 금속포일을 붙여서 레이저 트리밍.
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   5. 명확하게 알루미나 기판에
      1. Caddock
         1. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
            1. 메인보드에서
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                 에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음

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                 1차레이저-보호막-2차레이저

         2. Keithley 195A DMM
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      2. DMM Fluke 8842에서,
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   6. Metal Can에서
      1. Alpha Electronics(AE 마킹)
         1. Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
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              LM10CH, 96년산

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              9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산

         2. Advantest R6551 5+1/2 DMM
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              , Ultra Precision Resistor (Hermetically Sealed), 40k-ohm,

      2. Vishay,
         1. HP3458A DMM에서
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              ultra-high precision

         2. 100오옴 - 백금저항 온도계용
            1. Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
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                 Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리

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   7. 반도체 IC 에서
      1. A/D Converter 에서
         1. multi-chip
            1. Yokogawa LR4110 펜레코더 입력보드 A/D 컨버터 칩에서
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         2. 실리콘 one-chip에서
            1. AD574A, Complete 12-Bit A/D Converter with Reference and Clock, 35us Maximum Conversion Time
               1. 외관
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               2. 내부
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               3. 칩
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                    레이저 트리밍